近幾年，臺積電坐穩晶圓代工龍頭老大，在先進制程超越三星、英特爾等對手，后來在 EUV（極紫外光）量產也領先，技術上彎道超車英特爾。但臺積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅日前回憶一段往事，提到臺積電早年發展相當艱辛，2002年英特爾號召業界成立EUV LCC聯盟，臺積電也想加入，但當初只限6家廠商，最后一個名額被IBM搶走，臺積電就被排除在外，不過臺積電轉往浸潤式微影技術發展，后來EUV 量產領先，甚至超車當年成立聯盟的英特爾。
財訊快報報導，林本堅日前受訪時表示，2002年英特爾拉攏摩托羅拉、AMD等公司成立EUV LCC聯盟，希望大家共同出資研發EUV設備，并應用于未來的40nm與60nm。當時臺積電也希望加入EUV聯盟，但因當初只限定6家廠商，IBM搶走最后一個名額，臺積電無緣，而被排擠在外。
林本堅表示，臺積電無法參與EUV聯盟，只好自己想辦法，轉而研發浸潤式（Immersion）微影技術，直到近幾年的5nm制程，才采用艾司摩爾的EUV機臺設備。當年EUV聯盟的半導體企業中，除了英特爾之外，其他5家已退出芯片制造，而截至目前為止，英特爾尚未進入EUV量產，從先進制程技術來看，臺積電反而大幅超前，穩居全球晶圓代工一哥寶座。
對于臺積電來說，現年79歲的前研發副總經理林本堅是臺積電先進技術躍進重要推手，他在IBM工作22年后，選擇在美國自行創業將近10年，2000年在蔣尚義力邀下，加入臺積電團隊，并在2002年開始推動浸潤式微影技術，此項技術對全球半導體產業及臺積電先進制程貢獻極大。
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