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從敗走光刻機(jī)到集體造假,什么才是日本半導(dǎo)體的隱疾

2019-08-17
關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 光刻機(jī) DRAM

1984年,一部名為《1984》的廣告片震撼世界,蘋(píng)果公司通過(guò)這部廣告片為第一代Mac造足了勢(shì),個(gè)人電腦從此與人們的生活變得密不可分。在大洋彼岸的另一邊,日本半導(dǎo)體做的如火如荼,承包了藍(lán)色星球上80%的DRAM產(chǎn)量,本土幾乎每家大公司大財(cái)閥都進(jìn)入了半導(dǎo)體業(yè),半導(dǎo)體的騰飛,帶動(dòng)了整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的崛起,光刻機(jī)就是其中之一。

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(蘋(píng)果1984廣告片)

此前光刻機(jī)屬于小眾“玩具”,從事這個(gè)行業(yè)的更是寥寥無(wú)幾,日本的尼康和佳能是最早進(jìn)入這一領(lǐng)域的玩家。這一年,尼康代表著日本光刻機(jī)的最高水平,開(kāi)始了碾壓美國(guó)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手,尼康在硅谷成立尼康精機(jī),猶如一把尖刀刺入美國(guó)高科技行業(yè)的心臟,尼康的美國(guó)對(duì)手PerkinElmer(鉑金埃爾默)受到?jīng)_擊,市場(chǎng)份額從超過(guò)30%跌到不足5%,直到最后完全放棄半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù),另一家競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手GCA的大客戶IBM、AMD、TI和Intel等,排著隊(duì)跑向尼康,從與GCA平分秋色,再到占山為王,成為絕對(duì)的巔峰,尼康只用了不到五年。

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與此同時(shí),遠(yuǎn)在荷蘭的一家名不見(jiàn)經(jīng)傳的的小公司ASML卻身世坎坷。當(dāng)時(shí)的飛利浦經(jīng)濟(jì)很糟糕,想將不賺錢(qián)的業(yè)務(wù)賣出去,光刻業(yè)務(wù)是其中之一,令飛利浦頭疼的是找了一圈也無(wú)人愿意接手這燙手山芋。最后有家荷蘭小公司叫ASM International的老板Arthur Del Prado聽(tīng)說(shuō)有這么回事,主動(dòng)提出與飛利浦五五開(kāi)設(shè)立合資公司,ASML這才算正式有了著落。

草創(chuàng)時(shí)期的ASML有著許多創(chuàng)業(yè)公司都經(jīng)歷過(guò)的辛酸,員工只有31人,工作場(chǎng)所是飛利浦大廈外邊的簡(jiǎn)易房,更為凄慘的是,在成立的第一年只賣出去了一臺(tái)機(jī)器,這種小角色的困苦對(duì)于ASML是往后十幾年的常態(tài)。韋尼克(Peter Wennink)回憶公司初創(chuàng)時(shí)的境況,還忍不住說(shuō)“窮困”,一句話:既沒(méi)錢(qián),又受對(duì)手壓制。

山巔上的日本半導(dǎo)體

推動(dòng)日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈大爆發(fā)的兩大引擎,一個(gè)是DRAM,另一個(gè)是面板業(yè)務(wù)。80年代的日本在DRAM上不僅擁有最先進(jìn)的技術(shù),還擁有最大的市場(chǎng)份額,面板業(yè)務(wù)也是如此。

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日本廠商作為T(mén)FT-LCD產(chǎn)業(yè)的最早進(jìn)入者,在很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)扮演著領(lǐng)導(dǎo)者的角色,1988年,夏普推出全球首臺(tái)14英寸液晶顯示器,伴隨著TFT-LCD的工業(yè)在日本的建立,日本發(fā)展出一大批平板顯示的上下游企業(yè),日本的平板制造供應(yīng)鏈體系要強(qiáng)于其他任何國(guó)家,包括幾乎所有必要設(shè)備和材料的供應(yīng)鏈上的每一個(gè)環(huán)節(jié),都至少有一家企業(yè)參與。

比如:

(1)日本旭硝子和電氣硝子為液晶平板提供玻璃基板;(2)尼康和佳能提供掃描式光刻機(jī)和步進(jìn)式光刻機(jī);(3)NEC-安內(nèi)華制造干法刻蝕設(shè)備;(4)日本電工制造彩色濾光片和偏光片;(5)大日本印刷和日本凸版印刷株式會(huì)社提供先進(jìn)的平板印刷設(shè)備;(6)日本真空技術(shù)株式會(huì)社提供透明導(dǎo)體的ITO導(dǎo)電膜;(7)佳能提供鏡像投影系統(tǒng)等等;

