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如今半導體工藝制程演進的代價到底有多大

2018-04-30
關鍵詞: 制程 IP 半導體 器件

高級制程的加速演化、復雜性和成本的飆升以及對IP可用性的擔憂正在引發一些難題。

隨著摩爾定律物理極限的日益臨近,人們普遍預測稱,由于成本上升以及在先進工藝上開發芯片的難度增加,芯片尺寸縮放將逐步放緩,但是現實正好相反,前沿工藝節點的推出速度反而正在加快。

成本確實在上升,同時,由于多重圖案化、芯片上集成更多器件、和三維晶體管密度相關的物理效應、更多功能和細化電介質造成復雜性飆升,設計規則數量也在急劇增長。除此之外,最先進的節點上是否有可用IP,以及使用代工廠最新版本制造工藝時能否進行充分測試和特征分析的不確定性也在增加。

“過去,當你從一種工藝切換到另一種工藝上時,人們會認為,你已經完成了你的設計,所以不會有什么大不了的問題,”eSilicon IP工程副總裁Deepak Sabharwal說。 “你所做的工作就是將原理圖進行縮放,并根據新規則重新布局布線。工藝節點只是一個數字,無論是40nm還是90nm都沒關系,本質上沒有什么區別。而且,從人們的期望來講,也希望完成了上一個節點的設計之后,能夠大量重復使用既有的資源和成果,快速前進到下一個節點上。”

這種演進模式在兩維結構下非常有效,但是隨著finFET的推出,情況出現了顯著的變化。

Sabharwal說:“在finFET中,器件垂直放置,所以現在硅片面積的約束條件是金屬層。晶圓代工廠一直在努力,如何比之前的節點以更緊密的間距進入金屬層。 現在的設計規則非常嚴苛,設計規則手冊厚達數千頁,布局團隊挖空心思琢磨如何在不影響其它層的情況下進行更改。這就像一個多米諾骨牌效應,你在設計中做一個很小的改變,就會影響其他10個地方。今天,設計如此緊密,組合如此精細,每個地方都有嚴格的容差和閾值范圍,設計和制造都變得非常困難了。”

這也意味著設計工程師和布局工程師需要每天都在一起工作,因為如果布局團隊在某個地方進行了重大調整,就可能會在其他地方產生問題,需要設計工程師重新修改設計。盡管如此,雖然這些問題還是會經常出現,一些公司仍然在加速升級制造工藝。

Cadence公司知識產權部業務發展總監Tom Wong表示:“業界從90nm過渡到65nm花了將近四年的時間。從65納米到55納米,然后再到40納米花了將近三年的時間。 從40納米平面工藝過渡到28納米高k/金屬門(HKMG)也用了大約三年的時間。之后的工藝升級就出現了加速趨勢。從28nm HKMG到20nm只用了兩年左右的時間,從20nm HKMG到16nm finFET用了不到兩年的時間,16納米到14納米不到一年,然后不到一年,就到了10納米。盡管剛剛在不到一年前開始生產10納米晶圓,我們現在已經前進到了7納米世代。”

Tom Wong表示,隨著工藝尺寸日益精細,投資新晶圓廠需要高額研發成本和巨大的資本支出,人們普遍預計參與最前沿工藝升級的代工廠越來越少。“但是實際情況卻完全不同,在16nm節點時,至少有四家大型晶圓代工廠參與角逐,到了7nm時,還至少有三家公司爭奪領先地位。”

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圖 與日俱增的復雜度和設計規則

經濟性考慮

工藝升級的經濟性對設計上游影響巨大。芯片行業依賴于IP復用,更精確地說,是IP可以從一個節點到另一個節點之間遷移,以維持經濟可行性。但是現在,IP復用越來越難。

“當你的工藝節點過渡到下一個更精細的幾何尺寸時,當標稱Vdd從0.8V下降到0.7V時會發生什么? 這將使得您預期比較簡單的IP遷移項目變成針對復雜IP(如高速SerDes)的全面重新設計,“Wong說。 “另外,您可以利用的設計余量更少了,時序收斂也更復雜,還需要更多得考慮如何在模擬中管理OCV(片上變化)。 這往往會增加IP支持的成本,并延長部署時間。”

更加雪上加霜的是,在新工藝誕生的過程中,還需要并行進行大量的SoC開發,開發設計支持工具和IP。這意味著,當新工藝最終成熟或做好可以大規模生產的準備時,可能需要重新更新IP。這樣一來,不僅IP開發過程更加困難和昂貴,芯片開發過程也會變得成本高昂。

eSilicon的Sabharwal表示:“從16/14nm到7nm的過渡過程中,我發現我們投入的資源是上次工藝升級的1.5倍。”

硬IP與軟IP,大節點與小節點

在這個規則約束不斷更新的世界中,硬IP的遷移變得特別困難。

“當我們談論硬IP的遷移難度時,首先,它在很大程度上取決于這次是否只是遷移到新的半節點,即所謂的小節點上,因為小節點只是對節點的增量升級,”Arteris IP的解決方案架構師Benny Winefeld說。 “全新節點的遷移總是很難,但過渡到半節點的可行性更高,因為它主要只涉及到光學特性的縮小。DRC規則相似,各種電氣特性的變化也基本一樣,要么多一些,要么少一些,總之是可預測的。”

他指出,臺積電的32納米到28納米的遷移就是一個很好的例子。 “我不會說這很容易,但它是完全可行的。在最近的節點中,DRC規則集的規模變得更大更復雜,規則從數百條增加到數千條。另外,大節點和半節點之間的差異也增加了,所以它們的相似度越來越低。從我最近的經驗來看,臺積電的16nm和12nm本來應該只是一個漸進式的升級,但是它們之間存在相當大的差異。如果您正在嘗試使用調整多邊形的智能工具來自動轉換,現在需要執行更復雜的轉換。不是只乘上一個0.8的線性比例就萬事大吉了。因為這種變化不僅會突然違反物理規則,也可能造成電氣特性的顯著變化甚至失效。在臺積電的12nm中,DRC規則不同,所用庫也不同。但即便如此,人們也一般認為臺積電的12納米是一個漸進式的變化。”

