半導體參數(shù)測試，是微電子、材料、物理等基礎研究和應用研究中非常重要的一個環(huán)節(jié)，高精密儀器完全為國外公司壟斷，傳統(tǒng)的測試儀器價格昂貴，軟件和測試功能單一而且不方便擴展。針對參數(shù)測試中IV，CV，低頻噪聲等測試需求，往往需要依靠不同的獨立測試設備，連接復雜，使用不便，并且成本也很高。
“軟件定義測試，算法突破硬件限制”，基于模塊化硬件平臺，應用人工智能算法，拓展硬件固有的測試能力，大幅提高測試精度和速度。博達微算法團隊全部來自清華大學電子系，從2016年開始團隊把算法應用轉(zhuǎn)移至半導體測試領域，博達微團隊用于量產(chǎn)測試的學習算法論文獲得2018年DATE大會的最佳論文（Best Paper），同年也發(fā)布了半導體參數(shù)化測試系統(tǒng)FS－Pro，集成高速高精度IV，CV和低頻噪聲測試一體，產(chǎn)品迅速被領先的半導體公司，大學和研究機構采用。
在科研領域，短短一年時間內(nèi)，F(xiàn)S－Pro 已被國內(nèi)30多所大學及研究機構所采用，在先進器件和材料等領域的測試表現(xiàn)非常出色。它集 IV，CV 與 1／f noise測試于一體，高精度、低成本、綜合的半導體器件表征分析能力靈活滿足學術科研用戶的不同測試需求，大大節(jié)省了測試設備采購開支。它是目前世界上唯一一款集成了所有常用低頻特性測量于一體，在單臺儀器內(nèi)完成所有測試需求的半導體分析儀。工業(yè)標準的PXI模塊化硬件結構，通用的軟件平臺，內(nèi)置測量軟件提供數(shù)百個預定義的測試模板和功能，實現(xiàn)即插即用體驗，使其成為半導體器件與先進材料研究方面的得力助手。
清華大學微電子所王燕教授采購了三套FS－Pro 用于科研和教學，她說：“國內(nèi)半導體微電子產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，對微電子專業(yè)的人才提出了新的要求。對于微電子教學來說，需要使得學生能夠完整地了解半導體器件測量到建模仿真的整個流程。傳統(tǒng)的半導體參數(shù)測量設備基本上均為進口設備，體積龐大，價格高昂，不適合于用來進行微電子教學。博達微科技FS－Pro 出現(xiàn)后，引起了我們極大的興趣，經(jīng)過調(diào)研和試用，我們發(fā)現(xiàn)該款測量設備在測量分辨率，精度，C－V帶寬上均達到了進口設備的水準，同時該款設備配備了博達微的建模旗艦產(chǎn)品—模型參數(shù)提取軟件MeQLab ，因此在教學上實現(xiàn)了測量到建模仿真的完整流程，在教學上更加貼近半導體產(chǎn)業(yè)的應用。同時設備在成本上與進口設備相比有著非常大的優(yōu)勢，在體積上非常小巧，因此清華大學微電子專業(yè)此次采購了3套博達微FS－Pro 作為微電子教學設備，該設備極大地助力于我們培養(yǎng)符合半導體產(chǎn)業(yè)需要的應用型人才。”
今年1月份，南京大學王肖沐教授課題組在Nature Nanotechnology發(fā)表了研究成果論文《Observation of ballistic avalanche phenomena in nanoscale vertical InSe／BP heterostructures》，首次在二維材料垂直異質(zhì)結中提出和實現(xiàn)了一種新型的PN結擊穿機制“彈道雪崩”，并首次制作出了性能優(yōu)異的中紅外彈道雪崩光電探測器和彈道雪崩場效應晶體管。王肖沐教授是FS－Pro 的第一批用戶，他是新型納米器件研究領域知名科學家，眾多論文中很多被領先的會議期刊精選。