近日，位于杭州城西科創大走廊的浙江大學成果轉化基地傳出喜訊：作為基地首批簽約孵化項目之一，全國首臺國產商業電子束光刻機“羲之”已進入應用測試，其精度比肩國際主流設備，標志著量子芯片研發從此有了“中國刻刀”。
在測試現場，浙大余杭量子研究院相關團隊緊張忙碌著，一臺模樣酷似大型鋼柜的機器正在做應用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數。“這不是普通的機器，而是一支能在頭發絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人告訴記者，依托省重點實驗室，這臺研究院自主研發的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場。
“羲之”取名自書法家王羲之，“只不過我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路。”研發團隊相關負責人介紹，這臺設備專攻量子芯片、新型半導體研發的核心環節，它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設計無須掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫，特別適合芯片研發初期的反復調試。
此前，此類設備受國際出口管制，中國科學技術大學、之江實驗室等國內頂尖科研機構長期無法采購，“羲之”的落地有望打破這一困局。記者了解到，其定價低于國際均價，目前已與多家企業及科研機構展開接洽。
“羲之”的成功并非孤例，其背后是科技創新與產業創新“兩新融合”的強力驅動。今年7月，省級教育科技人才一體改革專項試點項目落地位于余杭區的浙江大學校友企業總部經濟園，浙江大學與該園聯手搭建了成果轉化高速路：園區企業開出“技術需求清單”；浙大教授帶研究生組隊“揭榜”；從實驗室樣品到量產產品，全流程陪跑。
在城西科創大走廊，這樣的融合正成為常態。院士工作站落地城投未來之星辦公樓，無縫對接企業需求；城西科創大走廊連年推出優秀概念驗證項目征集，打通成果轉化的“最前一公里”。接下去，城西科創大走廊將持續推動“兩新融合”，為硬科技突破加速賦能，推動科技成果高效轉化為現實生產力。