在大節點之間,比如從16nm遷移到7nm上更加困難。 他表示,這需要從雙重圖案轉變為計算設計平臺,并采用完全不同的規則。所有這些都體現在網絡芯片上,網絡芯片(NoC)充當CPU、緩存,加速器和存儲器之間的耦合邏輯器件。

“硅使我們能夠在同一顆芯片上集成更多功能,但從設計的角度來看,您仍然可以把網絡芯片稱為IP模塊,因為SoC設計人員可以將此NoC用作構建模塊,而無需深入了解它的實施細節,”Winefeld說道,。 “只要它遵守這些協議,邏輯正確并滿足延遲、帶寬和服務質量等這些高級別系統要求,將這個IP硬化就沒有什么意義。你可以想象一下,這個NoC位于它所連接的IP之間的通道中,這些IP可以是硬的也可以是軟的。用作連接目的的NoC則是軟的,NoC的拓撲結構和布局差別很大,對于被使用的SoC而言,它是特定的。”

讓IP塊一起工作只是問題的一方面, 能夠在功能測試芯片中驗證這些IP是另外一回事。

“如果你是一個IP供應商,那么你需要在所有較小尺寸的工藝節點上完成功能測試芯片,因為人們會問到這個問題,”ClioSoft市場營銷副總裁Ranjit Adhikary說。“他們并不是很關心這是一個硬核還是一個軟核。 他們想知道的是,你是否已經完成了功能測試芯片。由于一次性工程費用很高,這件事具有相當大的挑戰性。對于一家小公司來說,如果你無法保證能夠得到很多訂單,在測試芯片上進行投資就會非常困難。如果你是一家系統公司,正在使用自己的IP,那么這筆錢還算花的有意義。但是你仍然需要考慮做功能測試芯片將花費多少錢,需要付出多少努力,因為將IP遷移到高級節點時的成本非常高。”

除此之外,還有更多驗證工作。

西門子公司Mentor產品營銷總監John Ferguson表示:“肯定需要進行大量額外的驗證,而且要真正檢查每個小問題的影響,以避免盲目忽略隱患。我覺得,這也意味著需要更多早期試錯,以確保最后的成功。我們曾經認為并希望用上EUV光刻技術之后,事情會變得更好或者更容易一些,但是事實證明,我們太樂觀了。EUV可能會在一兩個層面上讓事情容易一些,但不是整體,板塊之間的相互依賴性太多,所以最終還是于事無補。有人會說,'看,這有一大堆好處',但是當你真的理解了就會發現,天底下沒有免費的午餐,你必須拿別的東西來換取這些好處。”

解決所有這一切問題的一個可能解決方案引起了先進工藝芯片設計人員的注意,主要涉及到將在不同工藝節點上開發的IP和塊進行更多的混合和匹配。

NetSpeed Systems市場與業務發展副總裁Anush Mohandass指出,異構性正在推動有關SoC設計的新思路。

“這里出現的一個趨勢是多層芯片的概念,其中,基礎層可能包含在28nm工藝上設計的I/O和一些外圍設備,用于提升性能的各種計算部件放在另外一個單獨的層上,也許是16nm或7nm,“Mohandass說。“這些層需要某種形式的智能鏈接結合在一起。”

“從邏輯上講,這可能是一個大的SoC,但是你可以對其進行分區,”Mohandass指出。 “即便存在一個標準IP,我們還可以以分而治之的視角看待它。他們說,'這是我的CPU子系統,這是我的圖像子系統,這是我的內存子系統,'你用不同的子系統劃分設計,然后將它們整合在一起。 我們現在看到的情況很類似,除了這幾個子系統都存在于各自單獨的芯片上之外,在概念上仍然是相同的。我們只是把這些子系統放到同一個封裝中而已。當然,很顯然這里需要一個相當復雜的互連,但是這種多層芯片在更精密的工藝節點上越來越受歡迎。”

當然,有些問題并沒有消失,比如層規劃。而且,雖然節點升級的速度越來越快,某些先進工藝元器件的開發時間卻越來越長了。

Synopsys公司物理實施部門技術市場經理Mark Richards說:”在整個流程中,布置這個步驟出現得更早了。你仍然必須從v0.1或v0.5開始設計,整個設計過程變得更長了。在工藝的開發中,需要和領先客戶進行更多的互動,以順利推動所有事情。但是節點更新的速度,以及半節點推出的速度更快了,使得這些工作更加難做了。”

從晶圓制造廠的角度來看,將芯片的邏輯器件部分縮放,其它保持在相同的工藝節點上,能夠更快地實現半節點的爬產。這樣做是否能讓IP開發商的工作變得更容易目前尚不完全清楚,但這似乎是一個具有吸引力的選項。“如果你只是想在新設計中以和之前完全一樣的方式使用這個IP,而且該新設計中的其它一些組件將會使用或者利用新節點的這些功能,那么新節點的IP開發工作并不是太難,因為通常情況下,新節點IP的容限更低,只不過是需要適應更艱難的規則。”Mentor的Ferguson說。

新節點的IP開發還牽扯到工程資源。Cadence的Wong說:“在很多次工藝節點的過渡期,我們都給IP支持配備了大量聰明的工程師,在我們完成一個節點的完整IP支持之前,新的節點又出現了,我不知道這種趨勢是否仍然會持續下去。”


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