《電子技術(shù)應(yīng)用》
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基于FPGA和DDS的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電源設(shè)計(jì)
來源:電子技術(shù)應(yīng)用2010年第12期
余 凌,李 威,楊雪鋒,葉 果
中國礦業(yè)大學(xué) 機(jī)電工程學(xué)院,江蘇 徐州221008
摘要: 針對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺(tái)開發(fā)了一種快響應(yīng)動(dòng)態(tài)電源。以FPGA內(nèi)建DDS作為驅(qū)動(dòng)電源控制器及信號(hào)發(fā)生器,基于集成高壓運(yùn)放設(shè)計(jì)了帶補(bǔ)償校正網(wǎng)絡(luò)的橋式功率放大器,并進(jìn)行了理論分析、仿真與實(shí)驗(yàn)研究。測(cè)試結(jié)果表明,該設(shè)計(jì)滿足了精密定位系統(tǒng)穩(wěn)定性、快速性及高精密的驅(qū)動(dòng)要求。
中圖分類號(hào): TN721
文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼: A
文章編號(hào): 0258-7998(2010)12-0065-04
Driving power design for piezoelectric ceramic actuator based on FPGA and DDS
YU Ling,LI Wei,YANG Xue Feng,YE Guo
College of Mechanical & Electrical Engineering,China University of Mining & Technology,Xuzhou 221008,China
Abstract: A fast-response dynamic power was designed to drive the piezo-driven micromotion stage.Constructing DDS based on FPGA as the controller and signal generator,a bridge-type power amplifier with compensation & calibration network was designed based on integrated high-voltage op amp. By compensating and calibrating,stability margin is improved to meet the driving requirement of stability,rapidity and high precision.
Key words : FPGA;DDS;piezoelectric ceramic;bridge-type driving power;compensation and calibration

    隨著精密工程和微細(xì)工程的迅速發(fā)展,亞微米和納米級(jí)定位技術(shù)已成為微機(jī)電系統(tǒng)、微電子和生物工程等前沿領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)[1]。精密定位系統(tǒng)主要包括機(jī)械部件和驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)兩部分。壓電陶瓷以其納米級(jí)位移精度、體積小、高頻響、承載力大、無噪聲等特點(diǎn),成為微定位系統(tǒng)中的理想驅(qū)動(dòng)器,并獲得了廣泛應(yīng)用。而從某種意義上講,選定壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器后,運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的分辨率及運(yùn)動(dòng)精度則取決于壓電驅(qū)動(dòng)電源的性能[2]。在要求精密定位和系統(tǒng)的快速動(dòng)態(tài)響應(yīng)的應(yīng)用場(chǎng)合,驅(qū)動(dòng)電源需要利用各種動(dòng)態(tài)波形作為輸入信號(hào)。一般可采用信號(hào)發(fā)生器作為信號(hào)源,或者利用PC機(jī)存儲(chǔ)波形,通過串口或并口下載到下位機(jī)從而產(chǎn)生波形,但因體積、成本及接口傳輸速度的局限使應(yīng)用受到限制[3]。近年發(fā)展起來的直接數(shù)字頻率合成技術(shù)(DDS)以其頻率分辨率高、響應(yīng)快、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),成為改進(jìn)傳統(tǒng)壓電驅(qū)動(dòng)電源的優(yōu)先選項(xiàng)[4]。本文以宏微雙重并聯(lián)結(jié)構(gòu)的精密定位為研究背景,在對(duì)行業(yè)背景、應(yīng)用領(lǐng)域及國內(nèi)外研究現(xiàn)狀充分調(diào)研的基礎(chǔ)上,針對(duì)微動(dòng)平臺(tái)開發(fā)了一種能滿足壓電驅(qū)動(dòng)器快速響應(yīng)的動(dòng)態(tài)電源。
