日前，ASML CEO Peter Wennink最新接受媒體采訪時(shí)透露，他們正在全力研制劃時(shí)代的新光刻機(jī)high-NA EUV設(shè)備，而高NA EUV光刻機(jī)系統(tǒng)的單臺(tái)造價(jià)將在25億元（單臺(tái)造價(jià)在3億到3.5億歐元之間，約合人民幣21.95到25.61億元）。
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資料顯示重型航母（排水量60000噸以上）航母造價(jià)是35億美金左右，而上述光刻機(jī)成本等同于f35戰(zhàn)斗機(jī)造價(jià)（1.5-2.5億美元）。盡管如此昂貴，但I(xiàn)ntel此前表示自己是全球第一個(gè)下單的客戶，臺(tái)積電也跟進(jìn)了。高NA EUV光刻機(jī)將在2024年進(jìn)廠投入使用，預(yù)計(jì)年產(chǎn)能20臺(tái)左右。
按照ASML的說(shuō)法，高NA EUV光刻機(jī)將在2024年進(jìn)廠投入使用，預(yù)計(jì)年產(chǎn)能20臺(tái)左右。該公司還預(yù)計(jì)其營(yíng)收將在2025年翻一番。
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