3月25日消息，據俄羅斯衛星通訊社報道，莫斯科市長謝爾蓋·索比亞寧近日在其 “電報” 頻道的賬號上發文稱，莫斯科“澤列諾格勒納米技術中心”公司已完成了俄羅斯首臺350nm光刻機的研發工作，這是生產微芯片的關鍵設備。

在俄烏沖突爆發后，美西方對俄羅斯實施了更為嚴厲的出口管制措施，其中半導體芯片及光刻機等半導體設備成為了限制的重點，這也迫使俄羅斯開始研發自主設計的國產光刻機。

2023年，俄羅斯聯邦工業和貿易部副部長瓦西里·什帕克（Vasily Shpak）在接受媒體采訪時就曾表示，2024年俄羅斯將開始生產350nm光刻機，2026年完成用于生產130nm制程芯片的光刻機。光刻機的生產將在莫斯科、澤列諾格勒、圣彼得堡和新西伯利亞的現有工廠進行。

隨后在2024年5月，俄羅斯塔斯社報道稱，在CIPR 2024會議期間，Vasily Shpak宣布，俄羅斯首臺國產光刻機已經組裝完成，并正在澤列諾格勒進行測試，該設備可確保生產350nm的芯片。但是當時Vasily Shpak并未透露更多關于該光刻機的細節。

莫斯科市長謝爾蓋·索比亞寧近日的最新爆料顯示，莫斯科“澤列諾格勒納米技術中心”公司已完成了俄羅斯首臺350nm光刻機的研發工作，并曝光了部分相關照片。

“全球有能力制造這一微芯片關鍵生產設備的不到10個，如今，俄羅斯也躋身其中。我們已向過渡到自主生產微電子產品和國家技術完全獨立上邁出了最重要的一步。”索比亞寧還指出，俄羅斯的這一設備與外國類似設備有著非常大的不同，俄羅斯的這一設備首次使用固體激光器來作為輻射裝置，而不是汞燈，固體激光器功率大、能效高、耐用性強、光譜更窄。

眾所周知，光刻機對于半導體的生產極為重要，當前全球只有荷蘭ASML、日本尼康和佳能、中國的上海微電子這四家公司能夠生產光刻機，但是能夠生產先進制程的光刻機只有ASML、尼康和佳能能夠供應。雖然350nm是一種非常成熟的制程，但是依然可以滿足部分汽車、能源和通信行業的芯片需求。

莫斯科“澤列諾格勒納米技術中心”公司總經理阿納托利·科瓦列夫表示：“我們公司已按照國家合同完成了俄羅斯首臺350nm拓撲結構的投影式光刻機的研發工作。這一項目是與白俄羅斯“Planar”工廠合作實施完成的。在2024 年 12 月測試成功后，這一光刻機就獲得了國家委員會的認可，并記錄了所有申報的技術特征。目前已有客戶購買了這一設備，現在這一設備的工藝流程正根據最終用戶對生產的特殊要求進行調整。”

報道稱，該350nm光刻機的工作區域面積顯著增加，達到了 22mm × 22mm，可加工最大直徑為200mm的晶圓。

據莫斯科市投資和工業政策局指出，“澤列諾格勒納米技術中心”公司已做好了批量生產這款350nm光刻機的準備。此外，“澤列諾格勒納米技術中心”目前還正在按第二份國家合同繼續開展 130 納米光刻機的研發工作，預計于 2026 年完成。

根據此前曝光的計劃，2024年俄羅斯將撥款2,114億盧布（約合人民幣166.16億元）用于國內電子產品的開發，其將包括可以生產350nm制程芯片的光刻機，2026年將啟動用于生產130nm制程芯片的光刻機。

而俄羅斯決定開發350nm到65nm光刻機的原因，在于這一技術范圍內的芯片多用于微控制器、電力電子、電信電路、汽車電子等方面上，這些應用大約占據了整個市場的60%。所以，這類光刻機在全世界市場的需求量很大，并且將在至少10年內有持續的需求。

Vasily Shpak此前還曾指出，一個簡單的邏輯就是，如果沒有半導體主權，那就沒有技術主權，這將導致國防安全和政治主權方面就非常脆弱。而現在俄羅斯已經掌握了使用國外國光刻機制造65nm芯片的技術，但因為外國公司被禁止向俄羅斯出口先進的光刻機，所以俄羅斯也需要積極開發自己的光刻機。

針莫斯科政府部長兼投資和工業政策局局長阿納托利·加爾布佐夫評論道：“莫斯科是俄羅斯微電子發展的中心。如今莫斯科約占俄羅斯微電子企業總營收的40%。微電子學和光子學的發展在城市和商業領域的各個行業都有著廣闊的應用前景，包括光通信、傳感技術、無線電光子學等諸多方向。‘莫斯科科技城’經濟特區的入駐企業目前正在實施一系列重大項目，每個項目都旨在生產具有戰略意義的產品。”