1 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的總體設(shè)計(jì)
    壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器可等效為一個(gè)容性負(fù)載,其驅(qū)動(dòng)電源可分為電壓控制型和電荷控制型。電壓控制型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器存在動(dòng)態(tài)性能差的問題;電荷控制型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器則存在在靜態(tài)下易充電飽和、難以獲得穩(wěn)定輸出的問題[5]。電荷型驅(qū)動(dòng)電源設(shè)計(jì)較為復(fù)雜,充電電流及充電時(shí)間較難掌控且壓電驅(qū)動(dòng)器存在漏電流現(xiàn)象,因此基于電壓控制的驅(qū)動(dòng)電源得到了廣泛的應(yīng)用。借助非線性補(bǔ)償和校正等措施,使得電壓控制型驅(qū)動(dòng)電源能夠滿足系統(tǒng)定位精確性和快速性的要求。
    普通壓電驅(qū)動(dòng)電源的動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間均比壓電執(zhí)行器的響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng),從而制約了壓電執(zhí)行器在實(shí)時(shí)、復(fù)雜控制情況下的應(yīng)用[6]。新型運(yùn)算放大器的發(fā)展及動(dòng)態(tài)性能的提高,要求輸入信號(hào)能夠提供足夠的頻率和帶寬。DDS作為第三代頻率合成技術(shù),具有帶寬相對(duì)較寬、頻率轉(zhuǎn)換時(shí)間極短、頻率分辨率很高等優(yōu)點(diǎn),以全數(shù)字方式實(shí)現(xiàn)頻率合成,在信號(hào)發(fā)生領(lǐng)域漸已成為主流[7]。
    此外,因傳統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方法電路繁多,為了更好地滿足DDS技術(shù)的應(yīng)用需要(如調(diào)頻、調(diào)幅等),本設(shè)計(jì)采用FPGA實(shí)現(xiàn)DDS,通過數(shù)字方法可直接實(shí)現(xiàn)壓電驅(qū)動(dòng)器的輸入波形[8]。在此基礎(chǔ)上,結(jié)合Apex Microtechnology公司的線性高壓運(yùn)算放大器PA78構(gòu)建橋式功率放大電路,采用補(bǔ)償和校正使電源的動(dòng)態(tài)性能和穩(wěn)態(tài)性能滿足系統(tǒng)要求。驅(qū)動(dòng)電源系統(tǒng)組成如圖1所示。

2 DDS在FPGA內(nèi)部的實(shí)現(xiàn)
    DDS工作的基本原理是將2?仔弧度做N位量化,以系統(tǒng)時(shí)鐘為參考頻率對(duì)信號(hào)相位進(jìn)行采樣。N位頻率控制字在每個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)與相位累加器中的相位進(jìn)行一次累加,將累加結(jié)果的高位段作為地址去尋址相位查找表,將相位信息轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的數(shù)字量化幅度字。查找表輸出的量化波形序列經(jīng)過數(shù)/模轉(zhuǎn)換器(DAC)變?yōu)殡A梯模擬信號(hào),最后通過模擬低通濾波器平滑后得到一個(gè)頻譜很純的動(dòng)態(tài)波形,作為高壓功率放大器的輸入信號(hào)。
    FPGA以Actel公司的Fusion M1AFS600為核心,內(nèi)嵌Cortex-M1軟核構(gòu)建可編程片上系統(tǒng)(SoPC)。在FPGA內(nèi)部實(shí)現(xiàn)的DDS采用32 bit頻率控制字,為了實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)波形,DDS查找表采用FPGA內(nèi)部RAM的形式。通過改變SoPC中RAM里面的數(shù)據(jù),即可實(shí)現(xiàn)各種動(dòng)態(tài)波形。每個(gè)查找表的大小為2 048×10 bit,M1AFS600提供多達(dá)256×32 Kbit的SRAM和16×32 Mbit的Flash,完全滿足數(shù)十千字節(jié)波形數(shù)據(jù)庫的儲(chǔ)存和動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)的更新。
