（原標題：荷蘭光刻機抵達深圳廠，中芯國際：常規(guī)設備導入，非EUV）

　　（文/觀察者網(wǎng) 一鳴）3月6日下午，就中芯國際深圳廠區(qū)到貨一臺荷蘭進口大型光刻機一事，該公司今天向觀察者網(wǎng)證實：屬常規(guī)設備導入，并非外界所關心的極紫外光刻機（EUV）。

　　值得一提的是，今天下午2時30分左右，中芯國際港股突然拉升，股價翻紅后一度漲逾3%。

　　據(jù)中芯國際官網(wǎng)介紹，其深圳廠區(qū)位于深圳市坪山區(qū)，一期200mm（8英寸）芯片代工廠可提供從0.35μm到90nm的晶圓制程服務。“深圳廠的成功擴產(chǎn)能夠支持更多200mm產(chǎn)能需求，并滿足日益增長的客戶及市場的需求”。

　　另外，該公司總部位于上海張江高科技園區(qū)，在本地建有一座200mm芯片廠及一座300mm芯片廠，分別提供0.35μm到90nm，45/40nm到28nm的制程技術服務。

　　此前《羊城晚報》報道，3月4日，中芯國際從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進入廠區(qū)。報道指出，這臺機器主要用于企業(yè)復工復產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴容。

　　報道援引中芯國際公司關務經(jīng)理羅榮慧話語稱，生產(chǎn)線擴容后全年預計可為企業(yè)增加10%左右的營收。

　　另外，根據(jù)中芯國際近期發(fā)布的公告，其已經(jīng)花費17億美元分別向泛林團體、應用材料、以及東京電子購買半導體設備。

　　其中，向泛林團體發(fā)出的購買單總金額約6億美元；應用材料購買單的總金額為5.43億美元，東京電子購買單總金額應用材料購買單的總代價為5.43億美元。

　　2018年5月，中芯國際曾向荷蘭阿斯麥爾（ASML）訂購了一臺最新型的EUV光刻機，價值高達1.5億美元，原計劃在2019年初交付。

　　不過，由于美國方面阻擾，這項交易至今仍未完成。

　　（編輯：尹哲）