事件：4月28日，公司發布2022年一季報，22Q1公司實現營收3．54億元，同比＋28．5％；歸母凈利潤431萬元，同比－88．6％。

疫情致設備收入確認延期，22Q1業績短期承壓。公司22Q1實現營收3．54億元，同比增長28．9％，低于預期，主要受疫情以及廠務端進展延期等因素影響，公司部分交付設備未能及時在一季度確認收入所致。利潤方面，公司22Q1實現歸母凈利潤431萬元，同比下降88．6％；實現扣非后歸母凈利潤2360萬元，同比下降24．98％；主要原因為1）公司維持高研發投入，22Q1研發費用率同比上升近5 pcts至22．75％，2）非經常性損益部分，公司間接持有中芯國際科創板股票導致公允價值受益同比減少1771萬元。

在手訂單充沛，2倍超前采購儲備原材料。22Q1公司經營活動產生現金流量凈額－1．26億元，同比減少247％；其中購買商品、接受勞務支付的現金5．3億元，相較去年同期2．3億元，實現近翻倍增長。當前高景氣背景下，供不應求已從半導體設備行業向上游蔓延，多類零部件交期延長。從現金流變化我們可以看見公司正積極儲備原材料及備件，以應對下游晶圓廠旺盛需求。此外，從采購角度看，公司2021年采購總額18億元，相較當年8億元的材料成本，依舊采取2倍超前采購策略，側面印證公司在手訂單充沛。

鍍銅和爐管收入放量，平臺化戰略賦能長期成長。電鍍設備方面，公司2月宣布獲得21臺電鍍銅設備訂單，其中前道ECP map設備10臺，隨著產品交付及后續重復訂單突破，公司電鍍設備將對2022及之后的收入增長形成較大貢獻。爐管設備方面，公司去年出貨的7臺demo機，預計將在今年確認收入，后續重復訂單也在積極推進中；研發上，今年公司也將推出兩種ALD爐管設備，繼續公司賦能長期成長空間。

盈利預測：我們預計公司2022－2024年營業收入26．2／39．7／53．7億元，歸母凈利潤4．0／6．4／8．5億元，維持“推薦”評級。

風險提示：（1）下游晶圓廠擴產不及預期；（2）疫情影響上游供應鏈及產品出貨；（3）產品研發及市場推廣不及預期。