射頻等離子工藝設備中的自動阻抗匹配技術
所屬分類：技術論文
上傳者：aetmagazine
文檔大小：462 K
標簽： 等離子 自動阻抗匹配 射頻
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文檔介紹：介紹了射頻阻抗匹配的基本原理和常見的匹配網絡類型，以串并聯電容組成的Г型匹配網絡為例，利用史密斯圓圖，闡述了阻抗匹配的工作原理。介紹射頻等離子技術在微電子工藝設備中的應用。給出了自動匹配網絡的檢測電路、電機驅動電路和控制電路，提出了優化自動阻抗匹配能力的方法。
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