我們知道，MEMS（Micro-Electro-Mechanical System微機(jī)電系統(tǒng)）是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件，是一個(gè)集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。
MEMS加工技術(shù)帶動(dòng)了傳感器向微型化發(fā)展，盡管MEMS技術(shù)能夠?qū)⒐に嚲瓤刂圃诤苄〉姆秶鷥?nèi)，但還是很難精確地控制擴(kuò)散硅的摻雜濃度，這就直接導(dǎo)致了MEMS傳感器零位溫度漂移和靈敏度溫度漂移的存在。工作溫度范圍變化通過兩種方法影響傳感器：其一是造成零點(diǎn)漂移，其二是影響整個(gè)量程的輸出。當(dāng)MEMS傳感器工作溫度的范圍不斷增大時(shí)，為減少由于溫度的變化產(chǎn)生的漂移現(xiàn)象，就需要對(duì)MEMS傳感器進(jìn)行溫度補(bǔ)償。不過，溫度范圍越寬，補(bǔ)償技術(shù)難度越大，校準(zhǔn)工作量也越大，所能保證全溫度范圍的精度也越難。
智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器
為解決溫度范圍和傳感器精度之間的矛盾，北京智芯傳感科技有限公司（簡(jiǎn)稱：智芯傳感）通過多年的研發(fā)和實(shí)踐，推出了ZXP6系列高精度寬溫域差壓氣體壓力傳感器。該壓力傳感器的核心是MEMS壓力傳感器和專用調(diào)理芯片，采用了當(dāng)前先進(jìn)的壓力傳感器技術(shù)和高集成、低功耗、高精度的數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)，提供了完整的壓力校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償，獲得放大的模擬輸出信號(hào)，可實(shí)現(xiàn)全溫區(qū)范圍內(nèi)最大誤差率僅為1%。
智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器適用領(lǐng)域也非常廣泛，目前已在醫(yī)療、工業(yè)和消費(fèi)電子等多個(gè)領(lǐng)域進(jìn)行產(chǎn)品應(yīng)用并收獲市場(chǎng)高度認(rèn)可及客戶廣泛好評(píng)。其中，在醫(yī)療應(yīng)用方面，ZXP6差壓氣體壓力傳感器憑借優(yōu)秀的性能參數(shù)表現(xiàn)及產(chǎn)品特性，成為呼吸機(jī)氣路系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。在呼吸機(jī)工作過程中，ZXP6差壓氣體壓力傳感器生成的信號(hào)，能夠幫助微處理器調(diào)節(jié)電機(jī)，從而調(diào)整或維持病人吸氣和呼氣所需的氣壓，時(shí)刻監(jiān)測(cè)病人的呼吸信號(hào)來控制呼吸器的動(dòng)作，使之與人體呼吸同步。而在另一款“救命神器”制氧機(jī)的使用中，ZXP6差壓氣體壓力傳感器可對(duì)制氧機(jī)中吸附塔壓力進(jìn)行精準(zhǔn)測(cè)量，進(jìn)而為制氧機(jī)供氧調(diào)節(jié)提供重要數(shù)據(jù)支持，確保充足供氧，同時(shí)，可對(duì)患者是否有開始吸氣進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以避免不吸氣時(shí)氧氣的浪費(fèi)。此外，ZXP6差壓氣體壓力傳感器還在生物安全柜、肺量計(jì)、呼吸功能檢測(cè)儀器等多個(gè)醫(yī)療器械中適用并發(fā)揮重要作用。
智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器性能優(yōu)良，可供量程-500-500kPa差壓和表壓的氣體測(cè)量，工作溫度范圍達(dá)到了40~125℃。另外，智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器有貼片和插針式兩種安裝方式，采用先進(jìn)的 MEMS微加工工藝設(shè)計(jì)制作，通過高可靠性封裝技術(shù)，產(chǎn)品的精度和穩(wěn)定性可以達(dá)到±1%FS。
智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器，實(shí)現(xiàn)了寬溫域高精度監(jiān)測(cè)，憑借先進(jìn)的產(chǎn)品性能在醫(yī)療、工業(yè)、消費(fèi)電子等多個(gè)應(yīng)用中發(fā)揮重要作用。相信在越來越多的市場(chǎng)檢驗(yàn)中，智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器一定能夠進(jìn)一步為客戶提供安全可靠、質(zhì)量穩(wěn)定、體驗(yàn)卓越、價(jià)格合理的產(chǎn)品服務(wù)，進(jìn)而創(chuàng)造更高的產(chǎn)品價(jià)值。
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