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曝臺積電計劃關閉部分EUV光刻機

2022-09-02
來源:21ic
關鍵詞: 臺積電 EUV 芯片

EUV光刻機是半導體制造中的核心設備,只有ASML公司才能生產,單臺售價約10億人民幣。價值不菲的光刻機,同時也是個十足的紙老虎,它的耗電量十分驚人,生產一天,大約需要消耗3萬度電左右!工作一年就要消耗1000萬度電。

據報道,因為今年半導體形勢變化,EUV光刻機反而因為耗電太多,臺積電計劃關閉省電。

來自產業鏈的消息人士手機晶片達人的消息稱,由于先進制程產能利用率開始下滑,而且評估之后下滑時間會持續一段周期,臺積電計劃從年底開始,將部分EUV 設備關機,以節省EUV設備巨大的耗電支出。

據了解臺積電目前擁有大約80臺EUV光刻機,主要用于7nm、5nm及以下的先進工藝,今年9月份還會量產3nm工藝,都需要EUV光刻機,然而隨著PC、手機、顯卡等產品的需求下滑,先進工藝生產的芯片勢必會受到影響。

蘋果今年的iPhone 14 Pro系列的A16處理器也沒有急著上3nm工藝,還在用4nm工藝,此外蘋果還因為3nm能效問題,取消了初代3nm生產芯片的計劃。

相比之前的DUV光刻機,EUV光刻機需要使用高能激光器,而且光線會多次折射導致損耗極大,早期效率只有0.02%,現在量產的說是可以達到2%效率,但也意味著絕大多數電力都要消耗掉。



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