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引入EUV技術的6nm,才是真正的6nm!

2021-04-25
來源: 紫光展銳UNISOC
關鍵詞: 紫光展銳 T770 T760 EUV

  展銳唐古拉品牌下的兩款5G芯片T770T760,均采用6nm EUV工藝,為什么要強調EUV?

  “只有引入EUV技術的6nm才是真正的6nm”,這項技術也將伴隨未來可能的5nm、4nm、3nm、2nm、1nm一路前行。

  自1965年英特爾創始人之一的戈登·摩爾提出摩爾定律以來,半導體領域就一直在遵循著“當價格不變時,集成電路上可容納的元器件的數目,大約每隔18個~24個月便會增加一倍,性能也將提升一倍”的規律前行。技術人員一直在研究開發新的IC制造技術,以縮小線寬、增大芯片的容量。

  EUV光刻機的出現,就是一個重大突破。它實現了高速、低功耗和高集成的芯片生產工藝,滿足了5G高性能、超帶寬、低時延和海量連接的需求。

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  圖片來源:臺積電陳平在紫光展銳2020春季線上發布會演講

  這么厲害的EUV,原理是什么?

  光刻技術基本上是一個投影系統,將光線投射并穿透印有電路的光罩,利用光學原理將圖形打在已涂布感光劑的硅晶片上,進行曝光,當未曝光的部分被蝕刻移除后,圖樣就會顯露出來。

  在光刻技術中,提升分辨率的途徑主要有三個:一是增加光學系統數值孔徑;二是減小曝光光源波長;三是優化系統。EUV相較于DUV,把193nm波長的短波紫外線替換成了13.5nm的“極紫外線”,在光刻精密圖案方面自然更具優勢,能夠減少工藝步驟,提升良率。

  EUV技術的究竟難在哪兒?

  光源產生難:

  193nm紫外線的光子能量為6.4eV(電子伏特,能量單位),EUV的光子能量高達為91~93eV!這種能量的光子用一般的方法是射不出來的,激光器或燈泡都不行,它的生成方法光是聽起來就非常變態,這需要將錫熔化成液態,然后一滴一滴地滴落,在滴落過程中用激光轟擊錫珠,讓其化為等離子態,才能釋放“極紫外光”。這樣的光源用久了就會在里面濺很多錫微粒,必須要定時清潔才行。

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  圖片來源:Cymer: Extreme Ultraviolet(EUV) Lithography Light Sources

  發光過程難:

  EUV不僅能量高,對物質的影響也極其強大,它們可以被幾乎任何原子吸收,所以傳播路徑必須是完全的真空。要想讓EUV聚焦到合適的形狀,只能用這種用6面凹面鏡子組成的系統——EUV/X射線變焦系統(EUV /X-Ray focusing systems)。

  有效功率轉化率低:

  可是就算是鏡子,每一面鏡子都會吸收30%的EUV,整個系統里有4個鏡子用于發光系統,6個鏡子用于聚焦系統。EUV光罩本身也是一個額外的鏡子,形成了11次反射。這個過程中,只有大約2%的EUV來到了晶圓上。因為效率低,所以需要的功率也大輻上漲。ArF光源平均的功率為45W,而EUV的平均光源功率為500w!

  成本太高:

  最先進的EUV光刻機售價高達1億歐元一臺,是DUV光刻機價格2倍多,采購以后還需要多臺747飛機才能運輸整套系統。

  此外,EUV光刻機必須在超潔凈環境中才能運行,一小點灰塵落到光罩上就會帶來嚴重的良品率問題,并對材料技術、流程控制、缺陷檢驗等環節都提出了更高的要求。最關鍵的是,EUV光刻機還極度耗電,它需要消耗電力把整個環境都抽成真空(避免灰塵),通過更高的功率也彌補自身能源轉換效率低下的問題,設備運行后每小時就需要耗費至少150度的電力。

  除此之外,次級電子對光刻膠的曝光、光化學反應釋放氣體、EUV對光罩的侵蝕等種種難題都要一一解決。這就導致很長時間里EUV的產量極低,在之前公開的資料里,EUV的產量只有日均1500片。

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       UV工藝技術的展銳唐古拉T770和T760,真是閃耀著高技術、高質量的光輝~

  

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