2017年12月11日， 佳能正式發售適用于i線半導體光刻機“FPA-5550iZ2”※1和KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”※2的新產品——“200mm Option”。

i線半導體光刻機“FPA-5550iZ2”（2016年12月發售）和KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”（2012年4月發售）兩款設備自發售以來，在存儲器、邏輯電路、圖像傳感器等物聯網和車載半導體元件生產制作等方面的優勢，備受業界好評。從即日起，佳能將正式發售兩種機型通用的新品配件——“200mm Option”。

在存儲器和微處理器等半導體元件的制造領域，需要采用先進的微細加工技術，目前通常采用的是300mm晶圓規格。隨著物聯網應用和車載設備的迅速普及，該領域的半導體元件市場需求也不斷擴大，而這個領域的半導體元件需要利用成熟的工藝進行多品種少量的生產，因此元件制造廠商迫切需要能夠應對200mm晶圓需求的設備。

佳能發布對應200mm 晶圓需求的新品配件"200mm Option"，能夠通用于i線半導體光刻機“FPA-5550iZ2”、KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”,更廣泛地滿足客戶需求。

 ■實現業界高水準※3的高生產效率

通過配備“200mm Option”，在200mm晶圓規格下，“FPA-5550iZ2”和“FPA-6300ES6a”最快曝光處理速度分別達到每小時230片※4和每小時255片※5。在實現了同級別光刻機中高水準生產效率的同時也滿足了降低CoO※6（半導體制造設備投資和使用所需成本）的需求。

 ■在統一化平臺上可以輕松升級解決方案并使其多樣化

“FPA-5550iZ2”、“FPA-6300ES6a”自發售以來，由于使用了安全、高品質的統一平臺, 因此能夠為運行中的設備提供解決方案，為提高生產效率和重合精度實現持續升級。

為不斷滿足客戶提高生產效率的需求，佳能今后也會持續地為半導體光刻機提供更加多樣化的解決方案和升級服務。

注釋：

※1  使用i線（水銀燈波長365nm）光源的半導體光刻機。1nm（納米）是10億分之1米。

※2  使用波長248nm，混合了稀有氣體氪（Kr）和鹵素氣體氟（F）的激光的半導體光刻機。

※3  同級別的i線半導體光刻機以及KrF半導體光刻機的范圍內。截止2017年12月10日。（佳能數據）

※4  200mm晶圓,58Shot的條件下,每1小時的晶圓曝光處理片數。

※5  200mm晶圓,46Shot的條件下,每1小時的晶圓曝光處理片數。

※6 Cost of Ownership的縮略語。半導體制造設備投資和使用所需成本。是半導體廠商的生產線衡量工程和制造設備生產效率的指標之一。

佳能集團介紹

佳能自1937年創業以來，始終秉承“共生”的企業理念，以創造世界一流產品為奮斗目標，向多元化和全球化發展。目前，佳能的事業以光學技術為核心，涵蓋了辦公產品、影像系統產品、醫療系統業務以及產業設備及其他產品等廣泛領域。位于東京的集團總部與美洲、歐洲、亞洲、大洋洲以及日本的各區域總部緊密聯系，構筑了全球化與本土化有機結合的經營體制。1996年，佳能啟動了旨在實現以技術服務社會，成為全球范圍內被信賴、受尊敬的企業為目標的“全球優良企業集團構想”。 2017年是佳能成立80周年。目前佳能集團分布在世界各地的合并結算子公司已達373家公司，員工201,173人。（此數據截止至2017年6月30日）

佳能亞洲營銷集團介紹

佳能亞洲營銷集團是佳能五大營銷集團之一，所管轄亞洲機構遍布中國、韓國、新加坡、泰國、馬來西亞、菲律賓、印度、越南、香港、臺灣等國家及地區，目前擁有12家集團公司，員工近7千人。在“感動常在”口號的指引下，佳能亞洲營銷集團始終以創造世界卓越產品和提供優質服務為奮斗目標，積極推動事業向多元化和全球化發展，辦公產品、影像系統產品、醫療系統業務以及產業設備及其他產品等廣泛領域都發揮著巨大的作用。佳能亞洲營銷集團總部是位于北京的佳能（中國）有限公司，在佳能（中國）的帶領下，佳能亞洲營銷集團加強了多種經營的戰略，在全球市場占有越來越重要的位置。（以上數據截止至2017年6月30日）

 佳能（中國）有限公司介紹

佳能的中國事業始于上個世紀70年代末。從最初的技術合作到獨資建廠再到成立銷售公司，經歷了多種經營模式的探索。1997年3月，佳能（中國）有限公司成立，全面負責佳能在中國市場銷售的各項工作。經過多年努力，目前業務已經覆蓋辦公產品、影像系統產品、醫療系統業務以及產業設備及其他產品四大領域，已基本建成以6大區域總部為核心30個分支機構以及8個展廳、6個快修中心、5個特約快修中心、9個快捷服務站等組成的銷售服務網絡。2017年是佳能（中國）成立20周年，公司將深深植根于中國市場，致力于成為一家被中國人民信賴、尊敬的企業。（以上數據截止至2017年6月30日）