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Intel前CEO基辛格投身EUV光刻

2025-04-14
來源:快科技
關鍵詞: EUV 光刻機 基辛格

4月14日消息,Intel前任CEO帕特·基辛格已經找到了新工作!本人親自宣布,已經加盟xLight擔任執行董事長。

xLight是一家半導體行業創業公司,主要業務室面向EUV極紫外光刻機,開發基于直線電子加速器的自由電子激光(FEL)技術光源系統,可顯著降低成本。

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目前的ASML EUV光刻機使用的是激光等離子體EUV光源(LPP),依賴超高功率的高能激光脈沖,因此整個系統極為龐大、復雜,而產生的EUV光源功率有限,這也是其成本、價格高昂的核心原因,單價超過1.5億美元。

因此,美國、中國、日本等都在積極研究替代方案,FEL自由電子激光器就是廣為看好的EUV光源,包括振蕩器、自放大自發輻射兩大技術路線。

它可以產生超過10kW功率的EVU光源功率,可同時滿足10臺光刻機的需要,而且不會產生錫滴碎片而污染環境。

其實,ASML早在十年前就考慮過FEL EUV光源路線,但最終認為風險偏高,而走向了LPP EUV光源。

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有關研究顯示,10kW功率的FEL EUV光源的建設成本約為4億美元,每年運營成本4000萬美元。

相比之下,250W功率的LPP EUV光源的建設成本約為2000萬美元,每年運營成本1500萬美元。

算下來,EFL路線的建設成本只有LPP路線的1/2,運營成本更是1/15,綜合成本約為1/3。

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基辛格加盟的xLight公司,正在研發基于ERL(能量回收直線加速器)的FEL EUV光源系統,可提供1000W的功率,四倍于ASML,從而將單塊晶圓光刻成本降低約50%,而且單個光源系統就能支持20臺光刻機,壽命也長達30年。

xLight FEL EUV光源系統的另一個好處,就是兼容現有的ASML EUV光刻機,可以直接整合,預計2028年可接入ASML光刻機,并開始生產晶圓。

xLight公司規模不大,但是團隊在光刻和加速器領域擁有豐富經驗,包括來自斯坦福直線加速器等的資深研究人士,首席科學家Gennady Stupakov博士曾在去年拿到IEEE核能和等離子體科學學會粒子加速器科學技術獎。

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