高能束加工中的三束，指的是激光束、電子束和離子束，和目前被廣泛應(yīng)用的激光束相比，離子束則是少有人知。

埃德萬斯總經(jīng)理高云龍

埃德萬斯總經(jīng)理高云龍告訴《電子技術(shù)應(yīng)用》記者：“我們的離子束加工技術(shù)采用的是氬，這種惰性氣體幾乎不和任何材料發(fā)生反應(yīng)。利用這種惰性氣體離化加速之后的高能氬離子進行材料表面加工、蝕刻、鍍膜，是一種原子級的加工，要遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出現(xiàn)在常用的激光加工。”

高云龍表示，離子束加工具有非常多的優(yōu)點。它是目前特種微納加工中最精密、最微細(xì)的加工手段。離子刻蝕線條精度可達(dá)納米精度；離子鍍膜則具有致密度高、粘附力好等優(yōu)點；而離子束拋光被譽為終極拋光，拋光精度可達(dá)亞納米級。此外，離子束加工在高真空中進行，污染少，特別適宜于對易氧化的金屬、合金和半導(dǎo)體材料進行加工。離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實現(xiàn)的，是一種微觀作用，所以加工無應(yīng)力和無變形，適宜于對各種材料和低剛件零件進行加工。

那么離子束加工具有這么多優(yōu)點為什么卻少有人知呢？

“主要是中國離子束加工技術(shù)發(fā)展初期主要是用于航天、軍工等高精尖項目。我們埃德萬斯的前身就是一個航天系統(tǒng)的研究所，30多年前我們的創(chuàng)始人就開始進行技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用，過去大家都是比較重視科研，項目也集中于國家的項目，不太注意離子束加工的商業(yè)化。可以說，過去我們實在是太低調(diào)了。” 高云龍表示。

記者了解到，正是由于離子束加工具有很多優(yōu)點，所以它的應(yīng)用范圍也非常廣泛。比如針對電子行業(yè)來說，隨著應(yīng)用場景的復(fù)雜化、終端產(chǎn)品的多樣化，硅MEMS傳感器應(yīng)用范圍越來越受局限，眾多國際知名廠商開始注重新材料、新工藝、新技術(shù)的開發(fā)，國內(nèi)外MEMS呈現(xiàn)從“硅”到“非硅”的發(fā)展趨勢。埃德萬斯自主研發(fā)的離子束技術(shù)應(yīng)用設(shè)備以及多年積累的成熟工藝技術(shù)對于非硅MEMS加工制造有著獨特的優(yōu)勢。

高云龍介紹說，埃德萬斯致力于自主設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)，不斷優(yōu)化設(shè)備性能，在核心產(chǎn)品——離子束刻蝕系統(tǒng)和離子束濺射薄膜沉積系統(tǒng)——擁有完全知識產(chǎn)權(quán)。目前已經(jīng)和一些電子企業(yè)進行合作，比如高精度薄膜電容、MEMS產(chǎn)品等。

現(xiàn)代社會，酒香也怕巷子深。為了能夠讓更多的了解離子束加工技術(shù)，埃德萬斯現(xiàn)在開始有意識通過參加專業(yè)的展會來介紹這種“老”技術(shù)的新應(yīng)用。

高云龍表示：“中國電子展是中國最大的專業(yè)電子展會之一，這個平臺非常好，可以讓埃德萬斯更多地直接接觸最終客戶，讓更多地的企業(yè)了解離子束加工。我們希望通過這個平臺找到更多的合作伙伴。”

為了推進離子束加工的進一步發(fā)展，埃德萬斯正在北京中關(guān)村環(huán)保科技園建設(shè)非硅微納制造工藝技術(shù)中心。工藝技術(shù)中心瞄準(zhǔn)MEMS、集成電路分立器件、第三代半導(dǎo)體以及新材料開發(fā)領(lǐng)域，可對客戶提供各種基于新材料、新結(jié)構(gòu)、新工藝的工藝開發(fā)與技術(shù)轉(zhuǎn)讓，芯片的生產(chǎn)、代工，以及人員培訓(xùn)、技術(shù)咨詢等各方面的綜合服務(wù)。

此外，埃德萬斯還期望通過投融資服務(wù)讓更多企業(yè)接入到離子束加工領(lǐng)域。高云龍表示：“我們對待合作伙伴非常開放，我們希望通過建立一個公共平臺投資一些對于離子束加工感興趣的企業(yè)，讓更多地的企業(yè)加入到這個行業(yè)之中，未來也有可能培育出一些上市企業(yè)，把整個市場做大。”

過去中國科研院所很多時候有好的技術(shù)，卻沒有好的商業(yè)化途徑，讓很多技術(shù)蒙塵。埃德萬斯通過改制變?yōu)槊駹I企業(yè)之后，更具有活力，期望通過新的商業(yè)模式帶動離子束加工產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)整體性突破。