內容簡介：趙延輝先生表示，以ADI為代表的MEMS加速度傳感器廠商經過多年的技術探索，目前已推動MEMS加速度傳感器達到了一個全新的水平。他表示，相對于壓電式加速度傳感器，MEMS加速度傳感器在低頻響應、體積、價格、功耗、功能方面均表現(xiàn)出優(yōu)勢。隨著低噪聲水平的不斷提升，MEMS在許多應用領域已完全具備替代壓電式加速度傳感器的能力。當然，在高頻領域，壓電式加速度傳感器仍具備不可替代的優(yōu)勢。此外，壓電式傳感器無源的特點也使振動及噪聲測試分析領域相應配套板卡、設備形成了相應標準及規(guī)范，這也成為阻礙MEMS加速度傳感器大范圍應用的客觀因素。