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美方在國際空間站進行光刻實驗?想利用Astrileux新EUV涂層捕獲太陽EUV輻射

2020-06-04
來源:與非網
關鍵詞: EUV 光刻技術 Astrileux

與非網 6 月 4 日訊,美國太空計劃創(chuàng)造了歷史,SpaceX DM-2 龍飛船(Crew Dragon)上的 NASA 宇航員羅伯特·本肯(Robert Behnken)和格拉斯·赫利(Douglas Hurley)抵達國際空間站(ISS),這是商業(yè)航天器首次將宇航員運送到國際空間站。

 

國際空間站是企業(yè)、政府和大學的研究實驗室。一段時間以來,國際空間站的宇航員已在該實驗室為各個組織進行了大量創(chuàng)新實驗。2019 年 11 月,諾斯羅普·格魯曼公司的天鵝座(Cygnus)飛船從弗吉尼亞州的瓦羅普斯飛行研究所 (Wallops Flight Facility)發(fā)射升空。

 

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航天器攜帶來自 Astrileux( 一家為制造 7nm 以下集成電路提供光學技術的公司)的有效載荷進入國際空間站。有效載荷是由太空科學發(fā)展中心(CASIS)和納米機架合作進行的此外,該航天器還載有 20 多種其他有效載荷。

 

國際空間站的宇航員利用來自 Astrileux 的有效載荷,在國際空間站的外部平臺上進行了光刻實驗。實驗圍繞 Astrileux 的新 EUV 光學鍍膜技術進行,目的是確定是否有可能使用 Astrileux 的 EUV 涂層捕獲太陽 EUV 輻射。

 

這些材料構成了波長為 13.5nm 的 EUV 光刻工具的光學器件和反射鏡的基礎。實驗證明,能用 Astrileux 的 EUV 涂層捕獲太陽 EUV 輻射。有朝一日,來自 Astrileux 的材料能夠成為一類新型的太空儀器。它還為未來基于 EUV 的空間光刻技術奠定了基礎,該技術使用太陽輻射的能量作為光源。國際空間站最初于 2000 年投入使用,它是一個模塊化的太空實驗室,是美國、俄羅斯、日本、歐洲和加拿大的航空航天機構之間的合作。

 

很難想象一個有大型 EUV 設備的工廠將在國際空間站甚至在月球或火星上建造。但是在將來,在太空中發(fā)展小型晶圓廠或微型晶圓廠是可行的。為此,航天器或太空殖民地將需要 3D 打印機和 fab 工具,以及對晶片進行圖形化(pattern)的光刻技術。這就是需要與 Astrileux、太空科學發(fā)展中心以及納米艙(NanoRacks)合作的地方。太空科學發(fā)展中心是國際空間站的美國國家實驗室(美國政府資助的實驗室)的管理者。

 

為了進行實驗,Astrileux 設計了有效載荷,并合并到納米艙的立方體衛(wèi)星中。立方體衛(wèi)星包括 Astrileux 有效載荷的內部和外部組件。在實驗中,Astrileux 的材料成功地展示了 EUV 的波長范圍(10nm-20nm)。

 

Jaiswal 說:“ Astrileux 創(chuàng)造了可以在極端輻射環(huán)境中生存的新型 EUV 光學涂層,并可以有效捕獲 13.5nm 和其他 EUV 波長的 EUV 輻射。”有朝一日,這些材料也會有新的應用。首先,它可以為能夠捕獲 EUV 輻射的新型空間儀器鋪平道路。

 

Jaiswal 說:“ Astrileux 的新型 EUV 光學器件為空間探索、太陽輻射成像、望遠鏡、星系統(tǒng)和太空系統(tǒng)中使用的光學系統(tǒng)的新設計奠定了基礎。”

 

傳統(tǒng)的 EUV 光學器件可能需要花費 100 天以上的時間來對單個晶片進行圖形化,而 Astrileux 的光學器件最終可以將圖形化時間減少到不到 10 個小時。反過來,這使得在空間中的小型社區(qū)中進行晶圓圖形化和制造成為可行的概念。

 

同時,在地球上,一些鑄造廠已將 EUV 光刻技術投入 7nm 和 5nm 的生產,并進行了 3nm 的研發(fā)。Astrileux 的新型 EUV 涂層也是生產工廠中 EUV 光刻掃描儀的理想選擇。


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