探針卡是應用在芯片尚未封裝前，對裸晶以探針做功能測試，是被測芯片（Chip）和測試機之間的接口，屬于晶圓測試中對制造成本影響重大的一個步驟，使用探針卡測試的成品良率可提升近 20%。

　　據 VLSI 報告指出 2018 年全球探針卡市場規模為 16.5 億美金，并將于 2024 年達到 20 億美金以上，年增長率超過 4%。半導體整體行業增長帶動了封裝測試的探針卡使用量增加，而其中先進探針卡（Advanced Probe Cards）是增長的主要動力。

　　摩爾定律預測晶體管數量每 24 個月倍增，同時意味著晶體管的體積需要不斷縮小；這對封裝測試要求提出日益嚴苛的挑戰，也因此刺激先進探針卡等創新封測技術的高速發展。相較于傳統探針卡，先進探針卡呈現出了明顯的變化：探針數量增加、探針尺寸縮小、探測間距縮短、材料厚度增加、孔型多變與新材料不斷推陳出新等等。這些發展趨勢對探針以及組成探針卡的所有部件生產造成極大挑戰，其中關鍵的導板制造更是讓傳統生產廠家傷透腦筋。

　　傳統多使用機械鉆孔工藝加工導板，受到鉆頭尺寸的限制，能夠加工的圓孔孔徑一般在 40um 以上，異形孔的單邊尺寸則在 100um 以上。此工藝能加工的最小間距不小于 50um，單孔加工時間超過 10 秒。先進探針卡中為了降低接觸力（touchdown）與生產成本，近年來發展出嶄新的方針結構，帶動了匹配的方孔導板需求激增。如何制造30 – 60um 尺寸的方孔儼然成為眾探針卡企業躋身世界一流廠家最嚴峻的障礙。

　　GF 成熟的激光微孔加工技術，提供了高效、高質量的微細方孔加工解決方案。我們配備的超快激光器具有短脈沖、高能量密度的特性，對加工材料周圍不會產生燒傷，孔壁不產生毛刺；搭配振鏡系統的多功能旋切技術，避免傳統激光加工可能產生的正錐孔，真正實現了直通孔甚至倒錐孔加工。

　　我們為探針卡行業常見材料開發專屬工藝，極大化氮化硅、氧化鋁、氧化鋯等材料加工效率。這使得我們的集成方案可以在 2 秒內加工尺寸 35 x 35um 的方孔，其圓角僅 3.5um，可實現間距為 7um；加工周圍區域的熱影響層小至可忽略不計。

　　除了呈現倍數增長的效率，激光加工的一致性與可靠性，也是我們的探針卡用戶所重視的。試想一片動輒一萬個方孔的探針卡上，若在最后加工階段產生任何一種瑕疵，都可能導致整片探針卡報廢，其損失的時間與金錢成本都相當可觀。下圖展示我們的方案在客戶端 24 小時長時間連續加工后，微孔的入口與出口尺寸差異在 ±1um 內，詳實地記錄了設備的穩定性要求。