作為國內最大最先進的晶圓代工廠，中芯國際SMIC在疫情疫情期間依然沒有停產，同時還在擴大14nm等先進工藝產能。日前羊城晚報報道稱，中芯國際進口的荷蘭ASML光刻機順利入廠。
據報道，這次購買光刻機的是中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司，昨天他們從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區場站兩道閘口進入廠區。
據悉，這臺機器主要用于企業復工復產后的生產線擴容。
中芯國際表示，坪山海關一系列服務措施，保障了設備第一時間進入廠區完成安裝進入生產，生產線擴容后全年預計可為企業增加10％左右的營收。
報道沒有提及中芯國際購買的光刻機的詳情，不過肯定可以排除最新的EUV光刻機，現在進口的應該還是193nm波長的DUV系列光刻機。
ASML的DUV光刻機型號
雖然沒有EUV技術，但ASML的沉浸式DUV光刻機依然可以制造28nm到7nm之間的各種芯片，中芯國際此前也表態下兩代工藝N＋1、N＋2（相當于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能）也不會上EUV光刻機。
與EUV光刻機動輒1億美元以上的售價相比，DUV光刻機要便宜很多，但也要3000－5000萬美元，還要有數目不菲的安裝服務費用，足以讓很多小公司望而卻步。
中芯國際沒有公布擴產的工藝具體是什么，但99％可能是14nm工藝，這是2020年中芯國際重點中的重點，去年底產能不過1000片／月，今年3月將達到4K，7月達到9K，12月達到15K。
根據中芯國際聯席CEO梁孟松的說法，1000片／月的產能就差不多要1億美元的投入，15K晶圓／月的產能意味著15億美元的投資。
放在以前，這樣的投資是不劃算的，不過現在這兩年情況不同了，中芯國際的14nm及未來的7nm工藝無論如何都是要上的。
作者：憲瑞
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