《電子技術(shù)應(yīng)用》
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這局“芯戰(zhàn)”,我國(guó)“將”了英特爾一軍?

2022-09-30
來(lái)源:是說(shuō)芯語(yǔ)

  美國(guó)英特爾公司與中國(guó)科學(xué)院微電子研究所(簡(jiǎn)稱“微電子所”)之間歷時(shí)多年的專利訴訟糾紛,近日迎來(lái)最新進(jìn)展。英特爾表示已于7月與微電子所簽訂了一份保密協(xié)議,解決雙方所有未決訴訟。同時(shí),英特爾表示會(huì)獲得一些微電子所專利的許可,并對(duì)微電子所剩余專利組合達(dá)成一份長(zhǎng)期的不起訴約定。至此,這場(chǎng)耗時(shí)四年多的中、美半導(dǎo)體芯片行業(yè),最重磅的一起專利糾紛案,以中國(guó)微電子研究所專利最終被英特爾認(rèn)可,并獲得許可,而告一段落。

  近日,英特爾與中科院微電子所的專利訴訟糾紛,在歷經(jīng)4年多的交鋒后終迎來(lái)最新進(jìn)展:英特爾表示,雙方已簽訂一項(xiàng)保密協(xié)議,解決所有未決訴訟,同時(shí)表示會(huì)獲得一些微電子所專利的許可,并對(duì)微電子所剩余專利組合達(dá)成一份長(zhǎng)期的不起訴約定。

  如“企業(yè)專利觀察”公眾號(hào)所述,至此,這場(chǎng)中、美芯片行業(yè)最重磅的一起專利糾紛案,以中科院微電子所專利最終被英特爾認(rèn)可并獲得許可,而告一段落。

  據(jù)悉,該項(xiàng)專利名為“半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)及其制作方法、及半導(dǎo)體鰭制作方法”的FinFET專利。本次專利訴訟糾紛的解決,意味著我國(guó)在世界集成電路最先進(jìn)的芯片制造領(lǐng)域正在迎頭趕上,經(jīng)得起全球科技巨頭的挑戰(zhàn),面對(duì)不正當(dāng)?shù)氖侄我颜莆樟艘欢ǖ脑捳Z(yǔ)權(quán)。

  中科院微電子與英特爾六次交鋒均獲勝

  早在2018年,中科院微電子所就指控英特爾(中國(guó))有限公司的酷睿(Core)系列處理器侵犯了其名為“半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)及其制作方法、及半導(dǎo)體鰭制作方法”的FinFET專利,要求英特爾賠償至少2億元,同時(shí)請(qǐng)求法院對(duì)“酷睿”產(chǎn)品實(shí)施禁售。

  此后,針對(duì)中科院微電子所的這項(xiàng)FinFET專利,英特爾曾在中國(guó)、美國(guó)兩地至少試圖6次申請(qǐng)無(wú)效宣告請(qǐng)求。因?yàn)榘凑沼⑻貭柕挠?jì)劃,如果能夠在各大市場(chǎng)中成功申請(qǐng)將中科院微電子所的專利無(wú)效化,就可以擺脫侵犯專利的嫌疑,自己非但不用賠償,還能夠繼續(xù)沿用這類技術(shù)進(jìn)行盈利。

  不過(guò),每次申請(qǐng)無(wú)效都以英特爾失敗告終,由此可見(jiàn),中科院微電子所在FinFET領(lǐng)域?qū)@麑?shí)力非常雄厚。

  國(guó)外專利咨詢公司LexInnova也曾在2015年進(jìn)行的FinFET領(lǐng)域?qū)@{(diào)查研究中顯示,中科院微電子所專利申請(qǐng)數(shù)量在該領(lǐng)域排名第11位,也是中國(guó)大陸唯一進(jìn)入前20位的企業(yè),但是其專利質(zhì)量卻能夠穩(wěn)壓英特爾等巨頭,成為世界第一。

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  來(lái)源:微電子所網(wǎng)站

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  中科院微電子為何能憑借FinFET專利“將”英特爾一軍?

