隨著我國平板顯示、光伏以及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，國產(chǎn)濕制程裝備的需求日益增長，經(jīng)過地方政府的考察與認可，2020年晶洲裝備投資新建濕制程智能裝備生產(chǎn)基地。經(jīng)過400多天的施工，目前該項目已順利通過竣工驗收。

　　晶洲裝備自2011年成立以來，一直專注于平板顯示、光伏、半導(dǎo)體領(lǐng)域的高精密濕制程裝備的生產(chǎn)及研發(fā)，產(chǎn)品主要包括高精密清洗、濕法刻蝕、光阻剝離、顯影等高端濕制程設(shè)備，至2021年6月，平板顯示工藝制程設(shè)備累積交付逾200臺/套；已交付量產(chǎn)設(shè)備對應(yīng)基板尺寸涵蓋G2.5~G8.6。

　　隨著新建濕制程智能裝備生產(chǎn)基地的交付使用，制造車間可對應(yīng)G10.5、G11超大尺寸基板裝備制造，機型可對應(yīng)包括單層I Type、雙層I Type、U Type等；實現(xiàn)平板顯示全系列基板尺寸裝備全覆蓋。

　　晶洲裝備本次投產(chǎn)的濕制程智能裝備生產(chǎn)基地位于江蘇省常熟市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)辛莊工業(yè)園，占地40,000平方米，具備年度120臺以上中大世代設(shè)備的交付能力。

　　以晶洲裝備2018年獲得江蘇省首臺（套）重大裝備的G6濕法刻蝕機為例，單臺濕法刻蝕機寬4米，高4.5米，長達30米；120臺中大世代設(shè)備可以擺滿兩個足球場。

　　這樣一個體積龐大的大型裝備，潔凈度要求卻非常高，設(shè)備內(nèi)部潔凈度要求達到Class10，即每立方米空間直徑大于0.5微米小于5微米的顆粒物不能超過10個，而人體細胞的平均直徑在10-20微米，相當(dāng)于每立方米空間不能有超過10個細胞大小的顆粒物。

　　為了達到這一要求，設(shè)備整機裝配需要在無塵車間進行；面向平板顯示工藝制程設(shè)備組裝均需在無塵室進行，為了保障裝配精度及部品潔凈度，新建了兩個恒溫恒濕加工車間。車間局部區(qū)域環(huán)境等級達Class100，具備高精密半導(dǎo)體設(shè)備的組裝及調(diào)試條件。

　　晶洲裝備在業(yè)務(wù)快速發(fā)展中，面對良好的市場環(huán)境、源源不斷的訂單，公司的研發(fā)業(yè)務(wù)、產(chǎn)品質(zhì)量與交貨周期，面臨巨大的挑戰(zhàn)與瓶頸。為提升產(chǎn)品的“研發(fā)-工藝-生產(chǎn)”效率，加快市場響應(yīng)速度，提高訂單交付質(zhì)量，加強研發(fā)業(yè)務(wù)管理水平，背靠華為云（常熟）工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)基地及其生態(tài)合作伙伴的技術(shù)支撐，晶洲裝備選擇與國內(nèi)優(yōu)秀CAD/PLM軟件企業(yè)CAXA進行戰(zhàn)略合作，借助CAXA在行業(yè)的最佳實踐與豐富經(jīng)驗，幫助晶洲裝備打造統(tǒng)一、規(guī)范的研發(fā)管理平臺。