晶硅太陽能電池（cSi）是目前市場上最成熟、并得到廣泛應用的太陽能光伏電池，在整個產業占有90%的市場份額。日前，世界知名高科技設備制造商 Manz集團為滿足不斷增長的市場需求推出了業界領先的cSi生產解決方案， 在PERC太陽能電池的生產在線得以量產出（背面鈍化太陽能電池）平均效率高達20.6%的PERC電池。Manz此次展出兩款生產PERC電池的關鍵設 備參加SNEC第九屆（2015）國際太陽能產業及光伏工程（上海）展覽會（SNEC PV Power Expo 2015），包括用于太陽能電池正面和背面鈍化的VCS 1200垂直真空鍍膜系統，以及LAS 2400 激光開孔技術。該展會于4月28日至30日在上海新國際博覽中心舉行，是中國最具影響力的光伏（PV）太陽能產業展覽會之一。Manz公司展位為E3廳535號展位。
Manz擁有關鍵的設備和工藝技術幫助客戶將其標準電池生產線轉換成高效率PERC電池生產 線，提高盈利并降低生產成本。Manz新一代生產工藝采用VCS 1200垂直真空鍍膜系統在電池背面沉積電介質鈍化層，結合LAS 2400激光開孔技術，可幫助電池生產企業實現高效晶硅太陽能電池的大批量生產并節省更多總擁有成本。同時，由于采用了易于維護的全自動化工具，Manz 解決方案占用空間更小。VCS 1200和LAS 2400均適用于單晶硅和多晶硅太陽能電池生產。
Manz VCS 1200系統在提升轉換效率的同時也提高了生產率，樹立了電池生產工藝新標桿。它采用獨特的垂直加工技術，產量高達每小時1,200個硅片。這種垂直式構 造結合全新的載具系統，可避免出現未鍍區。簡而言之，該鍍膜工藝不會在硅片上留下任何針印或缺陷，是許多同類廠商系統所不具備的獨特優勢。此外，由于配備 了高效能電漿源，Manz高性能PECVD工藝技術保障了最佳的加工再現性，以及業界最高水平的電池效率和均勻性。同時，該系統采用的“快速更換清洗”理 念使電池制造企業得以在系統外部清洗工藝區和載具，實現了停機時間最小化。
在激光技術領域，Manz作為領先的激光加工系統提供商，結合自身強大的技術實力為客戶提供關 于激光工藝、光學、視覺和自動化方面的解決方案。公司最具代表性的激光加工設備為LAS 2400激光開孔系統，已被多家知名太陽能電池制造商選用幫助他們成功實現高效PERC電池的量產。LAS 2400系統采用獨特的平頂式光斑設計，可實現30至80 μm的光斑尺寸和不同的光斑形狀，與高斯光束剖面相比可以更加靈活適應不同的工作平面位置，為客 戶提供了一個開孔均勻、高度穩定的工藝窗口。該系統采用模塊化、小尺寸設計，非常適宜現有生產線的升級，每小時可處理2,400個硅片。此外，基于掃描頭 的靈活性允許客戶自行設定開孔形狀。結合VCS 1200系統，Manz LAS 2400系統可用于背面鈍化層的局部電極開孔，是一款操作簡單、高精度、高產出的解決方案。Manz激光開孔技術為一站式工藝，不僅在這一電池生產流程保 證了最低擁有成本，還實現了硅片的安全處理，將破片率降至業界最低。未來Manz將繼續憑借自身的技術實力和專業知識來推動PERC PECVD和激光開孔等技術的完善和升級。
利用業界領先的自動化系統，Manz幫助客戶顯著提高企業生產力和生產線產量。Manz知名的 SpeedPicker 2.1優化版系統目前是全球速度最快的自動化設備，在裝載和卸載過程中可實現100%的檢驗率，每小時可處理3,400個電池芯片，并且擁有進一步提升處 理能力的額外潛能。由于體積小巧，該系統可在有限空間內實現現有生產線的升級，是客戶理想的投資選擇。SpeedPicker使用特殊的視覺系統來進行校 準對齊，因而大大降低了在生產流程中因機械校準操作而產生應力造成硅片破損。Manz升級版SpeedPicker包含位置驗證和硅片校準等核心技術，可 以識別邊緣和棱角，有助于清理已損壞的硅片。
作為配套技術，Manz還提供了業界領先的濕化學加工工具IPSG CEI 4800，以去除硅片背面及邊緣的重摻雜層，從而形成化學除邊（CEI）。此外，IPSG CEI 4800還可去除在之前擴散過程中殘留在硅片正面的磷硅玻璃（PSG）層。由于應用了柔軟的海綿輥的概念并將基板機械應力降至最低，IPSG CEI 4800可保障最低破片率。
Manz集團首席執行官Dieter Manz表示：“經過多年的發展，Manz與世界各地的知名太陽能企業都建立了良好的技術合作關系。Manz近期獲得的PERC生產解決方案訂單總額已超 過4000萬人民幣。包括晶澳太陽能（JA Solar）、聯景光電（Topcell）、新日光能源科技（NSP）、以及旭泓全球光電（中美硅晶宜蘭分公司）在內的多家知名太陽能廠商都選用了我們的PERC生產解決方案來提高他們的生產率和產出質量。在中國市場，Manz贏得了全球知名電池制造企業的高度認可。作為唯一一家在工藝流程、激光和鈍化領域具備雄厚專業技術實力，能夠提供可靠自動化系統的設備提供商，我們可為客戶提供技術領先的高效率PERC量產工具，幫助并支持太陽能廠商擴展產能。”
在光伏產業，Manz專注于晶硅太陽能電池和薄膜太陽能組件的生產工藝及解決方案。在晶硅太陽能領域，Manz致力于提供有關金屬化、激光加工、濕化學和真空鍍膜的工藝和設備、自動化解決方案、以及測試和檢驗技術。
Manz 集團 ——激情成就高效能 （passion for efficiency）
Manz 集團總公司位于德國羅伊特林根市，是一家全球領先的高科技設備制造商。公司于1987年成立，在自動化、量測、激光加工、真空鍍膜、濕化學、印刷和鍍膜、 以及卷對卷工藝等七大技術領域擁有雄厚的技術實力。Manz致力于在太陽能、電子組件、電子器件和儲能等戰略業務領域應用及持續開發上述技術。Manz 集團于2006 年在德國公開上市，由創立者Dieter Manz 先生擔任首席執行官。Manz 集團目前在德國、中國大陸、臺灣、斯洛伐克、匈牙利及意大利皆設有自己的生產基地，而Manz 集團的業務銷售及服務網絡遍布全球，包括美國、韓國和印度。至2015年年初，Manz 集團在全球擁有約1,900名員工，其中在亞洲約有900 名。在該公司宣言“激情成就高效能”的推動下，Manz 承諾未來會為各種重點產業的客戶，提供更高效能的生產系統解決方案。作為世界領先的設備制造商，Manz為其全球眾多客戶降低終端產品的生產成本做出了巨 大貢獻。