  上個(gè)世紀(jì)末,半導(dǎo)體工藝進(jìn)化之路曾一度面臨停滯,摩爾定律遭受威脅,直到一位華人教授胡正明帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)發(fā)明出「FinFET晶體管技術(shù)」,使得摩爾定律延壽了數(shù)十年。

  FinFET技術(shù)成功地推動(dòng)了從22nm到5nm等數(shù)代半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,成為全球主流晶圓廠的“不二”之選。中科院微電子所也曾自己對(duì)涉訴專利有過(guò)評(píng)價(jià),其重要性程度不言而喻:涉案專利涉及當(dāng)今最先進(jìn)的晶體管器件的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)和核心工藝。該專利是在“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家科技重大專項(xiàng)(02專項(xiàng))的支持下,圍繞集成電路先進(jìn)制造技術(shù)進(jìn)行布局的若干專利組合中的核心專利之一,能夠有效提升芯片集成度并降低制造成本。

      簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),這個(gè)專利技術(shù)主要涉及半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)及其制造方法,包括半導(dǎo)體襯底、位于半導(dǎo)體襯底的鰭結(jié)構(gòu)上方的柵極結(jié)構(gòu)、位于柵極結(jié)構(gòu)下方的鰭結(jié)構(gòu)的溝道部分,以及設(shè)置在半導(dǎo)體襯底上方并且與溝道部分接觸的至少一個(gè)外延區(qū)等等。這一專利如今普遍應(yīng)用于芯片行業(yè),對(duì)于國(guó)內(nèi)而言,也是開(kāi)拓芯片市場(chǎng)的一大利器。

  行業(yè)內(nèi)最早實(shí)現(xiàn)FinFET商業(yè)化應(yīng)用的是Intel公司,英特爾率先于2011年推出了商業(yè)化的FinFET工藝技術(shù),將FinFET技術(shù)應(yīng)用到了自家的22nm制程工藝上,顯著提高了性能并降低了功耗,之后臺(tái)積電,韓國(guó)的現(xiàn)代和三星等相繼在16納米到10納米的節(jié)點(diǎn)上推出了鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管產(chǎn)品,使得FinFET大放異彩。

  中科院微電子前身為原中國(guó)科學(xué)院109廠,其所在FinFET的研發(fā)上位居國(guó)際前沿,且多數(shù)專家都有國(guó)際巨頭半導(dǎo)體企業(yè)的從業(yè)經(jīng)歷。

  FinFET與傳統(tǒng)平面FET的區(qū)別主要在“鰭”上,因此對(duì)“鰭”的后續(xù)改進(jìn),就成為各家爭(zhēng)奪的焦點(diǎn),中科院微電子所正是在“鰭”的創(chuàng)新上投入了大量的基礎(chǔ)性研究,有超過(guò)一多半的專利都是圍繞“鰭”在研發(fā),所研發(fā)的FinFET技術(shù)比較接近基本原理,有充足的潛力去支持前端開(kāi)發(fā),因此專利和科研成果之間的轉(zhuǎn)化也就相對(duì)容易。

  公開(kāi)信息顯示,微電子所專利數(shù)量和質(zhì)量都非常可觀。截至目前,微電子所圍繞集成電路、高可靠器件與電路、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域已經(jīng)提交中國(guó)專利申請(qǐng)5000余件,國(guó)外專利申請(qǐng)500余件,轉(zhuǎn)讓專利158件,達(dá)成專利許可1505件。

  這些都是英特爾都很難具備對(duì)抗的實(shí)力。

  寫在最后

  綜上所述,中科院微電子所占據(jù)的優(yōu)勢(shì)并不是經(jīng)營(yíng)規(guī)模多雄厚,資金實(shí)力多強(qiáng)大,而是在它擁有的業(yè)界知名專家,并且這些專家一直勤勤懇懇、兢兢業(yè)業(yè),這其中不少人在面臨改革開(kāi)放對(duì)我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)造成的沖擊時(shí),也依然選擇堅(jiān)持下來(lái),仔細(xì)研究,如此才獲得高質(zhì)量的專利產(chǎn)出,掌握了過(guò)硬的技術(shù)專利,才使得微電子所在應(yīng)對(duì)英特爾時(shí),一直處于優(yōu)勢(shì)。中國(guó)芯片需要耐心、長(zhǎng)期主義、需要腳踏實(shí)地,也希望我們國(guó)家能擁有更這樣的從業(yè)者!

  

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