《電子技術(shù)應(yīng)用》
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耗資15億 中國(guó)建世界首個(gè)納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站

2017-04-07

納米技術(shù)是有望改變未來(lái)的核心技術(shù)之一,石墨烯也屬于納米材料。新華社消息,中國(guó)科學(xué)家正在江蘇蘇州建設(shè)世界首個(gè)集材料生長(zhǎng)、器件加工、測(cè)試分析為一體的納米領(lǐng)域大科學(xué)裝置——納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站。有了它,科學(xué)家未來(lái)就有可能制造出體積更小、運(yùn)算速度更高的計(jì)算機(jī),以及更加智能的機(jī)器人。

新華社南京專電(記者喻菲)中國(guó)科學(xué)家正在江蘇蘇州建設(shè)世界首個(gè)集材料生長(zhǎng)、器件加工、測(cè)試分析為一體的納米領(lǐng)域大科學(xué)裝置——納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站。有了它,科學(xué)家未來(lái)就有可能制造出體積更小、運(yùn)算速度更高的計(jì)算機(jī),以及更加智能的機(jī)器人。

“這個(gè)實(shí)驗(yàn)裝置是在類似太空一樣的全真空環(huán)境下的納米器件研發(fā)平臺(tái),是目前世界上最大的真空互聯(lián)科研裝置。我們探索的是未來(lái)納米器件制造的新技術(shù)。”中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站副總指揮丁孫安說(shuō)。

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圖為中國(guó)科學(xué)家正在江蘇蘇州建設(shè)納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站。(新華社記者金立旺攝)

他指出,實(shí)驗(yàn)站力圖通過(guò)超高真空條件下的互聯(lián)集成和若干重大項(xiàng)目驗(yàn)證,突破現(xiàn)有儀器設(shè)備的功能限制,實(shí)現(xiàn)材料制備、測(cè)試分析與微納加工工藝等方面協(xié)同效應(yīng),為科研和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供先進(jìn)的開(kāi)放平臺(tái)。

據(jù)介紹,納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站依托中科院蘇州納米所,聯(lián)合清華大學(xué)薛其坤院士團(tuán)隊(duì)、中科院大連化學(xué)物理研究所包信和院士團(tuán)隊(duì)開(kāi)展建設(shè)。首期由中國(guó)科學(xué)院、江蘇省、蘇州市和蘇州工業(yè)園區(qū)共建,建設(shè)經(jīng)費(fèi)3.2億元,預(yù)計(jì)2018年建成。一期建成后將有100米真空管道,連接30多臺(tái)設(shè)備。

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圖為中國(guó)科學(xué)家正在江蘇蘇州建設(shè)納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站。(新華社記者金立旺攝)

據(jù)丁孫安介紹,納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站最終目標(biāo)是建成總長(zhǎng)約500米的超高真空管道,將上百臺(tái)用于材料生長(zhǎng)、器件制備、測(cè)試分析的大型儀器設(shè)備互聯(lián)一起,實(shí)現(xiàn)樣品在不同設(shè)備之間傳送時(shí)其表面不被氧化、沾污,不被外界大氣環(huán)境所破壞,總投資約15億元。

“未來(lái)電子元器件將發(fā)展到納米級(jí),也就是納電子,器件尺寸越來(lái)越小,集成度越來(lái)越高,可以提高器件性能。但是那么小的器件以目前的工藝還有很多效應(yīng)無(wú)法解決,不能完成新型器件的制造。所以未來(lái)生產(chǎn)納米甚至以下級(jí)別的器件需要一種全新的技術(shù)路線。”丁孫安說(shuō)。

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圖為中國(guó)科學(xué)家正在江蘇蘇州建設(shè)納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站。(新華社記者金立旺攝)

“在納米科學(xué)技術(shù)研究中許多問(wèn)題不能只靠一種手段解決,需要多種手段、多臺(tái)設(shè)備聯(lián)合解決。同一個(gè)材料樣品在不同設(shè)備之間轉(zhuǎn)換,暴露在空氣中,性能就會(huì)發(fā)生變化,納米真空互聯(lián)裝置把很多設(shè)備都集中在同一個(gè)平臺(tái)上,減少了很多影響器件的因素,并且能省去很多不必要的工藝環(huán)節(jié),從而節(jié)約成本,器件質(zhì)量也會(huì)大大提高。”丁孫安說(shuō)。

他表示,納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站不僅可以開(kāi)展硬件研制,也能開(kāi)發(fā)新的工藝,超導(dǎo)器件、半導(dǎo)體器件等對(duì)表面敏感的材料器件都可以在這里制造,可實(shí)現(xiàn)量子材料的設(shè)計(jì)、制備,這樣就可以用于制造強(qiáng)大的量子計(jì)算機(jī)。科學(xué)家可以利用這套裝置,生產(chǎn)很多更智能化、更可靠、更小型的器件,可應(yīng)用于通訊、信息、人工智能等領(lǐng)域。由于降低了成本,未來(lái)普通人也可以使用更高端小巧的設(shè)備。

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圖為中國(guó)科學(xué)家正在江蘇蘇州建設(shè)納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站。(新華社記者金立旺攝)

納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站所落戶的蘇州工業(yè)園區(qū),是全球納米領(lǐng)域具有代表性的產(chǎn)業(yè)區(qū)域之一。實(shí)驗(yàn)站建成后將形成一個(gè)國(guó)際頂尖納米科技人才的聚集高地,對(duì)地方經(jīng)濟(jì)、科技具有很強(qiáng)的帶動(dòng)與輻射作用;實(shí)驗(yàn)站設(shè)備大多數(shù)需要自主研發(fā)和設(shè)計(jì)改造集成,可大大提升中國(guó)重大儀器設(shè)備的研制水平。

據(jù)介紹,實(shí)驗(yàn)站2014年開(kāi)始建設(shè),目前一期進(jìn)展順利,已完成超高真空管道系統(tǒng)與樣品傳送的技術(shù)方案和招標(biāo)合同。自主研發(fā)的關(guān)鍵工藝和測(cè)試設(shè)備及相關(guān)預(yù)研課題進(jìn)展順利,利用真空互聯(lián)的創(chuàng)新技術(shù),開(kāi)展先期課題研究,已取得初步成果。納米真空互聯(lián)模擬實(shí)驗(yàn)裝置調(diào)試成功,過(guò)渡期小型驗(yàn)證裝置正在調(diào)試試運(yùn)行,可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制,全程自動(dòng)化運(yùn)行。

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圖為中國(guó)科學(xué)家正在江蘇蘇州建設(shè)納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站。(新華社記者金立旺攝)

專家說(shuō),納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站將成為一個(gè)科技公共開(kāi)放實(shí)驗(yàn)平臺(tái),對(duì)提升納米科技創(chuàng)新能力,孕育和形成戰(zhàn)略性高技術(shù)產(chǎn)業(yè)具有重要作用。作為納米科技領(lǐng)域重要的前瞻性戰(zhàn)略布局,它利用全真空互聯(lián)的變革性技術(shù),解決未來(lái)納電子等新興產(chǎn)業(yè)中的關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題,并面向“中國(guó)制造2025”的戰(zhàn)略需求,提升自主設(shè)計(jì)水平和系統(tǒng)集成能力,以科技帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展,為國(guó)家戰(zhàn)略高技術(shù)及江蘇省、長(zhǎng)三角地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供重要支撐。建成后,這個(gè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)將向全球科學(xué)家開(kāi)放。


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