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如何突破5納米工藝?未來的話語權或許就在亞洲

2020-10-30
作者:周凱揚
來源:老石談芯
關鍵詞: 臺積電 三星 5nm

  老石按:

  一個很有意思的發現,就是亞洲可能會主導未來半導體代工的話語權。隨著藍廠的拉胯,和格羅方德的沉寂,臺積電三星愈發強勢。然而事實真的是這樣嗎?這些代工廠使用了多少美國技術?它們背后的巨頭又有哪些?歡迎文末留言討論。

  電子發燒友網報道(文/周凱揚)對于芯片產業來說,制程工藝是一個大家耳熟能詳的一個詞。然而隨著摩爾定律的限制,不少廠商都在尋找繼續突破的辦法。為了從22nm過渡到16nm,幾乎所有從事半導體制造的領頭羊企業都選擇從平面晶體管轉為FinFET晶體管,由平面轉向立體。

  然而目前半導體制程面臨的又一大壁壘則是5nm,要突破到5nm以下,就不得不選擇全新的解決思路,比如使用極紫外光刻機(EUV)等,然而不同的半導體廠商紛紛踏上了不同的羅馬大路。

  三星

  三星為了化身半導體行業的領軍人,去年正式發布了“2030愿景”戰略,在2030年之前投資133萬億韓元(1105.1億美元)。如今三星已在做出了一系列舉措,比如開發3nm工藝、投資神經處理單元與AMD合作開發移動GPU等。三星如今已在韓國與美國建立了先進的300mm晶圓廠,在韓國和中國蘇州也有測試和封裝的產線。

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  三星在制程工藝上做到的“第一”/ 三星

  三星將借助EUV在FinFET上實現5nm和4nm,目前三星也在加快第三個EUV節點的量產計劃。而到了3nm上,三星將采用全新的GAA(環繞式柵極)結構。最典型的GAA就是納米線,但由于納米線的高成本,三星設計了一種全新的GAA形式MBCFET。MBCFET由多層堆疊的納米片組成,從FinFET的橫向堆疊改為垂直堆疊,兼容已有的FinFET設計。三星計劃2020年提供首批3nm GAA工藝客戶流片,2020年末進行試產,2021年末正式進入量產。

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  FinFET與MBCFET的比較 / 三星

  在三星的規劃中,14nm制程將作為低成本的首選,主要用于存儲、小芯片、DDR4和PCIe 4等應用;8nm主打性價比,已經可以用于AI交互、DDR5、PCIe 5和GPU,比如英偉達最新的RTX30系列。5nm和4nm則主要用于下一代CPU、AI訓練,并實現112G的SerDes速率,采用2.5D、3D TSV和FOWLP等先進封裝。三星在汽車上使用的先進工藝主要是14nm與8nm,提供AEC-Q100和ASIL B/D的認證,以及MIPI、內存、PCIe、以太網和安全等應用上的關鍵IP,輔以低成本高性能的封裝。

  英特爾

  英特爾的制程迭代之路就比較坎坷,不過與廣大代工廠不同的是,他們并不需要保持制程優勢,只要能在維持競爭力的情況下滿足客戶需求即可。因此Intel在14nm上徘徊了很長時間,直到2019年的處理器才開始使用10nm制程,而今年又爆出了7nm制程出現問題,產品線全面延遲,甚至解雇了芯片業務的主要負責人,甚至在考慮未來是尋求代工合作還是購買更多的7nm設備。這主要歸結于EUV的使用過晚,和技術業務架構上的失誤。

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  由FinFET轉為納米線 / Intel

  作為最早實現FinFET的廠商之一,Intel并不想在制程上落后于人,但他們更重視于晶體管密度的提升而不是單單的制程升級。今年8月,英特爾正式公布了10nm下的SuperFin技術,用于下一代Tiger Lake芯片中,并保證其功耗效率可以與臺積電的7nm相抗衡。在今年的第三季度財報會議上,Intel CEO司瑞博提到他們已經找到了7nm工藝問題的根源,部署了解決方案,取得了驚人的進展。此外,Intel在今年提出未來五年內將采用GAA結構,但他們所用的正是三星所拋棄的納米線。從Intel的路線圖來看,GAA結構也許會用于5nm制程工藝中。

  臺積電

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  臺積電的制程工藝發展 / 臺積電

  臺積電目前5nm制程已經實現量產,專門針對移動應用以及高效能運算應用開發。該制程為臺積電第二代運用極紫外(EUV)技術的制程,早在去年3月就已經進入了試產階段,于今年開始量產。目前蘋果的A14芯片以及華為海思的麒麟9000系列芯片都采用了臺積電的5nm制程,未來AMD的Zen 4 CPU也將使用這一技術。此外臺積電預計5nm推出一年后,將推出5nm FinFet強化版制程技術N5P,提升5%的性能,降低10%的功耗。

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  臺積電主要制程的PPA公開數據對比 / 數據來源:臺積電

  而5nm之后,臺積電打算先推出N4制程,通過進一步部署EUV層來減少光罩,并將芯片設計者的移植工作量減少到最小。臺積電預計N4的試產將于2021年第四季度開始,量產則要等到2022下半年,因此我們也許只能在2023年才得以看到4nm芯片登場。而在3nm節點上,臺積電并不打算采用GAA結構,而是繼續維持在FinFET。臺積電強調,他們對現有的FinFET技術打造了顯著的升級,使其能夠達到下一代的性能表現。臺積電還提到了FinFET的可預見性能使他們在批準時間線內成功交付該制程下的產品。這句話也許才是臺積電固守FinFET的根本原因,作為晶圓代工廠,滿足客戶的交期才是最關鍵的目標。而GAA這種先進結構,未知性太大,一旦產量和良率無法保證,將對公司造成巨大的打擊。

  中芯國際

  中芯國際目前第一代14nm的FinFET已經取得了突破,并在2019年第四季度進入了量產階段,也是目前大陸自主研發集成電路的最高制程水平。盡管中國大陸的制程工藝比較落后,但中芯國際在更先進制程上的研發早就開始了。中芯國際從28nm直接進入14nm,跳過了20nm的節點,未來也很有很可能直接實現制程飛躍。

  2017年底,中芯國際就已經開始投入研發資金開發7nm工藝。中芯國際的N+1與N+2制程并沒有宣稱是7nm,也不會采用EUV工藝。只有等到設備就緒后,N+2后的制程將使用EUV進一步推進制程迭代。今年10月11日,主營業務為IP和定制芯片的芯動科技宣布已經完成了基于中芯國際FinFET N+1工藝的芯片流片和測試。據高盛預測,中芯國際在2022年可以成功過渡到7nm工藝,2024年下半年將可以實現5nm工藝。

  從幾大公司的研發投入來看,制程突破不僅耗時,而且耗財。像英特爾這樣的IDM芯片廠商,出現制程問題后,都觸發了一系列負面影響,更不用說其他代工廠了。與此同時,芯片制程的迭代不代表對過去技術的完全拋棄,最新的制程仍將是高性能的代名詞,也是AI、5G、自動駕駛等技術的陪綁宣傳,但其余制程下的產品仍將在各個應用領域中生根發芽,這也是為什么臺積電還在推出N12e新制程的原因。國內雖然起步較晚,但是隨著制程工藝的推進愈發困難,相信未來很快就會迎頭趕上。

 

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