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編者語：最近，日立" title="日立">日立公司在“μ-Chip”的基礎上，進一步開發出體積更小的電子標簽產品Powder。

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進入21世紀，電子標簽開始逐漸進入商業應用，其快速發展使人們的日常生活步入了一個新的信息時代。電子標簽的專業名稱是無線射頻識別技術，可以快速、實時、準確地采集處理信息，在生產、零售、物流、交通等各個行業具有廣闊應用前景。比如，現在超市的收銀臺通過掃描商品條形碼才能完成結算，顧客往往要排隊等候，使用電子標簽后，顧客推著裝滿商品的小車經過收銀臺，不必拿出一件件商品，很快就可以完成結算。這一技術已逐漸成為企業提高物流供應鏈管理水平、降低成本、企業管理信息化、增強競爭力不可缺少的手段。??

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2005年在日本愛知縣舉辦的世界博覽會期間，入場券采用了日立公司開發的微型IC芯片“μ-Chip”電子標簽。該芯片體積只有0.4毫米×0.4毫米×0.06毫米，是當時世界上最小的芯片。由于在這種微型芯片" title="微型芯片">微型芯片上包含有特定的識別碼，因此可以提供預約參觀時間、查詢及識別個人資料等各種服務。盡管這次世博會的參觀者超過了2200萬人次，但完全排除了使用假票的可能。??

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最近，日立公司在“μ-Chip”的基礎上，進一步開發出體積更小的電子標簽產品Powder。由于這種芯片的大小為0.05毫米×0.05毫米×0.005毫米，比在上次使用過的“μ-Chip”小64倍，可嵌入紙張內，日立公司希望利用這種微型芯片在打擊假冒偽劣產品中大顯身手。??

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Powder芯片的制作工藝非常復雜。據日立公司介紹，該新一代電子標簽采用了90納米節點工藝制造，襯底為絕緣體硅，采用3層金屬布線的CMOS結構，內部嵌有21微米×32微米的128比特容量的微型存儲器，配有外置" title="外置">外置天線，最大通信距離為30厘米，通信時的耗電量小于1毫瓦，外置天線的長度為6厘米，天線與芯片的黏結采用異性導電薄膜。??

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由于該電子標簽體積小，因而每個硅圓片可獲得400萬個微型芯片。該微型芯片內的存儲器的光刻采用了先進的電子束光刻機" title="光刻機">光刻機，這不僅可提高器件的集成度，而且所生產的存儲器可在400℃高溫下確保較高的可靠性。此外，在生產中不需采用傳統的掩膜工藝技術，只需將獨特的ID設計圖嵌入存儲器即可，這也使得有望大大降低生產成本。??

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該電子標簽在使用中不需要能源，可以接受2.45兆赫茲頻率的信號，同時釋放出128組驗證數碼。研究人員認為，使用這種微型電子標簽可以標記億萬個物體，供應商可以將商品型號、原產地、生產廠家和產品批次等商品的詳細信息輸入電子標簽，當貼有標簽的貨箱" title="貨箱">貨箱經過閱讀器時，標簽便將產品數據傳遞給閱讀器，閱讀器再將數據下載到中央處理器，生成企業貨品清單管理數據庫。這樣，商品從生產、運輸到銷售的過程都可以被清楚地了解和把握，從而在采購、倉儲、配送過程進行準確監控，從而可以達到對產品進行防偽和打假的目的。??

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日立公司今后還計劃進一步采用65納米節點工藝，甚至將來會過渡到32納米工藝，用于制造12微米見方的電子標簽。目前，制約大量使用電子標簽的瓶頸是如何降低其成本，解決這一問題后，低成本的電子標簽將在防偽和打假方面起到重要作用