臺積電3nm芯片工廠的建設，在2017年就已開始謀劃，當時創始人張忠謀還未退休。他在一次采訪中透露，保守估計單座fab的建設將花費150億至200億美元。

　　如果單按4年建設周期估算，相當于每天燒掉近1億元人民幣。

　　在臺積電的3nm工藝進入風險試產階段之后，預計月產能約為1到2萬片，到2022年中將再拉升到約5到6萬片。其中，絕大多數產能被大客戶蘋果包下，用以生產蘋果新一代處理器。

　　圖：臺積電園區

　　根據臺積電之前的說法，3nm制程與當前的5nm制程相較，其邏輯密度將提升1.7倍，運算速度提升11%，而且運算功耗可減少27%。在進入量產階段之后，屆時臺積電在3nm PPA（效能、功耗及面積）及電晶體技術上，都將繼續領跑業界。

　　而除了3nm制程按照進度進行之外，先前也有消息指出，臺積電也計劃在2021年全年擴大5nm制程的產能，用以滿足主要客戶日益成長的需求。

　　至于擴大產能的幅度，則是預計自2021年上半年開始，將產能由每月的9萬片，提升至每月10.5萬片，并計劃在2021年下半年進一步擴大產能至每月12萬片，到2024年將達到每月16萬片的規模。

　　圖：臺積電工藝路線

　　屆時，臺積電5nm制程的客戶包括AMD、聯發科、賽靈思、Marvell、博通和高通等一線芯片設計企業。

　　而據最新報導，基于N5P制程（第二代5nm）的下一代蘋果A15處理器已經在臺積電產線量產，其效能較A14提升至少20%。