自科創(chuàng)板推出以來(lái)，一大批集成電路企業(yè)積極備戰(zhàn)科創(chuàng)板，目前包括安集科技、中微公司、瀾起科技、華興源創(chuàng)、睿創(chuàng)微納、樂鑫科技、晶晨股份、以及上海晶豐明源在內(nèi)的多家企業(yè)已經(jīng)成功闖關(guān)。不過(guò)在這些企業(yè)中，鮮少有涉及半導(dǎo)體設(shè)備的相關(guān)企業(yè)。

　　值得關(guān)注的是，目前一家來(lái)自北京的光刻機(jī)生廠商也計(jì)劃登錄科創(chuàng)板。近日，北京證監(jiān)局披露了關(guān)于北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華卓精科”）首次公開發(fā)行股票并在科創(chuàng)板上市輔導(dǎo)工作報(bào)告(第三期)。

　　根據(jù)官網(wǎng)顯示，華卓精科注冊(cè)資金9600萬(wàn)， 成立時(shí)間為2012年5月9日，由清華IC裝備團(tuán)隊(duì)在清華大學(xué)及其下屬“北京-清華工業(yè)技術(shù)研究院”和02專項(xiàng)的支持下創(chuàng)立，主要面向國(guó)內(nèi)外的IC制造、光學(xué)、超精密制造等行業(yè)，致力于為行業(yè)提供整機(jī)裝備、核心子系統(tǒng)、關(guān)鍵零部件和定制服務(wù)，主營(yíng)產(chǎn)品包含高端整機(jī)、超精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、精密儀器設(shè)備和高端特種制造等方面。現(xiàn)在已經(jīng)成功推出了光刻機(jī)雙工件臺(tái)、精密隔振、超精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、關(guān)鍵零部件等系列化產(chǎn)品。

　　華卓精科表示，其核心戰(zhàn)略產(chǎn)品光刻機(jī)雙工件臺(tái)，打破了ASML公司在工件臺(tái)上的技術(shù)壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺(tái)核心技術(shù)的公司。資料顯示，華卓精科生產(chǎn)的光刻機(jī)雙工件臺(tái)主要應(yīng)用于65nm及以下節(jié)點(diǎn)的ArF干式、浸沒式步進(jìn)掃描光刻機(jī)、KrF步進(jìn)掃描光刻機(jī)，單臺(tái)系列產(chǎn)品應(yīng)用于i線、g線步進(jìn)掃描光刻機(jī)及封裝光刻機(jī)等。

　　2018年半年報(bào)顯示，華卓精科上半年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收3193.03萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)44.53%；實(shí)現(xiàn)歸屬于掛牌公司股東的凈利潤(rùn)683.67萬(wàn)元，同比下滑10.34%，凈利潤(rùn)減少的主要原因是2018年公司加大研發(fā)投入，自主研發(fā)支出比上年同期增長(zhǎng)374萬(wàn)元，費(fèi)用化后導(dǎo)致凈利潤(rùn)減少。

　　事實(shí)上，早在2015年，華卓精科曾在新三板掛牌上市，但在2019年2月13日終止新三板掛牌。而在退市之前，華卓精科分別在2018年10月和11月分別進(jìn)行了8700萬(wàn)元的戰(zhàn)略融資以及7587.5萬(wàn)元的定向增發(fā)，其中增發(fā)募集的7587.50萬(wàn)元資金，主要用于公司半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造項(xiàng)目、補(bǔ)充流動(dòng)資金、償還銀行貸款、購(gòu)買土地使用權(quán)。