即使在日本企業(yè)不是很強(qiáng)的地方,比如液晶化學(xué)品,化學(xué)氣相沉設(shè)備(CVD)、液晶驅(qū)動(dòng)芯片和高性能玻璃等,外國(guó)企業(yè)也把他們的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)設(shè)在日本或者和日本企業(yè)結(jié)成聯(lián)盟,以管理他們的半導(dǎo)體業(yè)務(wù),日本儼然已經(jīng)成為新工業(yè)的溫床。

關(guān)鍵一役

從80年代起,20世紀(jì)的后20年都是日本半導(dǎo)體的天下,日本的光刻機(jī)牢牢占據(jù)光刻市場(chǎng)的天王山,在各項(xiàng)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)中ASML只能被歸為other,尼康代表了當(dāng)時(shí)最高的光刻技術(shù)。然而,這一最高光刻技術(shù)卻卡在一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)長(zhǎng)達(dá)20年,也是這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)讓尼康與ASML來(lái)了個(gè)大翻轉(zhuǎn)。

光刻機(jī)的分辨率決定了IC的最小線寬,想要提高光刻機(jī)的成像分辨率,通常采用縮短曝光光源波長(zhǎng)和增大投影物鏡數(shù)值孔徑兩種方法。在光源的改進(jìn)方面,光刻機(jī)經(jīng)歷了第一代是436nm g-line;第二代是365nm i-line;第三代是248nm KrF;第四代193nm ArF,但誰(shuí)也沒(méi)想到瓶頸出現(xiàn)了,始終無(wú)法將光刻光源193nm波長(zhǎng)縮短到157nm。

當(dāng)時(shí)為了突破193nm方案,包括英特爾,英飛凌等各方勢(shì)力都在各個(gè)方向?qū)で笸黄?,尼康押注技術(shù)難度更高的157nm F2,英特爾攜一眾美國(guó)企業(yè)押注13.5nm EUV LLC,此時(shí)ASML依然是個(gè)小配角,不過(guò),它通過(guò)一個(gè)特殊的途徑搭上了英特爾陣營(yíng)的列車。

ASML以16億美金收購(gòu)了只有10億市值的硅谷集團(tuán)(SVG),當(dāng)時(shí)的SVG可謂是奄奄一息,年?duì)I業(yè)額只有2.7億美元,光刻制程還不如ASML,市場(chǎng)一片不看好這次收購(gòu)。他們沒(méi)看到的是ASML只是想買(mǎi)一張船票,一張登上英特爾陣營(yíng)的船票,一張足以威脅到尼康的船票,SVG擁有最成熟的157nm光學(xué)技術(shù),并且當(dāng)時(shí)是英特爾的供應(yīng)商,收購(gòu)SVG之后,ASML就可以擁有等同于尼康的技術(shù),順勢(shì)加入英特爾的陣營(yíng)。

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福無(wú)雙至今日至,ASML加入英特爾陣營(yíng)之后,又迎來(lái)一件改變命運(yùn)的喜事,193nm方案被臺(tái)積電的研發(fā)副總林本堅(jiān)以一種相當(dāng)巧妙的方式突破了,林本堅(jiān)找遍了各大企業(yè),卻都無(wú)人看好,包括尼康,尼康始終沉浸在自己的世界。林本堅(jiān)來(lái)到ASML后一拍即合,后來(lái)又與英特爾和臺(tái)積電組成最強(qiáng)陣營(yíng)。尼康也宣布自己的157nm產(chǎn)品以及EPL產(chǎn)品樣機(jī)完成,然而,林本堅(jiān)的方案屬于小改進(jìn)大效果,產(chǎn)品成熟度非常高,所以幾乎沒(méi)有人去訂尼康的新品。尼康被迫隨后也宣布去做浸入式光刻機(jī),但是為時(shí)已晚,ASML已經(jīng)占據(jù)先行優(yōu)勢(shì),又拿下英特爾這家最大的客戶,英特爾在新制程中停止采購(gòu)尼康的光刻機(jī)給了尼康致命一擊。

死于封閉的日本光刻機(jī)

