當導體置于交變磁場或在磁場中運動時，導體上引起感生電流ie，此電流在導體內閉合，稱為渦流。渦流大小與導體電阻率" title="電阻率">電阻率ρ、磁導率μ以及產生交變磁場的線圈與被測體之間距離x，線圈激勵電流的頻率f有關。顯然磁場變化頻率愈高，渦流的集膚效應愈顯著。即渦流穿透深度愈小，其穿透深度h可表示
ρ—導體電阻率(Ω·cm)；
μr—導體相對磁導率；
 f—交變磁場頻率(Hz)。
可見，渦流穿透深度h和激勵電流頻率f有關，所以渦流傳感器根據激勵頻率：高頻反射式" title="反射式">反射式或低頻透射式兩類。
    目前高頻反射式電渦流傳感器應用廣泛。
（一） 結構和工作原理" title="工作原理">工作原理
主要由一個安置在框架上的扁平圓形線圈構成。此線圈可以粘貼于框架上，或在框架上開一條槽溝，將導線繞在槽內。下圖為CZF1型渦流傳感器的結構原理，它采取將導線繞在聚四氟乙烯框架窄槽內，形成線圈的結構方式。   

1 線圈 2 框架 3 襯套
4 支架 5 電纜 6 插頭
傳感器線圈由高頻信號" title="高頻信號">高頻信號激勵，使它產生一個高頻交變磁場φi，當被測導體靠近線圈時，在磁場作用范圍的導體表層，產生了與此磁場相交鏈的電渦流ie，而此電渦流又將產生一交變磁場φe阻礙外磁場的變化。從能量角度來看，在被測導體內存在著電渦流損耗（當頻率較高時，忽略磁損耗）。能量損耗使傳感器的Q值和等效阻抗Z降低，因此當被測體與傳感器間的距離d改變時，傳感器的Q值和等效阻抗Z、電感L均發生變化，于是把位移量轉換成電量。這便是電渦流傳感器的基本原理。

電渦流傳感器原理圖