《電子技術(shù)應(yīng)用》
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芯片工藝的5nm和7nm是怎么來(lái)的?揭開(kāi)芯片工藝和摩爾定律背后的“秘密”

2021-11-15
來(lái)源:EETOP
關(guān)鍵詞: 5nm 7nm 芯片工藝 摩爾定律

1:摩爾定律

1965年,硅谷傳奇,仙童“八叛徒”之一,英特爾原首席執(zhí)行官和榮譽(yù)主席,偉大的規(guī)律發(fā)現(xiàn)者戈登·摩爾正在準(zhǔn)備一個(gè)關(guān)于計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器發(fā)展趨勢(shì)的報(bào)告。

在他開(kāi)始繪制數(shù)據(jù)時(shí),發(fā)現(xiàn)了一個(gè)驚人的趨勢(shì)。

每個(gè)新的芯片大體上包含其前任兩倍的容量,每個(gè)芯片產(chǎn)生的時(shí)間都是在前一個(gè)芯片產(chǎn)生后的18~24個(gè)月內(nèi),如果這個(gè)趨勢(shì)繼續(xù),計(jì)算能力相對(duì)于時(shí)間周期將呈指數(shù)式的上升。

 這個(gè)就是大名鼎鼎的摩爾定律, 其對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展描述,異乎尋常的正確。

總結(jié)來(lái)說(shuō):

1:集成電路芯片(wafer)上所集成的電路的數(shù)目,每隔18個(gè)月就翻一番。

2、微處理器的性能每隔18個(gè)月提高一倍,而價(jià)格下降一半。

3、用一美元所能買到的計(jì)算機(jī)性能,每隔18個(gè)月翻兩番。

 你可能覺(jué)得摩爾定律平平無(wú)奇,只不過(guò)是一個(gè)總結(jié)?

其實(shí)這可以推導(dǎo)出了一個(gè)公式,那就是每18個(gè)月,在芯片規(guī)模不變的情況下,芯片面積減半。

這樣相同的大小的wafer,可以生產(chǎn)出多一倍的芯片。

 如果上一代工藝芯片面積是1mm2,在新工藝上,面積就是新工藝的一半,也就是0.5mm2。

我們假設(shè)兩代工藝wafer成本一樣(一般新工藝會(huì)貴一些),那么采用新工藝,其成本是原來(lái)工藝成本的一半。

這個(gè)就是摩爾定律揭示的現(xiàn)實(shí):

那就是,采用新工藝的芯片,面積更小,功耗更優(yōu),頻率更高,成本還更低。

這個(gè)就是新工藝對(duì)老工藝降維式的打擊!

這些優(yōu)點(diǎn)和好處就是驅(qū)動(dòng)芯片工藝不斷進(jìn)步的發(fā)動(dòng)機(jī)。

也就是摩爾定律的內(nèi)涵。

那如果芯片工藝進(jìn)步,每個(gè)晶體管的尺寸就會(huì)縮小,那到底縮小多少?

 微信截圖_20211115154608.png



如上圖所示,晶體管數(shù)量保持不變的情況下, 下一代新工藝的芯片面積是上一代的一半。

 那么X和Y什么關(guān)系。

如果我們按照正方形來(lái)計(jì)算的話?

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那么新工藝大約是老工藝晶體管尺寸的0.7倍。

也就是晶體管會(huì)縮小0.7倍。

那根據(jù)摩爾定律,我們利用初中數(shù)學(xué)知識(shí),就能算出每一代工藝的進(jìn)步,從800nm開(kāi)始(這個(gè)80586的工藝節(jié)點(diǎn))。

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 而芯片工藝的發(fā)展也印證了這一點(diǎn):

從0.8 μ m、0.5 μ m、0.35 μ m、0.25 μ m、0 .18 μm、0.13 μ m、90nm、65nm、45nm、32nm、22nm、16nm、10nm、7nm,5nm。

 實(shí)際的工藝節(jié)點(diǎn),符合了這個(gè)要求。

摩爾定律和現(xiàn)在芯片制程完全吻合。


神奇!