    動(dòng)態(tài)信號(hào)的可調(diào)頻率是通過相位累加器與相位寄存器的累加完成的。軟件設(shè)計(jì)采用Actel公司推出的集成開發(fā)環(huán)境Libero 8.5,從設(shè)計(jì)定義到下載測(cè)試的整個(gè)階段都通過流程圖的方式進(jìn)行。采用VerilogHDL語言進(jìn)行模塊開發(fā)。以下給出的是一個(gè)累加器的VerilogHDL參考程序:
    module acc(iclk,ik,osum);//模塊聲明,參數(shù)指定
    input    clk;    //輸入時(shí)鐘
    input[31:0] ik;//聲明32 bit的頻率控制字
    output    reg [31:0]osum;    //聲明osum為寄存器型變
//量,32 bit
    always@(posedge iclk)//總是在iclk的上升沿觸發(fā)
    osum=ik+osum;//定義累加操作
    endmodule;
3 DDS輸出信號(hào)濾波
    由于在波形產(chǎn)生的過程中,存在相位截?cái)嗾`差和幅值量化誤差以及D/A轉(zhuǎn)換器的各種非線性誤差,DDS數(shù)字部分不可避免地存在雜散成分。另外,受到時(shí)鐘泄漏和時(shí)鐘相位噪聲的影響,動(dòng)態(tài)波形中會(huì)含有諧波分量。因此,需要設(shè)計(jì)低通濾波器濾除DDS輸出信號(hào)中的雜散成分和高頻雜波。
    以插入衰減理論為基礎(chǔ)的濾波器設(shè)計(jì)方法采用有理函數(shù)對(duì)理想衰減特性進(jìn)行逼近,常見的有Butterworth濾波器、Bessel濾波器和橢圓濾波器。但通常階數(shù)過高,在濾波器前、后級(jí)阻抗匹配及特性的設(shè)定問題上沒有選擇的自由度[9]。本文設(shè)計(jì)了基于集成運(yùn)放的三階壓控有源低通濾波器,濾波器包含3個(gè)低階RC濾波網(wǎng)絡(luò)。其輸入阻抗高、輸出阻抗低,且輸入/輸出具有良好的隔離,三階壓控有源低通濾波器電路如圖2所示。

    利用EDA軟件Multisim 7對(duì)電路進(jìn)行仿真研究。從濾波器頻率特性上-3 dB帶寬可以看出,40 kHz以上的雜波能夠被有效濾除。
4 功率放大電路設(shè)計(jì)
    功率放大電路在整個(gè)電源系統(tǒng)中決定著電源輸出電壓的分辨率和穩(wěn)定性。壓電陶瓷采用中國電子科技集團(tuán)第二十六所的WTYD0808065型壓電驅(qū)動(dòng)器,最大驅(qū)動(dòng)電壓為200 V。PA78是Apex Microtechnology公司生產(chǎn)的一種高電壓、大帶寬的MOSFET線性運(yùn)算放大器,輸出電流可達(dá)200 mA,壓擺率高達(dá)350 V/μs,帶寬達(dá)200 kHz,單端供電時(shí)輸出電壓最高可達(dá)300 V,滿足了壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)要求[10]。
4.1 橋式高壓放大電路
    壓電驅(qū)動(dòng)器負(fù)載呈容性,可導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)相位滯后甚至產(chǎn)生振蕩。針對(duì)此特性基于PA78設(shè)計(jì)了帶補(bǔ)償和校正的橋式放大電路,電路結(jié)構(gòu)和參數(shù)的對(duì)稱性可以有效提高電源的驅(qū)動(dòng)能力,降低輸出非線性的影響并降低二次諧波的失真。圖3所示為單邊復(fù)合放大電路原理圖,由輸入失調(diào)電壓低的前置放大級(jí)、后置功率放大級(jí)及補(bǔ)償校正網(wǎng)絡(luò)組成。

    控制信號(hào)范圍為0~5 V,PZT承受最大電壓為200 Vp-p,放大電路增益為40 dB。橋式電路結(jié)構(gòu)對(duì)稱,單邊復(fù)合放大器的最大輸出為100 Vp-p,增益為20 dB。
    放大電路供電電源采用自行設(shè)計(jì)的基于電壓串聯(lián)的電源模塊。將工頻220 V電壓經(jīng)多抽頭變壓器輸出,再經(jīng)整流、濾波、穩(wěn)壓得到5路24 V的穩(wěn)定直流,串聯(lián)后給PA78正極供電。通過三端穩(wěn)壓器LM7915穩(wěn)壓后輸出直流電壓為-15 V,用來給PA78負(fù)極供電。利用快恢復(fù)二極管D1、D4,瞬態(tài)抑制器Z1、Z2可防止電壓過高損壞運(yùn)算放大器。采用單點(diǎn)接地[11],可以提高電源的穩(wěn)定性。
