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芯片制造關鍵設備再突破!離子注入機實現全譜系產品國產化

2021-03-17
來源:全球半導體觀察

  中國電子科技集團有限公司17日對外公布,該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術,已成功實現離子注入機全譜系產品國產化,包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機,工藝段覆蓋至28nm,為我國芯片制造產業鏈補上重要一環,為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。

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