2:半節(jié)點(diǎn)

可能有些工藝制程知識(shí)的同學(xué)會(huì)說(shuō):

有點(diǎn)不對(duì)勁,

這個(gè)圖里,制程很火的40nm,28nm,14nm跑哪里去了。

對(duì),這就涉及到一個(gè)芯片制造廠常用的手段。

shrink。

我們都知道,一個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)研發(fā)成功后,其研發(fā)成本是很高的。

如果可以在這個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)上持續(xù)優(yōu)化,面積,功耗等等。

也是一種最大化利用原有投入的方式。

就像intel就在14nm上做的一樣。

14nm+++

持續(xù)優(yōu)化。

而我們今天講的shrink,也是一種優(yōu)化。

它本質(zhì)上是利用光照(MASK)等比例縮放后。晶體管尺寸縮小一點(diǎn),芯片仍然能夠正常工作,從而減少芯片面積,降低成本。

那么shrink的比例是多少?

Shrink 一般可以將晶體管的尺寸縮小0.9倍。

大約每個(gè)邊長(zhǎng)縮放為0.9;整體面積縮小0.81;

 這個(gè)過(guò)程又稱為,芯片收縮(die shrink)。

然而,按比例縮小可能引入新的問(wèn)題,例如漏電流增大,但是通過(guò)工藝參數(shù)可以來(lái)調(diào)節(jié)漏電,shrink在不改變工藝特性的基礎(chǔ)上,修修補(bǔ)補(bǔ),也能挖掘這個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)的潛力。

這些shrink后的工藝節(jié)點(diǎn),也被人稱為半節(jié)點(diǎn)。

例如:

 40nm是45nm shrink后的半節(jié)點(diǎn)。

 28nm是32nm  shrink后的半節(jié)點(diǎn)。

 20nm是22nm shrink后的半節(jié)點(diǎn)。

 14nm也可以看作16nm shrink后的半節(jié)點(diǎn)。

把前面的工藝,乘以0.9就可以了。

DIE shrink是芯片制造廠家來(lái)做的,和芯片設(shè)計(jì)公司沒(méi)有關(guān)系。

工程師設(shè)計(jì)完成的版圖都是 pre shrink的,而到了廠家生產(chǎn)的時(shí)候,直接進(jìn)行shrink,生成的die的面積比版本等比例縮小。

所以我們現(xiàn)在芯片設(shè)計(jì)工程師,做40nm或者28nm等半節(jié)點(diǎn)工藝時(shí),都有一個(gè)shrink的流程。

會(huì)發(fā)現(xiàn),芯片的版圖比實(shí)際的DIE的面積要大。

如果我們計(jì)算最后的DIE(芯片)面積,實(shí)際上要算shrink之后的,而不是版圖的面積。

 EDA工具標(biāo)注的都是shrink前(pre shrink)的面積。

 那就是設(shè)計(jì)公司給了芯片制造廠一張10X10的設(shè)計(jì)圖紙,而芯片廠生產(chǎn)的尺寸卻是9x9。

 具體DIE,WAFER等定義,不熟悉的同學(xué),可以參見(jiàn)老哥原來(lái)寫的的《人類高質(zhì)量芯片工程師的那些“黑話”》

 這些優(yōu)化后的,40nm,28nm等等,成為了更成熟和長(zhǎng)壽的工藝。

而原有的45nm,32nm等,與優(yōu)化后的40nm,28nm相比,不再具有優(yōu)勢(shì),廠家不再推這些工藝工藝。

 事實(shí)上,業(yè)界通常把45nm/40nm, 32nm/28nm, 22nm/20nm, 16nm/14nm 這些工藝節(jié)點(diǎn),看作同一個(gè)工藝節(jié)點(diǎn),是一代,只是廠家通過(guò)shrink這種手段,進(jìn)行的優(yōu)化。

加上shrink以后,我們看到目前的28nm,14nm,10nm,7nm,5nm都可以用摩爾定律上一節(jié)的初中數(shù)學(xué)知識(shí)算出來(lái)。

 嚴(yán)絲合縫,理論和實(shí)際吻合的很好。

 戈登.摩爾,真神人也!


