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一文帶你了解半導(dǎo)體硅晶片

2017-01-02
關(guān)鍵詞: 硅片 集成電路 芯片

硅片是生產(chǎn)集成電路的主要原材料。硅片尺寸越大則每片硅片上可以制造的芯片數(shù)量就越多,從而制造成本就越低。硅片尺寸的擴(kuò)大和芯片線寬的減小是集成電路行業(yè)技術(shù)進(jìn)步的兩條主線。目前12寸硅片的出貨量占比超過60%,是目前主流的硅片尺寸。

半導(dǎo)體硅片通常由高純度的多晶硅錠釆用查克洛斯法(CZ Method)為主拉成不同電阻率的硅單晶錠,然而經(jīng)過晶體定向→外圓滾磨→加工主、副參考面→切片→倒角→熱處理→研磨→化學(xué)腐蝕→拋光→清洗→檢測(cè)→包裝等工序。

根據(jù)硅純度的不同要求,可分為太陽(yáng)能等級(jí)99,9999%,6個(gè)“9”純度,以及半導(dǎo)體等級(jí)11個(gè)“9”。本文只涉及半導(dǎo)體用的硅片。

● 硅晶圓

在半導(dǎo)體制造業(yè)中廣泛使用各種不同尺寸與規(guī)格的硅片,通常包括4英寸,5英寸,6英寸,8英寸及12英寸,它們的基本規(guī)格如下表所示。

按IC Insight資料,2015年底全球半導(dǎo)體安裝產(chǎn)能總計(jì)月產(chǎn)1635.3萬片(8英寸計(jì)),按地區(qū)分布,臺(tái)灣地區(qū)依月產(chǎn)354.7萬片,市占率達(dá)21.7%,居全球首位,韓國(guó)依月產(chǎn)335.7萬片,市占率20.5%居第二,日本依月產(chǎn)282.4萬片,市占率17.3%,居第三,北美依月產(chǎn)232萬片,市占率14.2%居第四,中國(guó)依月產(chǎn)159.1萬片,市占率9.7%居第五位,歐洲依月產(chǎn)104.6萬片,市占率6.4%居第六位,其它地區(qū)市占率10.2%。

由于缺乏統(tǒng)一定義,硅片尺寸的過渡的時(shí)間無法達(dá)成共識(shí),其中有一種觀點(diǎn)認(rèn)為累積硅片的出貨量超過100萬片時(shí),表示該硅片尺寸進(jìn)入。實(shí)際上如英特爾等總是領(lǐng)先其它業(yè)者,首先進(jìn)入更大尺寸的硅片。

現(xiàn)將SEMI于2006年的說法,全球硅片尺寸的過渡時(shí)間表列于如下;4英寸硅片于1986年;6英寸于1992年;8英寸于1997年及12英寸于2005年。而如果依英特爾的芯片生產(chǎn)線建設(shè)(見intel’s all fab list),它的3英寸生產(chǎn)線于1972年 FAB2 ;4英寸生產(chǎn)線于1973年FAB4;6英寸生產(chǎn)線于1978年 FAB5;8英寸生產(chǎn)線于1992年 FAB15;以及它的第一條12英寸生產(chǎn)線于2002年FAB12 in Hillsboro,與IBM同步。

業(yè)界較為公認(rèn)的說法,1980年代是4英寸硅片占主流,1990年代是6英寸占主流,2000年代是8英寸占主流,到2002年時(shí)英特爾與IBM首先建12英寸生產(chǎn)線,到2005年己占20%,及2008年占30%,而那時(shí)8英寸己下降至54%及6英寸下降主11%。

多晶硅的原材料,高純度的石英,目前已知的全世界的儲(chǔ)量,中國(guó)最多,品質(zhì)最好,但是我國(guó)之前卻是將石英礦沙在高溫下還原成金屬硅后低價(jià)外銷,再高價(jià)進(jìn)口多晶硅,并且石英還原成金屬硅的階段是高度污染的。好在近些年光伏產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)了國(guó)內(nèi)多晶硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,目前太陽(yáng)能等級(jí)的多晶硅,我國(guó)的產(chǎn)量已經(jīng)是全球第一。

截止2014年,全球300mm硅片實(shí)際出片量已占各種硅片出片量的65%左右,平均約450萬片/月。2015年第1~第2季度每月平均需求量約500萬片。

現(xiàn)在300mm半導(dǎo)體級(jí)的硅片,國(guó)內(nèi)一個(gè)月需求量約45-50萬片,而目前國(guó)內(nèi)的產(chǎn)量幾乎為零,這是產(chǎn)業(yè)鏈上最為緊缺的一環(huán),預(yù)計(jì)未來的5年內(nèi)僅300mm硅片中國(guó)的需求量要超過月產(chǎn)100萬片以上。而從硅片的市場(chǎng)供應(yīng),全球日本生產(chǎn)的最多,日本信越和SUMCO,這兩家的產(chǎn)能和實(shí)際供應(yīng)量總和占全球2/3以上。300mm半導(dǎo)體級(jí)的大硅片,不僅是產(chǎn)業(yè)鏈缺失的重要一環(huán),也是國(guó)家安全戰(zhàn)略發(fā)展的需要。

