1704年 ，牛頓的《光學》一書問世，在本書中牛頓認為，光是沿直線高速傳播的粒子流。而此種觀點恰好同同期的物理學家惠更斯的猜想所不同。

　　1690年 ，惠更斯的《論光》一書正式出版，本書中惠更斯認為光是一種波，并提出了光波動原理，即惠更斯原理。

　　此原理可以闡述為：任何時刻一個點波源的球面波面上的一點都可以作為新的波源，而這些次波源產生的新波前的包絡面就是該時刻點波源的波前。

　　但遺憾的是惠更斯僅僅認為光是一種縱波，并且提出的惠更斯原理中沒有涉及到波長、振幅與相位。

　　因其無法解釋光的偏振與衍射現象而牛頓又享譽盛名，惠更斯的光波動說于當時不被大眾所認同。

　　直至19世紀初，英國物理學家托馬斯？楊在1801年首次完成了著名的楊氏雙縫干涉實驗。

　　楊在實驗中用一束平行光照射開有小孔的光闌，并在其后再放置另一開有兩狹縫的光闌，后來使其成像于雙縫后的光屏上。

　　根據惠更斯原理， 經過小孔與雙縫的光都可被看做點光源，并且經由雙縫的兩束光為可干涉的相干光。

　　后來光屏上出現明暗相間的干涉條紋 。1807年 ，楊發表了《自然科學與機械學講義》，在其中，楊充分地描述了他在光學方面的理論以及實驗成果，包括了雙縫干涉實驗。

　　在光的波動學說經歷了一段受打壓的時期之后，隨著楊氏雙縫實驗發現光的干涉現象，菲涅耳對惠更斯原理進行了補充并在后面得出惠更斯菲涅耳原理，光的波動學說開始進入發展的黃金時期。楊氏雙縫干涉實驗開始被應用于實際，并隨著發展出現了多種光學干涉儀。

　　其中，以邁克爾遜干涉儀、法布里-珀羅干涉儀以及馬赫-曾德干涉儀三者比較出名，應用也比較廣泛。

　　至今，激光干涉儀依舊被廣泛地應用于長度測量、光學元件的檢驗、光波長的測量以及介質折射率的測定等領域， 并隨著研究的深入正不斷地革新與發展。

　　因此，干涉儀是目前光學上一種重要的儀器，了解并探索干涉儀的原理具有十分重要的意義。

　　邁克爾遜干涉儀于1883年由美國物理學家邁克爾遜與莫雷合作制成，應用于邁克爾遜-莫雷試驗中對以太風進行觀測，并證明了以太的不存在。

　　在而后的發展中，邁克爾遜干涉儀的運用愈加廣泛，小到對長度精度的測量，大到對引力波的探索都有所貢獻，而日后的各式干涉儀也多是以邁克爾遜干涉儀為基礎進行改進或是進行原理上的借鑒， 包括雙光束形成干涉光以及補償板的應用。

　　1897年，夏爾？法布里與阿爾弗雷德？珀羅在先前干涉儀的發展中做出了創新，由邁克爾遜干涉儀的雙光束干涉改為了多光束干涉，設計出法布里？珀羅干涉儀。其利用兩塊 涂有高反射涂層具有很小楔角的平板玻璃，讓入射光在兩塊 玻璃中多次反射形成的一系列出射光，進行多光束干涉。

　　而這種設計也使得當入射光的頻率滿足其共振條件時，光譜分辨率會十分清晰，使測量更為精準。

　　馬赫-曾德干涉儀與邁克爾遜干涉儀一樣，都是利用了分振幅法產生雙光束進行干涉，但與邁克爾遜干涉儀不同的是，馬赫_ 曾德干涉儀克服了邁克爾遜干涉儀回波干擾這一缺點，使得馬赫-曾德干涉儀在對太陽系外行星的探測等科研方面比邁克爾遜干涉儀有更為廣泛的應用。