3:柵極長(zhǎng)度

 但是,事實(shí)果真如此嗎?

 這些數(shù)字里面隱藏著一個(gè)極大的隱情。

 我們來(lái)看一張圖:

 

 


大約從20世紀(jì)60年代到90年代末,節(jié)點(diǎn)的命名是基于它們的柵極長(zhǎng)度命名的。IEEE的此圖表顯示了以下關(guān)系。

 柵極長(zhǎng)度(gate length)和半節(jié)距(芯片上兩個(gè)相同特征之間的距離的一半)匹配工藝節(jié)點(diǎn)名稱,這個(gè)其實(shí)0.5um,0.35um,0.25um的一些命名的原因。

但是在28nm以下,由于采用finfet這些新的技術(shù),這些和實(shí)際的節(jié)點(diǎn)和柵極長(zhǎng)度,以及半節(jié)距(half-pitch)就匹配不上了

 如果保持節(jié)點(diǎn)名稱和實(shí)際特征尺寸同步,就會(huì)如紅線所示。

 2015年前,芯片制造的最小工藝尺寸就會(huì)跌破1nm。

 而實(shí)際上,廠家暗渡陳倉(cāng)了,

 而實(shí)際上,整個(gè)工藝曲線更接近藍(lán)線所示。

 你以為的7nm,5nm,早已不是原來(lái)指的柵極長(zhǎng)度(gate length),或者(half-pitch)半節(jié)距。

那這個(gè)7nm,5nm怎么來(lái)的。

畫大餅來(lái)的!

畫大餅,這個(gè)你是不是比較熟。

 公司的老板最擅長(zhǎng)搞這個(gè),畫大餅,或者叫畫路線圖(roadmap)。

 老板說(shuō):未來(lái)三年每年增長(zhǎng)一倍,今年銷售額1億,10年后就成為銷售千億公司。

 關(guān)鍵是,這玩意不能這么算,按照這么算,幾十年后,地球都成為你們公司的,你們銷售額也完不成。

 那么芯片制造的大餅,或者(roadmap)是怎么畫出來(lái)的?

由于半導(dǎo)體制造涉及巨大的資本支出和大量的長(zhǎng)期研究。從論文中引入新技術(shù)方法到大規(guī)模商業(yè)制造的平均時(shí)間約為10-15年。

 幾十年前,半導(dǎo)體行業(yè)認(rèn)識(shí)到,如果有一個(gè)節(jié)點(diǎn)介紹的總體路線圖以及這些節(jié)點(diǎn)將針對(duì)的功能尺寸,這將對(duì)參與芯片流程的每個(gè)單位都用導(dǎo)引作用。

也就是說(shuō),比如,2025年,我們畫個(gè)大餅要搞1nm,那么,這個(gè)時(shí)候所需要光刻設(shè)備廠家,刻蝕設(shè)備廠家,材料廠家,研究機(jī)構(gòu)等等,都要瞄準(zhǔn)這個(gè)目標(biāo)來(lái)做。

這個(gè)路線圖,主要是“為大學(xué)、財(cái)團(tuán)和行業(yè)研究人員提供未來(lái)的主要參考,以刺激各個(gè)技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新”。

也就是說(shuō),要給芯片制造從業(yè)者畫一個(gè)大餅。

 多年來(lái),國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(ITRS)發(fā)布了該行業(yè)的總體路線圖。這些路線圖延續(xù)了15年,為半導(dǎo)體市場(chǎng)設(shè)定了總體目標(biāo)。

ITRS就是畫大餅的人!

 那如何畫這個(gè)大餅(roadmap)?

當(dāng)然是摩爾定律,也就是本文第一部分介紹的那樣。

摩爾定律這個(gè)就是這么粗暴。

 一直從幾百nm,干到5nm或者3nm。

 關(guān)鍵是,數(shù)學(xué)可以這么算,物理能這么搞嗎?

