三星電子副會長李在镕（Lee Jae-yong）今年10月出訪歐洲、拜會艾司摩爾（ASML）執(zhí)行長Peter Wennink等人后，傳出Wennink也禮尚往來，于上周訪問三星，希望能促成極紫外光（EUV）光刻機的合作案。

　　Business Korea 12月1日報道，Wennink 等ASML 高層上周訪問了三星半導(dǎo)體廠，討論EUV 光刻設(shè)備的供給與發(fā)展合作案。業(yè)界內(nèi)部人士相信，三星要求ASML 供應(yīng)更多EUV 光刻設(shè)備，雙方并討論開發(fā)新一代EUV 設(shè)備的合作事宜。

　　身為全球唯一一家EUV 設(shè)備制造商的ASML，目前對臺積電的供貨量高于三星。三星希望跟ASML 合組科技聯(lián)盟，取得更多新一代EUV 光刻設(shè)備。ASML 也有跟三星投資合作的必要，因為新一代EUV 設(shè)備需要大量研發(fā)資金。

　　三星希望投資高數(shù)值孔徑（high-numerical aperture，High-Na）EUV 設(shè)備的開發(fā)案，這種設(shè)備可改善半導(dǎo)體微制程所需的電路解析度，一臺設(shè)備要價4.5億美元（接近30億元人民幣），是目前款式的2-3 倍。ASML 計劃2023 年年中推出設(shè)備原型，三星希望趕在臺積電之前取得設(shè)備，爭取技術(shù)領(lǐng)先。

　　不過，三星一名內(nèi)部人士透露，雙方并未在會議上達成投資決定。ASML 高層只是應(yīng)李在镕10 月份的邀請前來三星訪問。ASML 高層也拜訪SK 海力士（SK Hynix）總裁李錫熙（Lee Seok-hee），消息顯示他們討論了要如何擴大供應(yīng)EUV 設(shè)備、促進合作。