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韓國半導體大廠相繼開啟氖氣回收計劃

回收率超70%
2024-04-16
來源:科創板日報

《科創板日報》15日訊,據韓國業界消息,韓國半導體巨頭三星電子SK海力士正利用氖氣回收技術,以實現可持續發展,并降低成本、減輕供應風險。SK海力士近日宣布與韓國氣體供應商TEMC合作,在氖氣回收方面取得突破。三星電子也緊隨其后,計劃在2025年將氖氣回收技術整合到其制造工藝當中。氖氣用于半導體光刻中激發激光,通過利用裝置收集廢氣,SK海力士與TEMC實現了72.7%的氖氣回收率,并計劃將效率進一步提升至77%。


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