幾番折騰、歷經三度環評卡關，臺積電的中科擴廠案終于在去年2月有條件通過，然而，因原開發規劃可能使用或排放的化學物質品項變更，環境差異分析報告需重新送件審議，在11月初步闖關成功后，終于在28日環評委員會通過，宣告擴廠邁開大步，未來可好好沖刺10納米量產。

攸關臺積電10納米、7納米制程的中科園區（原大肚山彈藥分庫）開發案，經四度環評闖關，才在2015年2月，以中科一、二期健康風險評估也納入中科五期評估下，有條件通過。然而，廠房運作將使用或衍生的化學物質項目與數量擬有所變更，臺積電又再重新送件審議，今年11月3日環保署專案小組初審通過，再度送交環評大會，在28日第306次環評大會終于通過此案，宣告塵埃落定。

環差修正通過，據中國臺灣地區環境信息協會環境資訊中心報導，環評大會也提出附帶要求，中科管理局需定期、不定期查核臺積電化學品之使用，臺積電也需公開空氣、水、廢棄物等排污情形。臺積電資深處長莊子壽指出，環差案通過，也讓目前試運轉的臺積電10納米吃下定心丸，臺積電將開始拚量產，并表示希望2017年有好消息。

中科園區（原大肚山彈藥分庫）開發案開發規模在53．08公頃，臺積電申請使用面積約32公頃，預計此地晶圓15廠P5、P6廠將于2017年完工，除了導入10納米量產，7納米制程官方預計也會安排在此。

臺積電南科高雄園區擴建環差變更案也在今年11月底通過環差初審，該擴建案預計斥資5，000億新臺幣建新廠，于明年動工，發展5納米與3納米制程。