隨著電子產品的快速發展,作為集成電路產業鏈的上游,硅片的研發生產成為支撐整個產業鏈最重要、應用最廣泛的基礎功能關鍵環節。目前,國內8英寸硅片需求約為每月70萬片,約90%需依靠進口。而近10萬片的國產硅片份額中,64%出自寧波的浙江金瑞泓科技股份有限公司的生產車間。

近日,“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(02專項)實施管理辦公室在寧波組織召開02專項正式驗收會。金瑞泓科技公司承擔的“8英寸硅片研發與產業化及12英寸硅片關鍵技術研究”項目順利通過驗收。相關專家表示,該項目的順利驗收,標志著我國8英寸半導體硅片的大批量生產得以實現,藉此有望打破國外對8英寸半導體硅片高度壟斷的局面,極大地縮小我國與國際半導體硅片行業生產水平間的差距。

據了解,重大專項是為了實現國家目標,通過核心技術突破和資源集成,在一定時限內完成的重大戰略產品、關鍵共性技術和重大工程。《國家中長期科學和技術發展規劃綱要(2006-2020)》確定了大型飛機等16個重大專項。這些重大專項是我國到2020年科技發展的重中之重。“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項”屬于專項中的第二項,所以簡稱為“02專項”。

全面建成8英寸硅片規模化生產線

半導體行業龍頭順利通過專項驗收

此次項目驗收會的專家組由國家科技重大專項咨詢委專家、行業資深技術專家、知識產權專家、財務專家組成等17位專家組成。專家組在聽取公司報告、現場測試報告和現場考察等之后,一致認為金瑞泓科技已經建成8英寸硅片的全系列先進生產線,形成月產8英寸硅拋光片12萬片,硅外延片5萬片能力。目前該項目共申請了國家專利52件,其中35件發明專利獲得授權。

企業所生產的8英寸硅片產品目前通過了包括華潤上華、華虹宏力、中芯國際及中航微電子等排行國內前十名的主流集成電路制造企業的采購認證與使用,產品質量達到國際先進水平。目前金瑞泓的8寸硅片已占到國產市場份額的64%,占國內市場(含進口硅片)的6.3%。

承擔國家科技重大專項(02專項)的金瑞泓科技目前是國內唯一具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片完整產業鏈的半導體企業,是我國半導體硅材料行業的龍頭企業,在由中國半導體行業協會在2015年開始舉辦的中國半導體材料十強企業評選中,連續榮獲2015、2016年度第一名。此次專家組一致同意金瑞泓科技承擔的02專項項目通過驗收,企業負責人表示是業內專家對公司長期以來專注于半導體硅片業務并取得重要技術成就的充分肯定。

打破國外壟斷

我國大直徑硅片產業化步伐有望加快

“作為集成電路制造業最大宗的關鍵材料,大尺寸硅片一直依賴進口,嚴重制約我國集成電路產業競爭力和供應鏈安全。大尺寸半導體硅片的產業化,是02專項核心任務之一。” 02專項技術總師、中國科學院微電子研究所所長葉甜春如是說。

在驗收總結時,葉甜春對金瑞泓科技在02專項實施期間取得的重要技術成就給予了充分肯定,希望企業進一步加大8英寸硅片的市場開發力度,推廣相關成果應用,以更加開放包容的姿態把企業做大做強。

金瑞泓科技副總經理吳能云表示,02專項的實施及通過驗收,使企業在國內半導體硅片領域的領先地位進一步得到鞏固,大幅度加大我國大直徑硅片的國產化步伐,打破了國外對8英寸半導體硅片高度壟斷的局面。同時,專項成果的應用降低了國內下游企業的生產成本,帶動了多晶硅等上游相關行業的發展,從而有力支撐了我國集成電路行業的開展。

“提升我國半導體硅片的整體水平是振興民族半導體工業、發展現代化信息業的重要環節,02專項的實施及通過驗收,使公司更有信心與能力建設以市場為導向、以創新為動力、產、學、研、用一體化的集成電路產業鏈,為加快推進我國集成電路的自主創新和可持續發展做出更大的貢獻。”吳能云說。

上億元專項資金扶持

鑄就8英寸硅片“單項冠軍”

金瑞泓的硅片生產線包括拉晶、切割、研磨、拋光、外延等多道工藝,最終的成品硅片需要經過幾十道工序。精密的材料對生產環境的要求也非常高,硅片的生產制造過程需要在潔凈室內完成。企業的潔凈室內要求每立方英尺空氣中大于等于0.1微米粒徑的灰塵數量不超過10顆,比醫院無菌室標準還高出許多。

為應對激烈的國際競爭格局,金瑞泓科技多年來聯合浙江大學硅材料國家重點實驗室,以及中電13所、55所等高校院所,攜力克服困難,致力于高端大尺寸半導體硅片國產化工作。憑借多方的優勢整合,終于實現了8英寸半導體硅片的大批量生產。

據了解,金瑞泓科技承擔的02專項在研討、論證、立項過程中,寧波市積極對接國家有關部委,推動項目落地。2010年10月項目立項以來,寧波市和保稅區兩級地方政府配套經費7423萬元按期足額到位,有效推動了項目取得階段性研究成果和順利實施,加上國家等額的專項經費扶持,企業獲得的專項扶持資金近1.5億元。

寧波市科技局采取多種形式,對項目的研究進展情況和經費使用情況進行督導檢查,并先后在2015年10月、2016年4月、2016年8月指導和幫助金瑞泓科技通過了02專項辦組織的現場檢查、現場測試和內部驗收等工作,為項目順利通過正式驗收奠定了基礎。

寧波市相關負責人表示,將進一步加大集成電路產業扶持力度,并成立了首期規模100億元,按市場化機制運行的寧波市集成電路產業投資基金,在積極引進骨干企業、加速企業培育、強化協同創新、提升專業化服務、優化發展環境等幾方面大力培育發展集成電路產業,打造國家級集成電路特色工藝產業基地和專用材料產業基地,規劃建成長三角南翼的集成電路產業強市。“寧波市未來將會涌現出更多像金瑞泓科技一樣具有較強行業影響力的集成電路企業。”該負責人說。