美國(guó)最大的MEMS 技術(shù)和平臺(tái)方案獨(dú)立提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的三名（個(gè)）優(yōu)秀學(xué)生（團(tuán)隊(duì)）頒發(fā)了2018年度MEMS專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，以鼓勵(lì)他們?cè)贛EMS工藝技術(shù)研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域所做的貢獻(xiàn)，并激勵(lì)更多未來(lái)之才持續(xù)投身MEMS制造工藝技術(shù)的創(chuàng)新研究。這是IMT為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院頒發(fā)的第四屆MEMS專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，也標(biāo)志著雙方開(kāi)展戰(zhàn)略合作已有四年。本年度最終獲頒獎(jiǎng)學(xué)金的是黃東、李君實(shí)（團(tuán)隊(duì)），朱佳（個(gè)人），李婷宇、徐涵、周文博（團(tuán)隊(duì)）。
IMT公司積極參與中國(guó)半導(dǎo)體生態(tài)發(fā)展，與眾多伙伴開(kāi)展了廣泛而深入的合作。除了為中國(guó)領(lǐng)先的器件設(shè)計(jì)公司代工生產(chǎn)先進(jìn)的MEMS產(chǎn)品，IMT還與諸多研究機(jī)構(gòu)攜手，致力于MEMS制造工藝技術(shù)的研發(fā)。IMT和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的戰(zhàn)略合作始于2015年，作為該合作的一部分，IMT在MEMS研究和開(kāi)發(fā)領(lǐng)域設(shè)立了專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，每年向北京大學(xué)的三名（個(gè)）學(xué)生（團(tuán)隊(duì)）提供獎(jiǎng)學(xué)金。該獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃是首項(xiàng)在中國(guó)專(zhuān)門(mén)針對(duì)MEMS制造工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)而設(shè)立的獎(jiǎng)學(xué)金。
隨著IMT和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的戰(zhàn)略合作持續(xù)深化，越來(lái)越多的學(xué)生開(kāi)始在MEMS工藝技術(shù)研究方面投入精力，并參與到MEMS專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金的角逐中來(lái)。在對(duì)所有申請(qǐng)獎(jiǎng)學(xué)金的候選人進(jìn)行大量評(píng)估和答辯后，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院最終將2018年度獎(jiǎng)學(xué)金授予了黃東、李君實(shí)（團(tuán)隊(duì)），朱佳（個(gè)人），李婷宇、徐涵、周文博（團(tuán)隊(duì)）。這三組IMT獎(jiǎng)學(xué)金獲得者的研究方向分別為用于生物MEMS應(yīng)用的先進(jìn)微針陣列電極制造，用于生物傳感的三維空腔光學(xué)納米天線(xiàn)的制造，用于液體活檢應(yīng)用的聚一氯對(duì)二甲苯（Parylene C）微孔過(guò)濾膜的制造和功能化。他們的研究成果在MEMS工藝技術(shù)方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應(yīng)用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>
MEMS已經(jīng)作為一種整合技術(shù)出現(xiàn)在諸多不同的應(yīng)用中，例如物聯(lián)網(wǎng)、無(wú)人機(jī)、智能手機(jī)、可穿戴電子產(chǎn)品、生物領(lǐng)域和機(jī)器人等應(yīng)用，新型的MEMS器件正在被快速地開(kāi)發(fā)并推出。為了不斷推動(dòng)MEMS技術(shù)的創(chuàng)新，IMT 和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院等領(lǐng)先的研究機(jī)構(gòu)結(jié)為合作伙伴并積極開(kāi)發(fā)先進(jìn)制造工藝技術(shù)，以應(yīng)對(duì)眾多領(lǐng)域快速發(fā)展的需求。
“很高興又一次代表IMT為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的優(yōu)秀學(xué)生頒發(fā)MEMS專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金。雙方合作四年以來(lái)，我們看到學(xué)生們開(kāi)展的研究越來(lái)越深入，創(chuàng)新性也越來(lái)越強(qiáng)。這讓我們對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)的前景抱有極大的信心。”IMT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示。“中國(guó)是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最重要的市場(chǎng)之一，IMT始終對(duì)中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展保持高度關(guān)注，同時(shí)我們也期待利用自己全球領(lǐng)先的 MEMS 器件加工技術(shù)和產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)助力中國(guó)的MEMS技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、國(guó)際合作邁上一個(gè)新的臺(tái)階。”
