近日，全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商泛林集團(tuán)宣布其自維護(hù)設(shè)備創(chuàng)下半導(dǎo)體行業(yè)工藝流程生產(chǎn)率的新標(biāo)桿。通過與領(lǐng)先半導(dǎo)體制造商合作，泛林集團(tuán)成功實(shí)現(xiàn)了刻蝕工藝平臺(tái)全年無間斷運(yùn)行。

　　在當(dāng)今半導(dǎo)體工藝環(huán)境中，平均清洗間隔時(shí)間是限制刻蝕系統(tǒng)生產(chǎn)率提高的主要因素。為了保持穩(wěn)定的性能，通常需要每月、甚至每周清洗刻蝕工藝腔室，并更換被等離子體工藝腐蝕的部件。2019 年 4 月，泛林集團(tuán)與客戶攜手達(dá)成了一項(xiàng)宏偉目標(biāo)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備在無需維護(hù)清洗的情況下連續(xù)運(yùn)行 365 天，創(chuàng)下里程碑式紀(jì)錄。

泛林集團(tuán)自維護(hù)設(shè)備創(chuàng)生產(chǎn)率新紀(jì)錄

　　泛林集團(tuán)刻蝕產(chǎn)品事業(yè)部高級副總裁兼總經(jīng)理 Vahid Vahedi 表示：“這一突破性成就彰顯了泛林集團(tuán)專注客戶合作，幫助客戶解決最具挑戰(zhàn)性的技術(shù)和生產(chǎn)率問題。泛林集團(tuán)致力于提供符合工業(yè) 4.0的技術(shù)，使芯片制造企業(yè)的生產(chǎn)過程更快速、更準(zhǔn)確、更高效。這一新的行業(yè)標(biāo)桿印證了自維護(hù)設(shè)備可以減少人工勞動(dòng)，提高生產(chǎn)效率。”

　　通常，刻蝕工藝模塊需要定期維護(hù)并更換耗件。更換和清洗部件必須打開腔室完成，在關(guān)閉腔室時(shí)需要重新驗(yàn)證腔室環(huán)境，既耗時(shí)又費(fèi)力，不但影響了產(chǎn)量，還需依靠復(fù)雜的調(diào)度安排。利用自維護(hù)解決方案，設(shè)備可自主決策需要更換部件的時(shí)間，且無需打開腔室即可自動(dòng)更換，減少了設(shè)備的停機(jī)時(shí)間，提高了工廠的生產(chǎn)效率。

　　泛林集團(tuán)這一創(chuàng)新解決方案包括Kiyo^?工藝模塊、采用真空傳輸可更換邊緣環(huán)的Corvus^? R系統(tǒng)、擁有使用壽命更長的腔室組件、以及經(jīng)過優(yōu)化的無晶圓自動(dòng)清洗技術(shù)。其中，實(shí)現(xiàn)這一空前生產(chǎn)率的關(guān)鍵在于Corvus R系統(tǒng)，它是業(yè)界首個(gè)可自動(dòng)更換耗件的系統(tǒng)。長期以來，刻蝕工藝一直存在邊緣環(huán)腐蝕的問題，需要頻繁打開腔室更換部件。Corvus R無需打開腔室，即可自動(dòng)更換新的邊緣環(huán)。

　　這一技術(shù)是泛林集團(tuán)Equipment Intelligence? 解決方案的一部分。該解決方案集成了關(guān)鍵元件，并可創(chuàng)建自感知、自維護(hù)和自適應(yīng)的設(shè)備與工藝。此外，Equipment Intelligence解決方案整合了機(jī)器學(xué)習(xí)、人工智能和自動(dòng)化、自感知的硬件與工藝，有望提高生產(chǎn)效率，改善產(chǎn)品性能，加速行業(yè)創(chuàng)新。