日本一橋大學(xué)創(chuàng)新研究中心的教授中馬宏之曾深入比較研究過(guò)阿斯麥和尼康兩家公司,發(fā)現(xiàn)ASML的一臺(tái)EUV光刻機(jī)有超過(guò)10萬(wàn)個(gè)零件,90%的零部件都依賴外購(gòu),光源來(lái)自于美國(guó)Cymer(2013年,ASML完成對(duì)Cymer的收購(gòu)),光學(xué)模組來(lái)自德國(guó)蔡司,計(jì)量設(shè)備來(lái)自美國(guó)是德科技,傳送帶則來(lái)自荷蘭VDL集團(tuán)……

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ASML則把主要的研發(fā)力量集中在確定客戶需求和系統(tǒng)整合上,其成功的秘訣就是獨(dú)特的開(kāi)放式創(chuàng)新和知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理制度。

當(dāng)年ASML為了能夠順利收購(gòu)SVG,答應(yīng)美國(guó)不收購(gòu)不收購(gòu)SVG打磨鏡片的子公司 Tinsley,以及保證各種技術(shù)和人才留在美國(guó),這一看似強(qiáng)勢(shì)的舉措?yún)s讓ASML成為半個(gè)美國(guó)公司,結(jié)果就是以美國(guó)為首的 EUV LLC陣營(yíng)形成之后,允許ASML加入其中,而將封閉的尼康排除在外。

ASML的另一個(gè)開(kāi)放心態(tài)表現(xiàn)在將供應(yīng)商變成自己的股東,在研發(fā)極紫外光微影量產(chǎn)技術(shù)與設(shè)備時(shí),阿斯麥邀請(qǐng)了Intel、臺(tái)積電和三星等三家客戶參與,三家分別投入41億美元、14億美元和9.75億美元入股??蛻羧牍煽梢员WC最先拿到最新設(shè)備(在芯片行業(yè),時(shí)間比鉆石還貴重),同時(shí)可以賣出股票獲取投資受益,對(duì)阿斯麥來(lái)說(shuō),則搶先占領(lǐng)了市場(chǎng),降低了經(jīng)營(yíng)風(fēng)險(xiǎn)。

反觀尼康,當(dāng)“干式微影技術(shù)”在“浸入式光刻技術(shù)”面前已無(wú)成本和技術(shù)優(yōu)勢(shì)時(shí),尼康依然拒絕了臺(tái)積電的要求,繼續(xù)擁抱“干式微影技術(shù)”。

當(dāng)先進(jìn)國(guó)家的半導(dǎo)體業(yè)開(kāi)始轉(zhuǎn)向水平分工,尼康依然堅(jiān)持從頭到尾自力而為的垂直整合,大量自研部件,事事包攬,最終結(jié)果是尼康的光刻機(jī)性能不穩(wěn)定,每臺(tái)的誤差范圍都不一樣,故障排查時(shí)非要有特定經(jīng)驗(yàn)的人才能憑第六感覺(jué)判斷問(wèn)題,還有一系列小問(wèn)題時(shí)而在不同的尼康機(jī)型上發(fā)生,其中原因和日本企業(yè)所信奉的匠人精神有關(guān)。

盛極而衰,否極泰來(lái)

日本另一家企業(yè)索尼是一家對(duì)技術(shù)執(zhí)著追求的企業(yè),盛田昭夫曾經(jīng)用簡(jiǎn)潔的一段話闡明索尼的理念:“索尼是先驅(qū),絕對(duì)無(wú)意追隨別人,索尼擁有尊敬和鼓勵(lì)個(gè)人能力的原則,總是設(shè)法引導(dǎo)一個(gè)人最好的東西”。

索尼可以說(shuō)是日本匠人精神的極致體現(xiàn)。索尼內(nèi)部人士曾經(jīng)多次表示,索尼不做市場(chǎng)研究,而是把產(chǎn)品做得盡量完美。因?yàn)檫@種匠人精神,索尼發(fā)布了多款驚艷世界的產(chǎn)品,全球第一臺(tái)民用級(jí)影音器材,全世界第一臺(tái)立體聲磁帶隨身聽(tīng)Walkman TPS-L2,世界首部CD播放器CDP-101……

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(TPS-L2)

為了貫徹匠人精神,日本企業(yè)在很長(zhǎng)時(shí)間都實(shí)行“終身雇傭制”,有些人可以在一個(gè)崗位一呆就是20年,每個(gè)工匠對(duì)產(chǎn)品都精益求精。在這種匠人精神的驅(qū)使下,日本制造業(yè)在上世紀(jì)80年實(shí)現(xiàn)了飛躍式發(fā)展,全世界90%的數(shù)碼相機(jī)是日本制造,日本持有全球37%的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,和66%的半導(dǎo)體原材料。

