半導(dǎo)體設(shè)備按照市場來分，大致可分為三個不同的細(xì)分市場：晶圓設(shè)備、組裝和封裝設(shè)備以及測試設(shè)備。
其中晶圓設(shè)備占據(jù)大頭，2021 年，晶圓設(shè)備部分占半導(dǎo)體設(shè)備市場約 86% 的大部分份額，全球晶圓半導(dǎo)體設(shè)備市場可進(jìn)一步分為邏輯、NAND、DRAM和其他四個部分；近幾年由于日月光、Amkor、長電科技、通富微電、華天科技在內(nèi)的專業(yè)封測廠商在2.5D和3D先進(jìn)封裝領(lǐng)域的大幅投資，導(dǎo)致對封裝和測試設(shè)備的需求有所提升。
根據(jù)SEMI的報(bào)告，如果從這三大分類的增長預(yù)期來看，其中，晶圓廠設(shè)備這一分類預(yù)計(jì)將在2022年增長15.4%，達(dá)到1010億美元的新行業(yè)紀(jì)錄，到2023年達(dá)到1043 億美元。半導(dǎo)體測試設(shè)備市場預(yù)計(jì)2022年將增長12.1%至88億美元，2023年受到高性能計(jì)算 (HPC) 應(yīng)用程序的需求再增加0.4%。組裝和封裝設(shè)備預(yù)計(jì)將在2022年增長8.2%至78億美元，并在2023年小幅下降0.5%至77億美元。
SEMI預(yù)計(jì)，原始設(shè)備制造商的全球半導(dǎo)體制造設(shè)備總銷售額預(yù)計(jì)將在2022年達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的1175億美元，比2021年的行業(yè)高點(diǎn)1025億美元增長14.7%，并在2023年增至 1208 億美元。
在這樣的背景下，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商也受到了行業(yè)紅利，上半年國產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商在設(shè)備中標(biāo)、企業(yè)營收等方面均迎來良好的增長。
01
國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)情況
半導(dǎo)體設(shè)備的增長與晶圓廠的擴(kuò)張息息相關(guān)，晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)的資本支出中有70%-80%是用于購買半導(dǎo)體設(shè)備。
從去年開始，缺芯引發(fā)了國內(nèi)晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)，例如，上海積塔半導(dǎo)體已披露計(jì)劃斥資超過260億元人民幣在上海臨港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)擴(kuò)建 12 英寸晶圓廠產(chǎn)能；華虹半導(dǎo)體籌集180億元人民幣，用于擴(kuò)大其無錫 12 英寸晶圓廠的產(chǎn)能；中芯國際在北京、深圳和上海的三個新的12英寸晶圓廠的建設(shè)進(jìn)度保持正常等。這些都加速了對國產(chǎn)設(shè)備的需求。
因此，2022年上半年，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備招標(biāo)采購量持續(xù)增長。據(jù)德邦證券統(tǒng)計(jì)，今年1~6月國內(nèi)主流晶圓廠合計(jì)開標(biāo) 548 臺設(shè)備，源自中國大陸廠家制造的設(shè)備共計(jì) 189 臺，占比達(dá) 34.5%。這 548 臺開標(biāo)的設(shè)備主要來自華虹無錫（291 臺）、上海積塔（210 臺）、時代電氣（16 臺）、福建晉華（23 臺）、華力集成（6 臺）、華力微電子（2 臺）。在這些招標(biāo)的晶圓廠中，國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)數(shù)較多的晶圓廠為上海積塔（126 臺）、華虹無錫（45 臺）、時代電氣（8 臺）、福建晉華（9 臺）。其中上海積塔國產(chǎn)率最高，達(dá)到60%。
具體到設(shè)備類型來看，這548 臺設(shè)備中，爐管設(shè)備為119臺、沉積設(shè)備97 臺、刻蝕設(shè)備82 臺、前道檢測設(shè)備64 臺、后道測試設(shè)備46 臺、清洗設(shè)備33 臺、干法去膠設(shè)備31 臺、離子注入機(jī)28 臺拋光設(shè)備21 臺、涂膠顯影設(shè)備17 臺、光刻機(jī)10 臺。
其中國產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)是，干法去膠設(shè)備的國產(chǎn)率高達(dá)81%、刻蝕設(shè)備為54%、拋光設(shè)備為43%、清洗設(shè)為58%、涂膠顯影設(shè)備為35.3%。國產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化率的提升，離不開北方華創(chuàng)、中微公司、盛美半導(dǎo)體、芯源微、屹唐半導(dǎo)體、至純科技、華海清科等中國大陸廠家的不斷發(fā)展。