王教授畢業(yè)于清華大學和香港中文大學，曾任耶魯大學博士后研究員。他說：“我們的研究工作需要綜合的半導體器件表征分析能力，包括對于IV，CV以及1／f噪聲的精準測量，由于我們經(jīng)常在新型器件結構上進行各方面研究，因此我們需要設備的測量設置足夠靈活以滿足我們的不同測試需求。博達微FS－Pro？對我們來說是一個驚喜，可提供0．1fA和1fA兩檔靈敏度解決方案，其模塊化架構不僅可以幫助我們在未來輕松升級到CV和1／f噪聲測試，還可以根據(jù)我們的測試要求進行靈活配置。與之前使用的傳統(tǒng)儀器相比，博達微FS－Pro 系列測試速度也要快很多，內(nèi)置軟件界面簡潔，操作簡單，他們還提供了一個工業(yè)界標準的器件建模平臺，可以將我們的研究成果直接轉(zhuǎn)化用于電路設計。與此同時，成本較之同類產(chǎn)品也非常有競爭力?！?/p>
周楊波博士，南昌大學特聘教授，畢業(yè)于北京大學物理學院并于愛爾蘭圣三一大學物理系取得博士后學位，優(yōu)秀青年學者。周楊波教授當前的研究主要圍繞二維功能材料（如石墨烯、氮化硼、二硫化鉬等）展開，在該領域取得了一系列具有國際影響力的成果，自2007年以來在Nature Communications，Advanced Materials， Nano Letters等期刊發(fā)表論文30余篇。“我第一次見到FS－Pro 系列半導體測試儀時，是在進行設備調(diào)研造訪博達微公司的時候，雖然當時已經(jīng)見過一些文字材料，但還是被該設備的小巧所吸引了，這臺設備比我以前用過的同類其他廠家的測試儀（有的如今經(jīng)過了產(chǎn)品升級似乎變得更龐大了）相比簡直小了一大圈，這對于經(jīng)常需要移動測試設備至不同實驗室開展實驗的我來說簡直是一大福音。同時，雖然體積縮小了，功能卻絲毫沒有縮減，各種常用測試功能一應俱全。同時，針對我所測試的納米器件，在寬量程設置下，保持高精度的同時依舊有很快的測試速度。最重要的是，博達微公司能針對我們的特定需求，對測試儀的軟件功能實現(xiàn)一定程度的定制化。例如，我采購半導體測試儀的一大目的是應用于低溫探針臺，實現(xiàn)納米器件的變溫、變磁場測試。博達微公司的工程師在與我進行溝通、了解具體需求后，便切實地著手開始這一部分測試功能的定制開發(fā)，我非常期待能盡快拿到相關的軟件測試版本，并與他們保持交流，進一步完善功能，讓測試設備發(fā)揮出更為強大的性能。”周楊波教授評價到。
FS－Pro 也助力復旦大學微納器件公共平臺科研項目，為國家重點先進器件科研項目提供有力的數(shù)據(jù)支撐，尤其在先進的低頻噪聲測試，在與同類進口產(chǎn)品對比后，復旦大學項目負責老師給予了非常高的評價。
博達微FS－Pro 系列憑借其強大的測試能力及超高的性價比，自發(fā)布以來，短短一年時間內(nèi)已經(jīng)被超過30家大學所采用，成為科研和教學工具的首選：
完整方案：包含IV，CV， 1／f noise等常用低頻參數(shù)的一體化測量解決方案，是目前業(yè)界唯一。
模塊化架構：PXIe模塊化架構，可靈活拓展?jié)M足用戶不同測試需求。
高性價比：基于應用優(yōu)化硬件，只為用戶提供適合而非昂貴的硬件。
即插即用：內(nèi)置LabExpress？軟件系統(tǒng)，所有測量只需點擊幾下鼠標，簡單易用，無需參閱繁瑣說明書。
寬量程應用：電壓范圍至200V， 電流3A（脈沖，標準1A），靈敏度可達0．1fA。
建模及仿真：業(yè)界唯一提供可選內(nèi)置器件建模與仿真軟件，測量數(shù)據(jù)可一鍵導入至建模平臺軟件MeQLab？進行測量后數(shù)據(jù)分析與器件建模仿真。