奧地利維也納技術大學已經改進其雙功能6.8μm量子級聯激光器和探測器(QCLD)技術[作者Benedikt Schwarz等。發表于應用物理快報,2015年107卷第071104頁]。將量子級聯激光器(QCL)和量子級聯探測器(QCDS)單片集成可以制備緊湊型光譜系統,用于環境監測和醫療應用,比如痕量氣體檢測、血清分析等。
在同一外延材料上集成高效率激光器和探測器是一個挑戰,因為一種模式優化設計并不適用另一種模式。此外,由于峰值波長依賴偏置電壓,難以在激光輻射和探測器光響應之間維持光譜重疊。
維亞納大學研究人員評論說:“以前的設計表明激光器和探測器能在室溫工作,由于大閾值電流密度和低墻插效率,僅限于低占空比操作。”團隊已經精細設計以提高激光性能,并聲稱“雙功能設計可以達到與傳統量子級聯激光器相比較的脈沖性能”。
利用分子束外延(MBE)在磷化銦(InP)上生長量子級聯激光器和探測器。設計包括35個周期的有源區域和兩個低摻雜砷化鎵銦(InGaAs)約束層。激光器和探測器制備在10μ米寬的氮化硅絕緣脊和退火的鈦/金觸點上。設備安裝在銦鍵合銅表面上。
研究人員報告說,新的激光裝置改進了脈沖模式(100ns在 10kHz)的所有特征參數。采用3mm長的法布里-珀羅脊,室溫閾值電流為3kA/cm2,以前的QCLD 器件技術閾值為6kA / cm2。同時,光輸出是470mW(以前為200MW)。總的壁插效率為4.5%,這是具有波導結構傳統QCL壁插效率的二分之一或三分之一。一些小組已經實現了高達50%的壁插效率。
對于探測器部分,0.5mm長脊在零偏壓時峰值響應為40mA/W。在峰值波長微分電阻1.6KΩ時Johnson /熱噪聲等效功率(NEP)達到80 pW /√Hz。研究人員指出,受制于劈裂工藝脊長限制在0.5mm。光刻和干法蝕刻可以減少脊長度。團隊評論說:“15μm脊長會優化約翰遜噪聲限制等效功率,50μm脊長器件具有較高響應率。
芯片結構配置上激光器和探測器之間有一個小氣隙,峰值絕對不飽和光電流為9mA。