“通過(guò)與IMT這樣全球領(lǐng)先的MEMS制造服務(wù)公司合作，尤其是借助MEMS 專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃，我們?yōu)榍嗄瓴趴冮_(kāi)啟了一扇大門(mén)，有助于擴(kuò)展他們的視野，并為他們開(kāi)展新一代MEMS技術(shù)的創(chuàng)新研究提供了很好的平臺(tái)。”北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院王瑋教授表示。“多年來(lái)，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院一直致力于MEMS新技術(shù)、新工藝的研發(fā)，以及為行業(yè)培養(yǎng)更多的優(yōu)秀工藝研發(fā)人才。希望通過(guò)我們與IMT甚至更多機(jī)構(gòu)的共同努力，能夠推動(dòng)MEMS技術(shù)在中國(guó)乃至全球快速發(fā)展并實(shí)現(xiàn)在業(yè)內(nèi)的更廣泛應(yīng)用。”
關(guān)于IMT（Innovative Micro Technology）
IMT是全球領(lǐng)先的MEMS技術(shù)和平臺(tái)方案提供商，擁有多樣化的工藝和客戶(hù)。IMT成立于2000年，專(zhuān)門(mén)生產(chǎn)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件。IMT擁有占地130,000平方英尺的生產(chǎn)廠，其中有一間30,000平方英尺、等級(jí)為100的無(wú)塵室/晶圓廠，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圓廠之一。IMT提供MEMS量產(chǎn)，以及從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)過(guò)程的制造服務(wù)。IMT服務(wù)的企業(yè)分布在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域，包括繼電器、醫(yī)療診斷、給藥、生物醫(yī)學(xué)、微流體、顯示屏、慣性導(dǎo)航、光學(xué)通信、印刷、夜視儀、紅外發(fā)射器、電話(huà)/DSL切換、射頻器件、電源管理、各類(lèi)傳感器及相關(guān)領(lǐng)域。IMT將始終與各公司密切合作，共同研發(fā)和制造基于MEMS技術(shù)的新型產(chǎn)品。更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.imtmems.com。
關(guān)于北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院
北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院（IME/Peking University）是中國(guó)頂級(jí)的微電子/納米電子科技研究和教育基地。其特點(diǎn)是擁有一套完整的教學(xué)、培訓(xùn)和研究體系，并配有各種先進(jìn)設(shè)施。該研究院的雄厚實(shí)力反映在其水平優(yōu)異、數(shù)量充足的教職員工隊(duì)伍上： 30 位教授、4 位教授級(jí)高級(jí)工程師、22 位副教授、10 位高級(jí)工程師、10 位講師和工程師。他們中有很多人是公認(rèn)的微電子學(xué)專(zhuān)家，包括舉世聞名的科學(xué)家王陽(yáng)元院士和黃如院士。該院還有三個(gè)配有先進(jìn)研究條件的國(guó)家級(jí)或省部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，研究條件與世界上其他著名大學(xué)不相上下。該院每年招收本科生約 40 人，碩士生和博士生 50 余人。
北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院集成微納系統(tǒng)（MEMS）研究所成立于 1996 年，是微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的重要組成部分。其包含對(duì)硅基微納加工技術(shù)、微納傳感器與執(zhí)行器和微納系統(tǒng)集成技術(shù)的基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究。近五年來(lái)，在頂級(jí)會(huì)議和期刊（如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS和JMM）上發(fā)表了 160 余篇高質(zhì)量研究論文。有關(guān)更多詳細(xì)信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.ime.pku.edu.cn。