據(jù)臺(tái)灣《經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》消息，臺(tái)積電3nm工廠通過(guò)臺(tái)灣環(huán)保署的環(huán)境評(píng)測(cè)環(huán)評(píng)大會(huì)。依據(jù)原定時(shí)程，全球第一座3nm廠有望在2020年動(dòng)工，最快2022年底實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

目前臺(tái)積電的7nm工藝已經(jīng)量產(chǎn)，臺(tái)積電計(jì)劃2019年投產(chǎn)改進(jìn)版本，將首次使用EUV極紫外光刻技術(shù)。此外，5nm工藝 將在2019年第一季度投入風(fēng)險(xiǎn)性試產(chǎn)，量產(chǎn)時(shí)間未定，估計(jì)也就在2019年年內(nèi)。

臺(tái)積電表示，5nm會(huì)在臺(tái)灣南部科技園(STSP)的工廠里投產(chǎn)，但后續(xù)產(chǎn)能擴(kuò)充仍要視環(huán)境評(píng)估而定。

而對(duì)于3nm工藝，但工廠的選址一直懸而未決。

自從2016年臺(tái)積電宣佈將發(fā)展3nm制程后，已經(jīng)投入了數(shù)百名工程師。不過(guò)，對(duì)于3nm工廠的選址問(wèn)題，臺(tái)積電便一直在評(píng)估，甚至將美國(guó)納入考慮。隨后在臺(tái)灣政府承諾解決水電等相關(guān)問(wèn)題后，也考量到對(duì)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)的重要性，臺(tái)積電最后終于宣布將新廠將落腳在臺(tái)灣的南部科學(xué)工業(yè)園區(qū)臺(tái)南園區(qū)。

臺(tái)積電對(duì)3nm量產(chǎn)時(shí)程一直保密，除了防止對(duì)手三星加快投資腳步，也是因?yàn)榄h(huán)評(píng)案未過(guò)關(guān)，避免橫生波折，如今隨著3nm環(huán)評(píng)案通過(guò)，讓臺(tái)積電可以順利興建晶圓18廠第四到六期新廠。