4.2 驅(qū)動(dòng)電源的補(bǔ)償與校正
    壓電驅(qū)動(dòng)器的容性負(fù)載特性會(huì)導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)相位滯后,當(dāng)電路增益一定,電路帶空載或小負(fù)載時(shí)表現(xiàn)相對(duì)穩(wěn)定。但是當(dāng)驅(qū)動(dòng)大容性負(fù)載時(shí)由于相移過大極易產(chǎn)生高端提升,甚至產(chǎn)生振蕩,并且受噪聲的影響特別嚴(yán)重[12]。為此,引入了補(bǔ)償校正網(wǎng)絡(luò)對(duì)驅(qū)動(dòng)電源的頻率特性進(jìn)行修正,方法是在反饋電阻兩端接入補(bǔ)償電容。圖3中反饋零點(diǎn)補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò)①、②和噪聲增益補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò)③共同組成對(duì)電源系統(tǒng)的串聯(lián)滯后-超前校正。超前環(huán)節(jié)具有正相移作用,增大了系統(tǒng)的幅值裕量和相角裕量,而滯后校正環(huán)節(jié)則利用幅值衰減特性來提高系統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)性能。兩者結(jié)合使電源系統(tǒng)在確保穩(wěn)定性的基礎(chǔ)上充分提高了有效頻響及負(fù)載能力。
    選用無極CBO電容模擬壓電陶瓷作為負(fù)載以驗(yàn)證電源的容性負(fù)載驅(qū)動(dòng)能力。WTYD0808065型壓電陶瓷的等效電容為6.07 μF,實(shí)驗(yàn)中選用6.8 μF的測(cè)試電容來替代,采用電路分析軟件Tina進(jìn)行頻率特性分析。從校正特性曲線可看出:加入了補(bǔ)償校正網(wǎng)絡(luò)后,幅值裕量從8.2 dB提高到28 dB,相位裕量從45°提高到72°,系統(tǒng)穩(wěn)定性得到了提高。
5 驅(qū)動(dòng)電源輸出及性能分析
    利用CA1022雙蹤數(shù)字示波器和FLUKE 8060A數(shù)字萬用表對(duì)高壓電源的輸出特性進(jìn)行測(cè)試,分別測(cè)試其在空載和帶負(fù)載情況下的線性度和跟蹤性能,仍采用6.8 μF的測(cè)試電容。利用研華PCI1716型16位分辨率數(shù)據(jù)采集卡和相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)軟件完成數(shù)據(jù)采集。對(duì)采集數(shù)據(jù)利用MATLAB進(jìn)行了擬合,非線性誤差最大為0.021%,發(fā)生在172 V處,輸入與輸出之間具有良好的線性度。
    跟蹤實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,空載時(shí)有效帶寬可達(dá)15 kHz,帶負(fù)載時(shí)只有約7 kHz;輸入信號(hào)最大值為5 V時(shí),因供電電源具有一定的裕量,功率放大器輸出200 V無衰減;帶負(fù)載輸出紋波<20 mV。圖4所示為電源階躍響應(yīng)曲線,校正后上升時(shí)間<0.8 ms,相比于校正前(>2 ms)電源具有更快的響應(yīng)速度,因此具有了更好的動(dòng)態(tài)性能。
    本文創(chuàng)新點(diǎn)是將DDS技術(shù)、FPGA與壓電高壓驅(qū)動(dòng)電源三者結(jié)合起來,以宏微雙重并聯(lián)結(jié)構(gòu)精密定位為研究背景,針對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺(tái)開發(fā)了一種具有補(bǔ)償校正功能的快響應(yīng)動(dòng)態(tài)電源。FPGA和集成高壓運(yùn)放的使用極大地提高了電源系統(tǒng)的集成度,對(duì)構(gòu)建全數(shù)字壓電驅(qū)動(dòng)高壓電源具有一定的指導(dǎo)意義。通過理論設(shè)計(jì)、仿真及實(shí)驗(yàn)分析,得出驅(qū)動(dòng)電源驅(qū)動(dòng)6.8 &mu;F的容性負(fù)載時(shí),具有<0.8 ms的階躍響應(yīng)上升時(shí)間,帶負(fù)載有效帶寬可達(dá)7 kHz,滿量程輸出無衰減,輸出紋波<20 mV。通過補(bǔ)償校正提高了電源系統(tǒng)的穩(wěn)定裕量,滿足了微動(dòng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)要求。


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