但是極致的匠人精神并不見(jiàn)得完全是好事,甚至有可能創(chuàng)造出許多無(wú)意義的差異化,當(dāng)全世界都在用SD卡的時(shí)候,索尼還在堅(jiān)持使用專有的記憶棒,為了在PC端專注于一個(gè)可以在廣告中突出顯示的獨(dú)特方面,而忽略其余的用戶體驗(yàn),P系列筆記本電腦外觀非常出色,但是功率不足,處理器和電池壽命幾乎無(wú)法使用,這種差異化的技術(shù)使得產(chǎn)品跟不上市場(chǎng)的節(jié)奏,失去市場(chǎng)的還沒(méi)有留下過(guò)好的口碑。

湯之上隆在其《失去的制造業(yè):日本制造業(yè)的敗北》醫(yī)術(shù)中道出了日本制造業(yè)走向衰落的原因:日本過(guò)度依賴匠人精神與手工藝者的技藝,而忽視了產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)化與通用化與實(shí)用性,嚴(yán)重缺乏低成本量產(chǎn)能力;過(guò)于苛求于性能與指標(biāo)的極致,而忽視了市場(chǎng)實(shí)際需求水平,投入不必要的成本,致使市場(chǎng)出現(xiàn)變化的時(shí)候在研發(fā)上不能及時(shí)調(diào)整產(chǎn)品,失去競(jìng)爭(zhēng)活力。

日本的這種重技術(shù),輕市場(chǎng)的風(fēng)格致使生產(chǎn)出來(lái)的產(chǎn)品同市場(chǎng)需求脫節(jié)。為了讓產(chǎn)品提高1%的性能,他們往往會(huì)不惜增加投入30%的成本,可是在市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)環(huán)境下,占據(jù)主導(dǎo)地位的恰恰是市場(chǎng)的需求方而不是供給方。久而久之便導(dǎo)致日本制造的成本急劇提升,進(jìn)而在價(jià)格上失去了國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。亞洲開(kāi)發(fā)銀行近日發(fā)布《2015年亞洲經(jīng)濟(jì)一體化報(bào)告》顯示,日本的高端制造業(yè)所占份額從2000年的25.5%下降至2014年的7.7%,落后于韓國(guó)9.4%。

陷落的半導(dǎo)體王國(guó)

當(dāng)初飛利浦樣樣都做,最后解體了,大型企業(yè)的巨人時(shí)代變得不合時(shí)宜,匠人精神導(dǎo)致日本產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈固化,一個(gè)堡壘失守,整個(gè)王國(guó)淪陷。在日本半導(dǎo)體經(jīng)歷了80年代的衰落之后,日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢(shì)部分也隨之逐漸瓦解,尼康已經(jīng)無(wú)法躋身高端光刻機(jī)行列,日本占據(jù)優(yōu)勢(shì)壟斷地位的有清洗、干燥設(shè)備和勻膠顯影機(jī)三大項(xiàng),但是,在整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中,清洗、干燥設(shè)備和勻膠顯影機(jī)的市場(chǎng)空間并不大,并且這些東西都是技術(shù)革新不頻繁,依靠時(shí)間與經(jīng)驗(yàn)積累的產(chǎn)業(yè),那些技術(shù)迭代快,市場(chǎng)巨大的產(chǎn)業(yè),日本已經(jīng)被踢出局。

深陷財(cái)務(wù)造假丑聞

進(jìn)入新世紀(jì)日本名企財(cái)務(wù)造假的新聞層次不窮。2011年奧林巴斯承認(rèn)長(zhǎng)達(dá)20年財(cái)務(wù)作假,掩蓋約18億美元的損失;東芝財(cái)務(wù)造假長(zhǎng)達(dá)7年,共虛報(bào)了2248億日元(118億人民幣)利潤(rùn);三菱汽車2016年被爆出油耗測(cè)試造假,其62萬(wàn)輛汽車油耗數(shù)據(jù)高于實(shí)際水平,其造假行為甚至可以追溯至1991年;神戶制鋼長(zhǎng)期私自篡改部分鋁、銅鋼制品強(qiáng)度參數(shù),將不符合客戶標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品變成“達(dá)標(biāo)”供應(yīng)市場(chǎng);住友金屬工業(yè)株式會(huì)社的鋼鐵質(zhì)檢不合格差點(diǎn)讓三峽工程功虧一簣,看來(lái)崇尚技術(shù)第一的日本也有不可靠的時(shí)候。


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