本土設(shè)備中標(biāo)數(shù)量的增長，以及國內(nèi)晶圓廠的國產(chǎn)化率的提升，都反映出大陸半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)發(fā)展欣欣向榮。
02
上半年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商營收普漲
2022年上半年，電動汽車產(chǎn)業(yè)、大數(shù)據(jù)及人工智能的快速發(fā)展，對芯片產(chǎn)出的需求量與日俱增。再加上近些年來，國產(chǎn)替代意識和意愿的加強(qiáng)，給本土半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的發(fā)展提供了強(qiáng)大的空間。因此，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商上半年?duì)I收基本都實(shí)現(xiàn)了不同程度的增長，并且由于手中的大量訂單，他們對今年剩余時間的出貨前景也保持信心。
從整體類別上看，國產(chǎn)設(shè)備基本可以覆蓋到半導(dǎo)體制造的各階段所需。尤其在刻蝕、清洗、薄膜等設(shè)備方面表現(xiàn)突出。無論是從一、二級市場追捧、上市公司業(yè)績亮眼等角度來看，本土半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商已經(jīng)進(jìn)入了黃金發(fā)展周期。
北方華創(chuàng)和中微公司是刻蝕設(shè)備領(lǐng)域的公司，刻蝕設(shè)備也是我國最具優(yōu)勢的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，已經(jīng)逐漸進(jìn)入成熟期。其中中微公司的介質(zhì)刻蝕已進(jìn)入臺積電5nm產(chǎn)線，北方華創(chuàng)在ICP（電感耦合等離子體）刻蝕領(lǐng)域較具優(yōu)勢，其14納米等離子硅刻蝕機(jī)已成功進(jìn)入主流項(xiàng)目產(chǎn)線。
北方華創(chuàng)預(yù)計(jì)2022年半年度營收50.5億元-57.7億元，比上年同期增長40%-60%。中微公司預(yù)計(jì) 2022年半年度營業(yè)收入約 19.7 億元，同比增長約 47.1% （2021 年上半年?duì)I業(yè)收入13.4 億元，同比增長約 36.8%）；凈利潤為 4.1億元到 4.5億元，同比增加 565.42%到 630.34%。新增訂單約30.6億元，同比增長約62%。
清洗設(shè)備供應(yīng)商盛美半導(dǎo)體2022年上半年?duì)I業(yè)收入為10.96億元，同比增長75.21%，凈利潤為2.37億元，較上年同期增長163.83%。半導(dǎo)體清洗設(shè)備、前道半導(dǎo)體電鍍設(shè)備和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備（包含后道電鍍設(shè)備）的營業(yè)收入均有較大增長。
CMP設(shè)備供應(yīng)商華海清科預(yù)計(jì)2022年半年度營業(yè)收入為 6.8億元至7.5億元，同比增長131.60%至 155.44%。實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤為 1.7億元至1.95億元，同比增長140.99%至176.43%。
半導(dǎo)體晶體生長設(shè)備供應(yīng)商晶盛機(jī)電預(yù)計(jì)2022年上半年歸屬于上市公司股東的凈利潤為10.8億元–12.5億元，比上年同期增長79.91%–108.22%。
另外據(jù)消息人士稱，包括拓荊科技、涂膠顯影設(shè)備供應(yīng)商芯源微在內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商上半年的收入也有顯著增長，未來 6-12 個月的訂單可見度明顯。
這些上市半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中多是十幾年摸爬滾打過來的老牌企業(yè)，如今終于守得云開見月明。此前芯謀研究評價老牌國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中提到，“務(wù)實(shí)、穩(wěn)定的行業(yè)領(lǐng)頭人和技術(shù)團(tuán)隊(duì)，正是半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)邁向成功的關(guān)鍵之一。他們經(jīng)過數(shù)十年的積累，承受住了市場的考驗(yàn)。當(dāng)產(chǎn)業(yè)化機(jī)遇來臨之時，這些經(jīng)驗(yàn)老道、實(shí)力雄厚的實(shí)干企業(yè)就乘風(fēng)而起。”