國(guó)家在2012--2013年時(shí)科技部的02專項(xiàng)中,已有大硅片方面項(xiàng)目的經(jīng)費(fèi)準(zhǔn)備,但遲遲不能立項(xiàng),原因就是雖然有國(guó)內(nèi)研發(fā)機(jī)構(gòu)曾經(jīng)做過12寸大硅片,研發(fā)成功,但由于良率不高還不能量產(chǎn)。2014年,科技部02專項(xiàng)的領(lǐng)導(dǎo)下定決心要攻克12英寸硅片難關(guān)。要求是不僅研發(fā)成功,更要量產(chǎn)成功。量產(chǎn)的概念不是幾千片,是每個(gè)月10萬片以上交付客戶,連續(xù)6個(gè)月交付客戶10萬片以上,才算完成項(xiàng)目。

全球硅晶圓片于2015年的供應(yīng)商排名,日本信越半導(dǎo)體第一位,占比27%,日本勝高科技(SUMCO)占比26%居第二,環(huán)球晶圓占比7%,Siltronic占比13%,LG占比9%,SunEdison占比10%,及其它8%。

由國(guó)家立項(xiàng)的12英寸硅片項(xiàng)目己經(jīng)啟動(dòng),叫上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司,成立于2014年6月,坐落于臨港重裝備區(qū)內(nèi),占地150畝,總投資68億元,一期總投資23億元。新昇半導(dǎo)體第一期目標(biāo)致力于在我國(guó)研究、開發(fā)適用于40-28nm節(jié)點(diǎn)的300mm硅單晶生長(zhǎng)、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測(cè)等硅片產(chǎn)業(yè)化成套量產(chǎn)工藝;建設(shè)300毫米半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)基地,實(shí)現(xiàn)300毫米半導(dǎo)體硅片的國(guó)產(chǎn)化,充分滿足我國(guó)極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)硅襯底基礎(chǔ)材料的迫切要求。新昇半導(dǎo)體一期投入后,預(yù)計(jì)月產(chǎn)能為15萬片12英寸和5萬片8英寸硅片,最終將形成300mm硅片60萬片/月的產(chǎn)能,年產(chǎn)值達(dá)到60億元。新昇將與世界一流技術(shù)接軌,達(dá)到世界先進(jìn)水平。

全球硅片出貨量與銷售額;2007時(shí)為8,661MSI,銷售額達(dá)121億美元,到2010年時(shí)為9,04MSI,銷售額為97億美元,以及2015年的10,43MSI,銷售額為72億美元,反映全球的硅片出貨量增長(zhǎng)緩慢,而它的銷售額逐年在下降。

● 450毫米硅片

為了加速發(fā)展450mm(18英寸)晶圓,全球五大半導(dǎo)體業(yè)者IBM、英特爾、三星電子、臺(tái)積電和GlobalFoundries在2011年共同成立全球450mm聯(lián)盟,簡(jiǎn)稱G450,并于美國(guó)紐約州Albany設(shè)立450mm晶圓技術(shù)研發(fā)中心。

450mm聯(lián)盟成立后,18寸晶圓世代的技術(shù)和機(jī)臺(tái)設(shè)備有不少方針已開始確立,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁入18寸晶圓世代的重要里程碑,目的是推動(dòng) 450 mm 硅片技術(shù)的發(fā)展。

實(shí)際上在2012年期間,除了G450C 聯(lián)盟之外、全球尚有EEMI450 聯(lián)盟 ( 歐洲 ) 和 Metro450 聯(lián)盟( 以色列) ,共計(jì)三個(gè)聯(lián)盟來推動(dòng)450毫米硅片的進(jìn)展,目標(biāo)是可互用研究結(jié)果,減少重復(fù)性的實(shí)驗(yàn)。

除此之外,半導(dǎo)體制造技術(shù)戰(zhàn)略聯(lián)盟 (SEMATECH) 和國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié) 會(huì) (SEMI) 等也在推動(dòng)全球產(chǎn)業(yè)鏈的合作研發(fā),因?yàn)楣杵睆降脑龃髮縿?dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈很大的改變。

然而,450毫米硅片的進(jìn)程自開始就有不同的看法,其中最為關(guān)鍵是半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,包括如應(yīng)用材料公司等缺乏積極性,理由是450毫米設(shè)備不是簡(jiǎn)單地把腔體的直徑放大,而是要從根本上對(duì)于設(shè)備進(jìn)行重新設(shè)計(jì),因此面臨著經(jīng)費(fèi)與人力等問題,更多的擔(dān)心是未來的市場(chǎng),能否有足夠的投資回報(bào)率。所以關(guān)于450毫米硅片的聲浪是時(shí)起彼伏,盡管英特爾,三星及臺(tái)積電等大廠信心滿滿,實(shí)際上是雷聲大雨點(diǎn)小。

自2014 年開始G450C 聯(lián)盟出現(xiàn)暫緩研發(fā) 450 mm 硅片的跡象;。盡管如TSMC等曾 宣布 將于2018 -2019年期間會(huì)采用450毫米硅片。然而依目前半導(dǎo)體業(yè)的態(tài)勢(shì)觀察,現(xiàn)在還很難取得實(shí)質(zhì)性的進(jìn)展。

采用450毫米硅片,如同前幾次硅片增大直徑一樣,關(guān)鍵在于從經(jīng)濟(jì)上要有它的利益點(diǎn),包括芯片制造商及設(shè)備供應(yīng)商在內(nèi),另一個(gè)是產(chǎn)業(yè)發(fā)展需要擴(kuò)大產(chǎn)能的迫切性,所以等待未來市場(chǎng)的再次高潮到來。

不管如何,450毫米硅片對(duì)于全球半導(dǎo)體業(yè)仍是一個(gè)懸而未決的課題。



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