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5nm工藝面臨的一些挑戰,三星和臺積電誰克服誰稱王?

2019-06-05
關鍵詞: 5nm 三星 臺積電

  人工智慧(AI)、高效能運算(HPC)、5G新空中介面(5G NR)等三大應用下半年進入成長爆發期,對7納米及5納米等先進邏輯制程需求轉強,也讓晶圓代工市場競爭版圖丕變,轉變成臺積電三星的雙雄爭霸局面。臺積電7納米制程與三星之間的技術差距已在1年以內,明年5納米制程進度看來差距將縮小,亦即兩家大廠明年的爭戰將更為激烈。

  2017年之前晶圓代工市場中,臺積電雖穩坐龍頭寶座,但包括格芯(GlobalFoundries)、聯電、中芯等在先進制程競爭十分激烈,但自去年以來,格芯及聯電已淡出7納米競局,三星則迎頭趕上,所以在今年變成臺積電及三星爭奪先進制程市場的局面。

  臺積電去年下半年量產7納米制程,今年上半年支援極紫外光(EUV)微影技術的7+納米亦進入量產。臺積電5納米已在第二季進入試產,最快年內就會有第一顆5納米芯片完成設計定案(tape-out),預估明年下半年5納米將進入量產。臺積電日前正式發表基于7/7+納米優化的6納米制程,將在明年底前進入量產,而3納米正在研發當中,可望在2022年進入量產。

  三星晶圓代工(Samsung Foundry)去年下半年完成支援EUV微影技術的7納米產能建置,今年上半年開始替客戶投片。另外,三星宣布5納米鰭式場效電晶體(FinFET)制程已完成開發,近期開始提供客戶樣品,與7納米相較,芯片邏輯區域效率提高了25%、功耗降低20%、性能提高10%。而三星亦將7納米所有矽智財移轉至5納米制程,減少客戶轉換至5納米的成本,并可預先驗證設計生態系統,縮短5納米產品開發時間。

  三星晶圓代工指出,目前已開始向客戶提供5納米多專案晶圓(MPW)的服務,6納米制程已成功試產,7納米制程即將進入量產。三星已將EUV微影生產線建置在λ于韓國華城(Hwaseong)的S3生產線,今年下半年將再擴大EUV產能,以因應明年強勁需求。

  5nm工藝面臨的一些挑戰

  Χ繞5nm制造工藝節點的活動正在迅速發展,這讓我們對必須克服的、日益復雜的無數設計問題有了更深的認識。

  “Arm公司物理設計團隊的研究員Jean-Luc Pelloie表示:“對于邏輯而言,5nm的挑戰是妥善管理標準單元和電網之間的相互作用,不用考慮標準單元就能建立電網的日子已經一去不復返了。標準單元的體系結構必須與電網實現相適應。因此,電網的選擇必須基于邏輯體系結構。”

  在5nm處,如果從一開始就?有正確地考慮這種相互作用,則幾乎不可能解決IR壓降和電遷移問題。

  Pelloie表示:“適當的電網也會限制后端處理(BEOL)效應的影響,主要原因是,當我們繼續微縮到5nm時,通孔和金屬電阻會增加。除了考慮電網的邏輯架構外,規則的、均勻分布的電網也有助于減小這種影響。對于使用功率門限技術(power gates)的設計,則需要更頻繁地插入這些門,以免降低性能。這會導致功能區塊面積的增加,并且可以減小從先前的制程節點微縮時的面積增益。

  ANSYS公司半導體業務部產品工程總監Ankur Gupta表示:“你有了高性能的系統,又有了更精確的系統,所以你可以做更多的分析。但許多工程團隊仍必須擺脫傳統的IR假設和Margin。他們仍需回答是否能適應更多corner的問題。如果他們能夠適應更多corner,那?他們會選哪個corner?這是行業面臨的挑戰。當運行EM / IR分析時,它是工程師選擇運行的矢量的強大功能。如果我能制造出正確的矢量,那?我本該早就做到了,但這不可能。”

  Gupta表示:“這改變了整個設計方法。能不能減小Margin?能不能設計一種可以在整個過程中收斂的流程?我是否可能使用統計電壓而不是平坦的保護帶寬IR壓降前置(flat guard band IR drop upfront),然后潛在地轉向這些DVD波形——真正準確的DVD波形——以及在signoff空間中獲得高精確度的·徑?我可以分析芯片、封裝和系統嗎?我可以進行所有這些分析嗎,這樣我就不會浪費來自封裝的5%的Margin?在7nm工藝中,我們討論的是接近閾值的計算,就像是NTC的某些corner,而不是整個芯片,因為你可以參考移動芯片,他們并不總是運行sub-500。有一些條件和模式可以讓你運行sub-500。但在5nm處,因為整體熱度范Χ和整體功耗預算,移動設備可能會在sub-500毫伏的各個corner運行。”

  Cadence公司研發副總裁Mitch Lowe表示:“還存在更具挑戰性的引腳訪問范例,更復雜的布局和布線約束,更密集的電網支持,庫架構和PG網格之間更緊密的對齊,更多且更嚴格的電遷移考慮,更低的電源電壓角,更復雜的庫建模、提取建模中的其他物理細節,更多及更新的DRC規則。顯然,EUV光刻至關重要,這確實可以減少多模式的挑戰和影響,但并不能消除。盡管EUV簡化了一些事情,但仍有一些新的挑戰正待處理。”

  在5nm節點,電和熱寄生效應將大幅增加,弗勞恩霍夫集成電·研究所IIS的高級物理驗證博士Christoph Sohrmann表示, “首先,FinFET設計將承受更強的自熱,雖然這可以在技術方面進行處理,但減小的間距是一個設計挑戰,不能完全被靜態設計規則覆蓋。設計中增強的熱/電耦合將有效地增加到芯片的敏感部分(如高性能SerDes可能的峰值可能會有限制)。但這很大程度上取決于用例和隔離策略。選擇正確的隔離技術-如設計層面和技術-需要更準確、更快速的設計工具,特別是非常先進節點中的寄生效應。

  著向7nm和5nm節點的轉變,趨勢很明顯:頻率增加,Margin更小,集成電·更密集,以及新設備和材料,Helic市場營銷副總裁Magdy Ababir強調說。他在最近的設計自動化大會上表示,一個小組討論并辯論了以下概念:在何時何地應包括全電磁(EM)驗證;忽視磁效應是否會導致開發過程中出現更多的硅故障;應用最佳實踐以避免EM耦合和跳過繁瑣的EM驗證部分的方法仍然是一種有效的做法;如果這種方法可擴展到5nm集成電·及以下;如果由電感耦合和模擬困難引起的緊密矩陣是工業?有廣泛采用全EM模擬的主要原因;以及在工具開發,教育和研究方面可以做些什?來降低工業采用全EM模擬的障礙。

  與任何時候相比,5nm節點都帶來了一系列新的挑戰。“當你考慮到芯片上的數十億組件時,它解釋了為什?當你從一代轉向另一代時,構建這些芯片所需的團隊規模在增加。所有這些挑戰都在等著我們,這些問題將繼續存在,人們將提出解決問題的技巧,并繼續照常工作。工程實際上是建造能夠始終可靠工作的東西的藝術,” eSilicon IP工程副總裁Deepak Sabharwal說說。


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