 這么搞,是不是有點(diǎn)太草率了。

 

4:營(yíng)銷手段:寶馬5系和5nm

不久之后, ITRS(國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖)這個(gè)組織也明白了,這么搞是不行的。

不能把柵極長(zhǎng)度(gate length)或半節(jié)距(half-pitch)與節(jié)點(diǎn)大小聯(lián)系起來(lái)的原因是:

 因此這些尺寸要么停止縮放,要么縮放得更慢了。

粗暴的乘以0.7還能指望晶體管能工作。

這種晶體管,工業(yè)界制造不出來(lái)。

于是,在2010年,ITRS將每個(gè)節(jié)點(diǎn)上的技術(shù),統(tǒng)稱為“等效縮放”。

也就是說(shuō),不用實(shí)際對(duì)應(yīng)上,你覺(jué)得差不過(guò)就行。

 也就是說(shuō),7nm,5nm,早已不是原來(lái)指的柵極長(zhǎng)度(gate length),或者(half-pitch)半節(jié)距。

 這種改變,反應(yīng)了芯片制造業(yè)的現(xiàn)狀:

臺(tái)積電的Philip Wong在Hot Chips 31主旨演講中說(shuō):“它過(guò)去是技術(shù)節(jié)點(diǎn),節(jié)點(diǎn)編號(hào),意味著一些東西,晶圓上的一些功能。”。

 但是:“今天,這些數(shù)字只是數(shù)字。它們就像汽車模型——就像寶馬5系或馬自達(dá)6。數(shù)字是什么并不重要,它只是下一項(xiàng)技術(shù)的目的地,它的名稱。因此,我們不要把節(jié)點(diǎn)的名稱與技術(shù)實(shí)際提供的相混淆。”

畫重點(diǎn):不要把節(jié)點(diǎn)的名稱和技術(shù)實(shí)際相混淆

5nm,7nm這些和寶馬5,馬自達(dá)6沒(méi)有什么區(qū)別。

這些只是營(yíng)銷的手段而已。

不是大眾要把這個(gè)名字相混淆。

而是這些芯片制造廠商,搞這些營(yíng)銷詞匯,不就是想混淆工藝制程的節(jié)點(diǎn)和晶體管的實(shí)際尺寸嗎?

雖然摩爾定律這艘大船進(jìn)入淺水區(qū),快擱淺了。

讓我們一起晃動(dòng)這艘大船,假裝摩爾定律啟示的那樣繼續(xù)前進(jìn),

 所以英特爾就有人提出來(lái)了。

不要扯,5nm,7nm了,直接比拼一下單位面積晶體管的數(shù)量好了。

下面就是這個(gè)公式:

 微信截圖_20211115155018.png

英特爾的芯片制造專家Mark Bohr提出來(lái)的, 它認(rèn)為每個(gè)芯片制造商在提及工藝節(jié)點(diǎn)時(shí),都應(yīng)披露其邏輯晶體管密度,單位為MTr/mm2(每平方毫米數(shù)百萬(wàn)個(gè)晶體管)

這個(gè)也就是解釋了,為什么英特爾的10nm和臺(tái)積電的7nm,雖然看起來(lái)是兩代,但是二者的晶體管密度基本一樣。

 但是,這個(gè)公式太復(fù)雜了。

怎么可能有7nm,5nm對(duì)大眾的宣傳效果好。

但是,實(shí)話實(shí)說(shuō),英特爾本身自己在命名方案里面,也沒(méi)有真正遵循柵極長(zhǎng)度(gate  length)的模型。

從下表來(lái)看,隨著工藝的進(jìn)步,玩家越來(lái)越少了。

高端玩家就剩下了臺(tái)積電和三星,還有一直要追趕的英特爾。

明年,三星和臺(tái)積電的3nm都號(hào)稱要量產(chǎn)。

但是這一次,我們應(yīng)該知道,這個(gè)只是一代工藝代號(hào)而已,和3nm本身沒(méi)有太大的關(guān)系了。

從7nm,5nm,到3nm。

摩爾定律不死。

只是,

步履蹣跚,垂垂老矣。



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