等離子清洗設(shè)備的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對(duì)玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。 等離子體的”活性”組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。

    一、表面清洗

    材料表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷等多種材料。

    二、表面活化

    塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團(tuán)，增強(qiáng)表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會(huì)損害樣品，同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。

    三、表面刻蝕

    在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì)變成氣化物(例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí))。處理氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。無需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來(例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料

    四、表面接枝與聚合

    在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時(shí)，采用等離子體接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán)，利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結(jié)合，后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán)，以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。

    使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大地提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)。使用等離子清洗，避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，很容易保持清潔衛(wèi)生。