國內(nèi)設(shè)備業(yè)的蓬勃發(fā)展不僅體現(xiàn)在上市的設(shè)備企業(yè)中，非上市設(shè)備企業(yè)也迎來了良好的進(jìn)展。
2022年上半年，摩爾精英的MEE-T系列ATE測試設(shè)備成功導(dǎo)入3家全球前十大模擬芯片廠商和十余家國產(chǎn)芯片廠商的量產(chǎn)供應(yīng)鏈。
MEE-T系列ATE測試設(shè)備是一款成熟穩(wěn)定的數(shù)模混合測試機(jī)，擅長手機(jī)AP、MCU、PMIC、IoT等各類芯片產(chǎn)品，巔峰期全球裝機(jī)量達(dá)到3500臺。值得一提的是，MEE-T系列測試設(shè)備協(xié)助某國際模擬巨頭廠商，為其主力產(chǎn)品提升了6.7倍的測試產(chǎn)出效率，穩(wěn)定性提升了413%。
03
資本還在垂青設(shè)備領(lǐng)域
在國產(chǎn)設(shè)備的高需求和發(fā)展前景之下，許多初創(chuàng)的半導(dǎo)體設(shè)備公司也獲得了資本的青睞。
2022年2月和5月，北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司分別獲得兩次戰(zhàn)略融資，投資者中有哈勃投資的身影。其專注于半導(dǎo)體領(lǐng)域表面加工設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，針對半導(dǎo)體襯底材料、半導(dǎo)體器件、先進(jìn)封裝、MEMS等領(lǐng)域，提供減薄、拋光、CMP的系統(tǒng)解決方案和工藝設(shè)備。2022年5月7日，電子科大校友企業(yè)、晶圓傳輸設(shè)備供應(yīng)商泓滸半導(dǎo)體完成數(shù)千萬元A輪戰(zhàn)略融資。
在半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域，2022年2月17日，精積微半導(dǎo)體完成3億元戰(zhàn)略融資，聚焦明場晶圓有圖形缺陷檢測設(shè)備領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品的研究開發(fā)以及生產(chǎn)制造等；2022年2月15日，中安半導(dǎo)體完成A輪2億元融資，該公司主要提供半導(dǎo)體硅片平整度檢測設(shè)備、三維形貌檢測設(shè)備等服務(wù)；2022年2月11日，微崇半導(dǎo)體完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，該公司致力于研發(fā)材料檢測技術(shù)，生產(chǎn)半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備。
在封裝設(shè)備領(lǐng)域，2022年6月15日，稷以科技完成了中興創(chuàng)投等的戰(zhàn)略融資，金額未透露，稷以科技的等離子體設(shè)備可用于半導(dǎo)體芯片封裝；2022年4月，深圳泰研半導(dǎo)體裝備有限公司獲得合創(chuàng)資本投資的數(shù)千萬元A輪融資，泰研半導(dǎo)體是先進(jìn)封裝領(lǐng)域的半導(dǎo)體工藝與設(shè)備服務(wù)商，可為客戶提供SiP、Fanout、Chiplet、3D等先進(jìn)封裝產(chǎn)線上激光+等離子+ 鍍膜成套復(fù)合工藝與制程應(yīng)用設(shè)備。
在整個半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)中，前道設(shè)備在總銷售額大約占85%左右的市場，后道測試設(shè)備占9%，后道封裝設(shè)備占比約6%。
過去封測類設(shè)備幾乎被國外廠商壟斷，但是現(xiàn)在隨著國際形勢的變化，封測OAST廠商們的國產(chǎn)選擇意愿度大幅提升，這也給了國產(chǎn)測試設(shè)備和封裝設(shè)備提供了產(chǎn)業(yè)培育和客戶驗(yàn)證的機(jī)會。再加上現(xiàn)在資本的看重，或許能為我國封測設(shè)備的發(fā)展起到一定的推動作用。
04
結(jié)語
中國是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場，隨著需求不斷上升而推動的高代工資本支出、工藝的開發(fā)、存儲芯片的開發(fā)、環(huán)保生產(chǎn)驅(qū)動的光伏需求、LED、MEMS、功率器件和先進(jìn)封裝的需求不斷增長，未來10年，中國將成為全球半導(dǎo)體芯片制造的中心。
從歷史角度來看，半導(dǎo)體設(shè)備公司的興起與成長隨著全球芯片制造中心而遷移。據(jù)SIA的數(shù)據(jù)，在中國大陸晶圓產(chǎn)能的持續(xù)快速擴(kuò)張的態(tài)勢下，到2030年，大陸的晶圓產(chǎn)能在全球的占比有望達(dá)到24%。
因此，預(yù)計(jì)國內(nèi)設(shè)備企業(yè)的市場占比將在未來幾年內(nèi)穩(wěn)步上升。但在這個上升的過程中，離不開半導(dǎo)體客戶更大的支持。
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